[发明专利]形成装置以及形成方法无效

专利信息
申请号: 200580022535.8 申请日: 2005-06-29
公开(公告)号: CN1981358A 公开(公告)日: 2007-06-13
发明(设计)人: 蒲生保则;田中肇;小栗拓;伊藤武夫 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: H01J9/22 分类号: H01J9/22;H01J9/227
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 张鑫
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种形成装置和形成方法。形成装置包括:膜拉出机构(22),从其一端由该转移膜的卷绕体将转移膜拉出,该转移膜的一预定层在基膜上形成;膜传输机构(1、4、23、7),将所拉出的转移膜传输至下游;转移机构(6、17、18),通过压合并加热转移膜将预定层转移到安装在可移动安装台(14)上的板上;膜卷起机构(8),卷起转移膜同时将基膜从转移膜剥除;移动机构(10、11、12、13),与转移机构形成在同一封装(BD)上,用于移动安装台;压合机构(9、24),形成于该封装上,用于压合安装台上的板;以及控制部分(52),响应于来自外部源的操作指令,控制各个操作以将预定层转移到板上并压合该板。通过这种形成装置的单个单元,自动执行转移和压合。
搜索关键词: 形成 装置 以及 方法
【主权项】:
1.一种形成装置,其特征在于,包括:膜拉出机构,从其一端由转移膜的卷绕体拉出转移膜,所述转移膜中的至少一预定层在基膜上形成;膜传输机构,将由膜拉出机构从其一端拉出的所述转移膜传输至下游;转移机构,通过压合和加热由所述膜传输机构传输的所述转移膜,将所述预定层转移到安装在可移动安装台上的板上;膜卷起机构,卷起所述转移膜、同时将所述基膜从所述转移膜剥除,所述转移膜的预定层已由所述转移机构转移;移动机构,与所述转移机构形成于同一封装上,并移动所述安装台;压合机构,类似地形成在所述封装上,并压合由所述移动机构移动的所述安装台上的所述板;以及控制部分,响应于来自外部源的操作指令,控制各个机构的操作以将所述预定层转移到所述板上、并压合所述板。
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