[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202011348383.3 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112882341A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 平山文武;平野智之;吉田裕三;河野绅一;中川裕介 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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