|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 1101个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种涂胶显影液输送升降机构-CN202321000315.7有效
-
孙伟
-
苏州文芯纳精密科技有限公司
-
2023-04-27
-
2023-10-20
-
G03F7/30
- 本实用新型公开了显影液技术领域的一种涂胶显影液输送升降机构，包括底板以及与所述底板底部连接的支撑部件，所述底板底部同圆心开设有限位孔，底板正对限位孔的中心处通过法兰相切连接有升降机构，升降机构用于调整取用显影液的位置，升降机构包括至少两个气缸，所述气缸焊接在法兰的底部，且对称设置，气缸的下端固定连接有贯穿法兰内部的升降调节台。本实用新型通过设置遮光组件对显影液罐进行遮光防护，可避免显影液变质，取用显影液过程中全程避光，保证操作人员取用显影液的充分时长，降低误操作率，通过提升泵配合提取管对显影液罐内的显影液进行快速提取，无需操作人员手部接触显影液，保证操作安全。
- 一种涂胶显影液输送升降机构
- [实用新型]一种节能环保的冲片机构-CN202321338149.1有效
-
张火锐;张亮
-
昆山明确电子有限公司
-
2023-05-30
-
2023-10-20
-
G03F7/30
- 本实用新型公开了一种节能环保的冲片机构，包括菲林冲片结构和清理机构，所述菲林冲片结构包括机体、机盖和压胶辊，所述压胶辊转动安装在机体内部，所述清理机构安装在机盖上表面，所述清理机构包括矩形长孔、驱动电机、支撑座、传动丝杆和毛刷构件，所述机盖表面沿其长度方向开设有矩形长孔，所述机盖上表面设置有两个支撑座，所述驱动电机安装在机盖右侧；本实用新型通过将菲林冲片结构、压胶辊和清理机构结合，可对压胶辊表面摩擦清理，避免杂质颗粒附着对菲林胶片表面造成磨损而影响使用的情况，增加菲林胶片加工稳定性和安全性，同时不影响菲林胶片的正常冲片加工，且清理毛刷材料环保减少可能造成的污染。
- 一种节能环保机构
- [实用新型]一种显影液用滴落装置-CN202320639266.5有效
-
李思拥;曾一鑫
-
信利光电股份有限公司
-
2023-03-27
-
2023-10-20
-
G03F7/30
- 本实用新型公开了一种显影液用滴落装置，滴管，在所述滴管的上端开口内螺纹安装有连接套；驱动组件，其设置于所述连接套的内部；滤网，其放置于所述滴管内部的台阶口内，滤网的上沿面与所述滴管内部的台阶面接触，滴管的内壁对称设有与所述滤网上沿面配合的限位组件，连接套的下沿面与限位组件的上端接触。本实用新型提供的一种显影液用滴落装置，在滴管上螺纹安装的连接套以及设置于连接套内部的驱动组件，在使用该装置时，通过驱动架带动活塞竖向往复运动，在气压的作用下，实现了显影液的自动挤压滴落，节省了人力，同时曲轴匀速转动，活塞上下运动的幅度一致，显影液滴落的更加均匀。
- 一种显影液滴落装置
- [发明专利]涂胶显影设备及其控制方法-CN202310848172.3在审
-
张建;陈兴隆;曲征辉
-
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
-
2023-07-10
-
2023-10-13
-
G03F7/30
- 本发明提供一种涂胶显影设备及其控制方法，所述设备应用于晶圆的涂胶显影工艺场景，包括互相连接的片盒模块和工艺模块；所述片盒模块设有旋转式片盒装载单元和层间机械手，N个旋转式片盒装载单元关于对称轴对称分布于所述层间机械手的两侧，N为任意大于1的整数，所述对称轴位于由所述片盒模块指向所述工艺模块的直线；所述旋转式片盒装载单元用于装载晶圆传送盒；所述层间机械手用于将晶圆送入晶圆传送盒或从所述晶圆传送盒取出；所述工艺模块包括竖直排列的若干工艺层，每层工艺层内均设有层内机械手和若干工艺单元；所述层内机械手用于承载晶圆并带动晶圆移动，以使晶圆经过不同的工艺单元。该设备用于提升涂胶显影工艺的产能。
- 涂胶显影设备及其控制方法
- [实用新型]一种显影花篮、光刻胶显影设备-CN202321058560.3有效
-
黄婷;陈臻
-
深圳市思坦科技有限公司
-
2023-05-05
-
2023-10-13
-
G03F7/30
- 本申请提供了一种显影花篮、光刻胶显影设备，涉及半导体加工技术领域，显影花篮包括承托件和限制组件，所述承托件上具有相对设置的第一表面与第二表面，所述第二表面可漂浮于显影液上，所述第一表面用于放置晶圆，以使得所述晶圆的显影面至少部分从所述第二表面中露出，且可与显影液接触，提起所述承托件，所述显影面上的显影液在重力的作用下脱离所述显影面，不会残留于所述显影面上，以能有效解决显影过程中显影液残留的问题，提高了显影的质量，所述限位组件设置于所述承托件上，且与所述承托件可拆卸连接，以用于限制所述晶圆相对于所述承托件的位移，以能改善显影过程中晶圆移动所导致的显影不均匀的情况，提高了显影效果。
- 一种显影花篮光刻设备
- [实用新型]一种便于切换的SVG显影喷淋机构-CN202222193864.2有效
-
周炳
-
张家港意发功率半导体有限公司
-
2022-08-20
-
2023-10-10
-
G03F7/30
- 本实用新型公开了一种便于切换的SVG显影喷淋机构，其包括：喷淋箱、滑座、横移驱动装置、载台、显影液喷头和纯水喷头，所述滑座可横移地设置在喷淋箱中并位于载台的上方，所述显影液喷头和纯水喷头横向前后间隔设置在滑座上并分别指向下方，所述滑座上竖向设置有推板，所述横移驱动装置横向连接在推板与喷淋箱内壁之间，所述喷淋箱中设置有纵向延伸的第一导流板和第二导流板，所述第一导流板位于显影液喷头前移的路径下方，所述第二导流板位于纯水喷头后移的路径下方。本实用新型所述的便于切换的SVG显影喷淋机构，可以进行显影液喷头和纯水喷头的切换，并避免残留的显影液或纯水滴落在硅片上的问题。
- 一种便于切换svg显影喷淋机构
- [实用新型]一种显影装置-CN202321239257.3有效
-
耿彪
-
北京华林嘉业科技有限公司
-
2023-05-22
-
2023-10-03
-
G03F7/30
- 本实用新型公开了一种显影装置，涉及晶圆显影技术领域。该显影装置，包括：外箱体，所述外箱体为中空状；所述外箱体的内腔右前侧设置为冲洗仓，所述冲洗仓内设置有冲洗机构；所述外箱体的内腔右后侧设置为第一物料暂存仓；所述外箱体的内腔后侧中部设置为涂胶仓，所述涂胶仓内设置有涂胶机构；所述外箱体的内腔左后侧设置为第二物料暂存仓；所述外箱体的内腔左前侧设置为温控仓，所述温控仓内设置有加热冷却单元；所述外箱体的内腔前侧中部设置有机械臂安装位。该显影装置，通过第一物料暂存仓、第一物料暂存仓的设置，将印版物料的冲洗、涂胶、烘干等步骤之间能够有缓冲空间，从而使得印版物料在切换加工工序时，能够运行平稳。
- 一种显影装置
|
