[发明专利]一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源在审
| 申请号： | 202211436224.8 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN115842282A | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 徐岩;林楠;冷雨欣;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/16 | 分类号： | H01S3/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及激光技术领域，公开了一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源，波长范围为1800～2500nm，使用掺Tm材料作为激光增益介质，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统，其中脉冲种子源包括锁模振荡器和纳秒脉冲种子源。驱动光源输出的双脉冲可由同一脉冲种子源产生，通过脉冲分束装置和脉冲延时装置实现时间延时可调的双脉冲输出，驱动光源的激光脉冲放大系统包括至少一级脉冲放大器，并且可通过脉冲展宽器和脉冲压缩器调节脉冲宽度。驱动源输出的双脉冲也可以分别由不同脉冲种子源产生，脉冲序列通过脉冲选择器降低至合适重频后，利用脉冲延时装置实现双脉冲的延时输出，激光脉冲放大系统包括至少一级脉冲放大器，并且可通过脉冲展宽器和脉冲压缩器调节脉冲宽度。本发明通过利用高功率2μm波段全固态激光器高平均功率、高插墙效率、小装置体积等特性，替代目前作为驱动光源的CO |
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| 搜索关键词： | 一种 功率 euv 光刻 光源 脉冲 驱动 | ||
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- 2022-11-30 - 2023-02-03 - H01S3/16
- 本发明涉及一种高效率产生2.3μm激光的装置及方法，利用铥离子自身
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