[发明专利]半导体结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202110406457.2 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN113206066A 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 郭丰维;廖文翔 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L23/66 分类号: H01L23/66;H01L23/498;H01L23/538;H01Q1/22;H01L21/48;H01L21/768
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 李春秀
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明实施例涉及一种半导体结构及其制造方法。该半导体结构包含第一重布结构,其中所述第一重布结构包含第一导电图案。所述半导体结构进一步包含所述第一重布结构上的裸片。所述半导体结构进一步包含所述第一重布结构上的模制件,其中所述模制件包围所述裸片,且所述模制件具有第一介电常数。所述半导体结构进一步包含延伸穿过所述模制件的电介质部件,其中所述电介质部件具有不同于所述第一介电常数的第二介电常数。所述半导体结构进一步包含所述裸片、所述电介质部件及所述模制件上的第二重布结构,其中所述第二重布层包含所述电介质部件上的天线,且所述天线电连接到所述裸片。
搜索关键词: 半导体 结构 及其 制造 方法
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