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[发明专利]一种紧凑型超快紫外激光产生装置-CN202310592366.1在审
发明人：余跃;黄志远;潘劲宇;陈天道;刘冬涵;王丁;庞盟;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于空芯毛细管光纤气体非线性的紧凑型超快紫外激光产生装置。初始激光脉冲耦合进置于第一气室中的第一级空芯毛细管光纤，经自相位调制效应实现光谱展宽，展宽后的激光脉冲经色散补偿装置啁啾反射镜组实现脉冲压缩。压缩后的激光脉冲耦合进置于第二气室中的第二级空芯毛细管光纤，由于孤子时域自压缩和紫外色散波辐射效应，实现150‑400nm真空紫外至近紫外波段可调谐超快激光脉冲产生。
一种紧凑型紫外激光产生装置

[发明专利]极紫外光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法-CN202310462841.3在审
发明人：孙海轶;王关德;彭凯伦;邹家杰;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中稳定液滴的产生。
紫外光刻光源产生稳定液滴靶调控系统方法

[发明专利]提升和测量高重频超快激光光丝指向稳定性的装置及方法-CN202011327252.7有效
发明人：刘尧香;王铁军;郭豪;陈娜;孙海轶;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种检测高重频超快激光光丝指向稳定性的装置，包括：超快激光器、陶瓷片、显微镜，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜；提升高重频超快激光光丝指向稳定性的装置，包括：超快激光器、陶瓷片、显微镜、与高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜；以及提升和测量高重频超快激光光丝指向稳定性的方法。本发明用高压加载的金属电极在超快激光气体成丝区域施加外加电场，基于外加电场与超快激光光丝内等离子体之间的强相互作用，利用激光等离子体对高重频激光后续脉冲的引导作用来达到提升高重频超快激光光丝指向稳定性的目的。
提升测量高重频超快激光指向稳定性装置方法

[实用新型]深紫外激光空气消杀装置-CN202320071204.9有效
发明人：郑凯;廖洋;谢少明;陈聪;刘科;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： A61L9/20 文献下载
摘要：一种深紫外激光空气消杀装置，包括：深紫外激光系统，用于发射深紫外激光光束，并传输辐照入压缩空气管道系统；压缩空气管道系统，用于使接收的深紫外激光均匀辐照管道内的高压空气，实现空气消杀。该装置可连接到已有新风系统的进风口过滤器前，无需进行大规模改造，可以有效预防各种病原体经空气传播引起的各种疾病；空气压缩机和耐压空气管道的使用可以使高压空气集中在管道内接受高通量激光辐照，从而大幅提高空气消杀效率。
深紫激光空气装置

[发明专利]牙齿表面微裂纹的超快激光修复方法-CN202310306592.9在审
发明人：郑凯;廖洋;原福松;谢少明;陈聪;刘科;李飞;叶铖润;高文海;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： A61C19/06 文献下载
摘要：一种牙齿表面微裂纹的超快激光修复方法，包括①将超快激光聚焦于待修复牙齿表面，使激光光斑覆盖所述待修复牙齿表面的微裂纹；②调节激光功率、聚焦条件、曝光时间，使牙齿表面熔化，熔体覆盖微裂纹区域，使裂纹闭合；③调控激光脉冲的辐照时间和/或激光扫描速度，进行多次不同时长的激光曝光和/或多次不同速度的重复扫描；④抛光修复。本发明，通过控制激光辐照参数使牙齿的温升区域局限于较小的范围，不会对牙神经和牙本质造成损伤，可以完成原位修复；同时无需辅助试剂或假体，避免了常规治疗手段易引起过敏、损伤大、修复部位与牙体结合不良等问题，具有快速高效、低风险、无额外损伤的特点。
牙齿表面裂纹激光修复方法

[发明专利]对称结构腔的钙钛矿耐水激光器及其制备方法-CN202310242665.2在审
发明人：黄斯豪;刘征征;杜鹃;占子俊;胡智萍;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01S5/02218 文献下载
摘要：一种对称结构腔的钙钛矿耐水激光器，包括激光增益介质和对称结构谐振腔，其中激光增益介质为钙钛矿薄膜发光材料；所述的谐振腔为石英SiO2玻璃组成，包括第一反射镜和第二反射镜，两个反射镜用紫外固化胶粘贴和封装。本发明增益介质具有高的增益特性，便于实现粒子数反转，有利于产生低阈值受激辐射现象；谐振腔为采用平行对称的法布里珀罗腔结构，与钙钛矿增益介质形成三明治夹层，可以有效的限制增益介质内的载流子传输，并形成光反馈，在光泵浦下，实现室温环境及水下激光发射。
对称结构钙钛矿耐水激光器及其制备方法

[发明专利]小型流体循环系统及产生循环流体的方法-CN202310462821.6在审
发明人：孙海轶;彭凯伦;邹家杰;王关德;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H05G1/02 文献下载
摘要：一种小型流体循环系统及产生循环流体的方法，系统包括泵体、背压阀、压力传感器、压力表、过滤器、质量流量计、缓冲罐、截止阀、喷嘴、截止阀、具有开关的储液罐、具有开关的氮气瓶和具有开关的氩气瓶。流体在泵体的作用下做循环往复流动，液柱直径通过所述的喷嘴的直径调节，流量和速度通过所述的背压阀调节，质量流量计可实时显示管道中流体的实际流量。本发明具有安装方便、集成化程度高、射流的直径、速度和流量调节方便、操作简单的特点，适用于不同波段等离子体光的发射，及相关的科学研究或平台开发。
小型流体循环系统产生循环方法

[发明专利]一种光纤隔离器-CN202111061971.3有效
发明人：任红艳;吴明;周士云;冷雨欣;刘志文;刘家顺;蔡一鸣;周士安 -专利权人：国神光电科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明涉及一种光纤隔离器，包括放大模块、泵浦耦合模块、隔离模块；该放大模块包括增益光纤，第一准直器；泵浦耦合模块包括第一无源光纤，第二准直器；隔离模块包括第一偏振分光棱镜、法拉第旋光器、1/2玻片、第二偏振分光棱镜、第三准直器，以及第二无源光纤。信号光经过增益光纤在泵浦激励下，被放大，放大光经过隔离模块。该光纤隔离器集成了泵浦反向耦合、放大和隔离功能，其结构减少了光纤合束器无源光纤的使用，减少熔接点，损耗小，提高了系统的集成度和稳定性；同时减少了脉冲激光传输光纤的长度，减小非线性效应，优化了脉冲光纤激光放大特性和放大结构。
一种光纤隔离器

[发明专利]一种光纤放大器-CN202111061770.3有效
发明人：吴明;任红艳;周士云;冷雨欣;刘志文;刘家顺;蔡一鸣;周士安 -专利权人：国神光电科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明提供一种光纤放大器，包括种子源，调制器和若干个放大器单元，该放大器单元包括放大模块、泵浦耦合模块和隔离模块，用于泵浦耦合，脉冲激光放大和隔离保护；其中，放大模块包括增益光纤和第一准直器；泵浦耦合模块包括无源光纤和第二准直器；隔离模块包括第一偏振分光棱镜、法拉第旋光器、1/2玻片、第二偏振分光棱镜和第三准直器；相对于现有技术减少了光纤合束器、无源光纤的使用，各器件间无需通过无源光纤熔接，从而解决了目前脉冲光纤系统中光纤器件较多，熔点较多，损耗较大，脉冲激光由于传输距离较长产生非线性效应无法有效放大的问题。
一种光纤放大器

[发明专利]高灵敏度呼吸道病毒快速检测装置和方法-CN202111348086.3在审
发明人：田野;原续鹏;宋立伟;张冬冬;郑卓锐;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-11-15 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01N21/39 文献下载
摘要：一种高灵敏度呼吸道病毒快速检测装置和方法，装置包括太赫兹光源系统、呼吸道病毒测试单元和太赫兹光谱分析单元。其中呼吸道病毒测试单元应根据特定病毒样本在不同太赫兹波段产生响应，设计对应的太赫兹场增强结构提高样品在太赫兹波激发下光谱的信噪比，使得太赫兹波通过呼吸道病毒测试单元后能产生明显的特征吸收谱，提高太赫兹波光谱检测灵敏度，从而获取更为良好的呼吸道病毒检测效果。
灵敏度呼吸道病毒快速检测装置方法

[发明专利]预置空间啁啾的激光脉宽压缩系统-CN202011317501.4有效
发明人：王乘;王丁;刘星延;吴分翔;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-23 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：一种预置空间啁啾的激光脉宽压缩系统，包括空间啁啾发生器，以及沿该空间啁啾发生器产生的空间啁啾激光方向依次放置的第一光学望远扩束器、近场光斑修正器、第二光学望远扩束器、第一激光能量放大器、......、第N光学望远扩束器、第M激光能量放大器、......、末端光学望远扩束器和空间啁啾型光栅压缩器；所述的空间啁啾发生器，用于使激光脉冲的不同光谱分量分布在光束横截面的不同位置，形成特定的空间啁啾比例。本发明能够充分利用光栅表面积、显著增加光栅压缩器的能量荷载，减少由于有限光栅尺寸造成的光栅压缩器的光束能量损耗，进而提升激光啁啾脉冲放大装置的输出峰值功率上限。
预置空间啁啾激光压缩系统

[发明专利]深紫外激光空气消杀装置-CN202310036057.6在审
发明人：郑凯;廖洋;谢少明;陈聪;刘科;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： A61L9/20 文献下载
摘要：一种深紫外激光空气消杀装置，包括：深紫外激光系统，用于发射深紫外激光光束，并传输辐照入压缩空气管道系统；压缩空气管道系统，用于使接收的深紫外激光均匀辐照管道内的高压空气，实现空气消杀。该装置可连接到已有新风系统的进风口过滤器前，无需进行大规模改造，可以有效预防包括新冠病毒等在内的各种病原体经空气传播引起的各种疾病；空气压缩机和耐压空气管道的使用可以使高压空气集中在管道内接受高通量激光辐照，从而大幅提高空气消杀效率。
深紫激光空气装置

[发明专利]一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源-CN202211436224.8在审
发明人：徐岩;林楠;冷雨欣;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01S3/16 文献下载
摘要：本发明涉及激光技术领域，公开了一种高功率EUV光刻光源的双脉冲驱动光源，波长范围为1800～2500nm，使用掺Tm材料作为激光增益介质，包括脉冲种子源、脉冲选择器、脉冲分束装置、脉冲延时装置、脉冲整形器和激光脉冲放大系统，其中脉冲种子源包括锁模振荡器和纳秒脉冲种子源。驱动光源输出的双脉冲可由同一脉冲种子源产生，通过脉冲分束装置和脉冲延时装置实现时间延时可调的双脉冲输出，驱动光源的激光脉冲放大系统包括至少一级脉冲放大器，并且可通过脉冲展宽器和脉冲压缩器调节脉冲宽度。驱动源输出的双脉冲也可以分别由不同脉冲种子源产生，脉冲序列通过脉冲选择器降低至合适重频后，利用脉冲延时装置实现双脉冲的延时输出，激光脉冲放大系统包括至少一级脉冲放大器，并且可通过脉冲展宽器和脉冲压缩器调节脉冲宽度。本发明通过利用高功率2μm波段全固态激光器高平均功率、高插墙效率、小装置体积等特性，替代目前作为驱动光源的CO2激光器，获得更高的平均功率输出，提升激发EUV辐射的功率，解决EUV光刻机芯片产量提升的问题。
一种功率 euv 光刻光源脉冲驱动

[发明专利]气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源及其检测系统-CN202011327305.5有效
发明人：王铁军;刘尧香;郭豪;陈娜;孙海轶;冷雨欣;李儒新 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源，包括：超快激光器、高压电源、与该高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜及其检测系统，基于外加电场对超快激光气体等离子体光丝通道内自由电子的静电作用，来调控通过光丝产生的超连续谱激光，获得具有高稳定、高重频、高能量的超快、超连续谱相干光源。本发明对于基于超连续白光激光的应用，如远程大气探测、超短激光脉冲压缩、大容量信息通讯以及超快激光光谱等应用，有着极其重要的意义。
气体产生抖动强度连续谱光源及其检测系统

[发明专利]高功率激光时空啁啾脉冲放大系统-CN202110671420.2有效
发明人：张宗昕;许毅;冷雨欣;吴分翔;杨晓骏;归佳彦;钱佳毅 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01S3/00 文献下载
摘要：一种高功率激光时空啁啾脉冲放大系统，由激光种子脉冲源、脉冲时域展宽器、脉冲空间展宽器、可级联的啁啾脉冲放大器、脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器构成。由激光种子脉冲源输出种子脉冲，种子脉冲经脉冲时域展宽器展宽为时域啁啾脉冲，时域啁啾脉冲再经脉冲空间展宽器展宽为时空啁啾脉冲，然后通过一个或多个可级联的啁啾脉冲放大器对时空啁啾脉冲进行能量放大和光谱整形，经放大后的时空啁啾脉冲再依次经过脉冲空间压缩器和脉冲时域压缩器而被压缩为超短激光脉冲。该系统在时空啁啾脉冲放大过程中实现其光谱整形，可以有效抑制CPA系统中的光谱窄化和光谱红移，且避免了光谱滤波所造成的激光脉冲能量损耗及滤波装置适用条件的限制。
功率激光时空啁啾脉冲放大系统

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