[发明专利]一种基于双悬臂梁的波导加速度计在审
| 申请号： | 202010374376.4 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111398629A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于双悬臂梁的波导加速度计，包括第一支撑臂、第二支撑臂，在所述第一支撑臂与第二支撑臂之间设置有相互间隔的有第一悬臂、第二悬臂，所述第二悬臂位于第一悬臂的上方，并且第一悬臂、第二悬臂的宽度不同，所述第一支撑臂、第二支撑臂、第一悬臂、第二悬臂内均设置有波导光纤，并且第一悬臂内的波导光纤的两端分别与第一支撑臂内的波导光纤、第二支撑臂内的波导光纤连接，并且第二悬臂内的波导光纤的两端同样分别与第一支撑臂内的波导光纤、第二支撑臂内的波导光纤连接；该基于双悬臂梁的波导加速度计具有测量精度高、抗干扰能力强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 悬臂梁 波导 加速度计 | ||
【主权项】：
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- 2023-04-20 - 2023-05-23 - G01P15/03
- 本发明属于传感器技术领域，具体为一种力反馈高灵敏MOEMS集成加速度传感器，解决了其对低刚度、抗横向干扰机械敏感结构和高性能力反馈方式的需求，包括外部壳体、电磁反馈部分、机械敏感结构和光学检测模块，电磁反馈部分包括永磁铁和圆形线圈，机械敏感结构包括质量块和悬臂梁，光学检测模块包括反射薄膜、光栅、玻璃平面、光电探测器、激光器和基底。本发明通过低刚度机械敏感结构与光学检测技术结合，提高了加速度传感器灵敏度，旋转对称放置的悬臂梁减小横向灵敏度，设计的线圈和永磁铁可以提供较大的电磁力，反馈电磁力与输入电流呈线性关系，使质量块维持在原始位置，该传感器稳定性好、抗电磁干扰，可对加速度信号进行高精度检测。
- 基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法-202210344926.7
- 王融汇;孙成亮;蔡耀;范宇晨;刘炎;许秉乾 - 武汉大学
- 2022-03-31 - 2023-05-05 - G01P15/03
- 一种基于微环谐振腔的MOEMS三轴加速度传感器及其制备方法，涉及微光机电系统(MOEMS)中的惯性器件领域。该传感器包括含有空腔(20)的基底(10)，空腔(20)上表面为一层薄膜(30)；薄膜(30)下方附着有一个质量块(40)；顶层刻蚀有相互耦合的两组直波导(60)和四个微环谐振腔(50)，其中四个微环谐振腔(50)均位于空腔(20)上方的薄膜(30)上；直波导(60)则位于基底(10)上，每个直波导(60)具有一个入射端和两个出射端，每一个微环谐振腔(50)分别与一个出射端相耦合。该加速度计通过检测各个微环谐振腔谐振峰的改变来测量三个不同方向的加速度分量。
- 一种光纤光栅分布式加速度监测装置及方法-202110311854.1
- 孙安;吴智深;杨阳;范婷 - 西北大学
- 2021-03-24 - 2023-04-25 - G01P15/03
- 本发明公开了一种光纤光栅分布式加速度监测装置及方法，其中光纤光栅分布式加速度监测装置包括：光源，用于发出一路监测光；第一光延迟模块，输出为两路具有第一延迟差的脉冲信号；低反射率窄带光纤光栅阵列，输出所述第一光延迟模块两路脉冲信号的反射光信号；第二光延迟模块，输出为具有第二延迟差的两路脉冲信号；干涉模块，用于所述第二光延迟模块输出的两路输出脉冲信号产生干涉并输出干涉信号；干涉信号处理模块，根据所述干涉模块输出的干涉信号，得到外界加速度变化。本发明传感系统距离长，单根光纤可容纳光栅数量庞大，测点数多，且加速度传感无需双光栅之间波长匹配、亦无多次反射串扰、系统稳定性与耐久性好，简单且可靠性高，可长期在线监测。
- 一种可调节角度的加速度检测装置-202223132112.1
- 任成茂 - 北京弘洁蓝天科技有限公司
- 2022-11-25 - 2023-04-25 - G01P15/03
- 本实用新型公开了一种可调节角度的加速度检测装置，所述测量板设置于底座的顶部，所述测量板顶部的前部与后部均滑动连接有调节板，所述测量板顶部的两侧且位于两个调节板之间均固定安装有安装板，所述安装板的前部与后部均固定安装有滑板，本实用新型涉及加速度检测技术领域。该可调节角度的加速度检测装置，通过将调节板呈活动设置，并配合安装板、滑板、齿轮、L型齿牙板、限位板和螺纹杆的设置，能够将测量物体的行驶路线调整至合适大小，不仅使设备能够对大小不同的物体测量加速度，还有效避免了因行驶空间过大导致测量物体呈非线型运动和行驶过程中发生碰撞的弊端，从而确保加速度测量的准确性，提高了设备的实用性。
- 一种光纤光栅二维加速度传感器、控制方法及应用-202211482814.4
- 洪成雨;黎宏;郭永兴;陈湘生;张一帆;谢晓峰;王道初 - 深圳大学;深圳感基工程科技有限公司;广州建筑股份有限公司
- 2022-11-24 - 2023-04-18 - G01P15/03
- 本发明属于光纤光栅传感器技术领域，公开了一种光纤光栅二维加速度传感器、控制方法及应用，外壳里侧安装有竖向加速度测量模块和横向加速度测量模块；竖向加速度测量模块包括竖向位移检测单元和加速度测量单元，横向加速度测量模块包括摆动梁和第一弹性块，摆动梁上端通过悬臂梁与壳体连接，摆动梁下部带有齿状结构，第一弹性块上部带有齿状结构，摆动梁下端与弹性块上端相互啮合，第一弹性块侧面连接有用于进行横向加速度波长测量的第二光纤光栅。本发明克服了传统一维加速度传感器只能测单个方向加速度的不足，消除了温度变化对二维加速度测量的影响，很大程度上减小了测量误差，且能实现温度和加速度等多个物理参量的测量。
- 一种中高频椭圆铰链双光纤光栅加速度传感器及测量方法-202010896491.8
- 邱忠超;李亚南;洪利;孙睿;孟娟;韩智明 - 中国地震局地球物理研究所;防灾科技学院
- 2020-08-31 - 2023-04-14 - G01P15/03
- 本公开提出了一种中高频椭圆铰链双光纤光栅加速度传感器及测量方法，包括：椭圆铰链、固定支架及质量块；所述椭圆铰链的一端与固定支架固连，所述椭圆铰链的另一端连接至质量块；所述固定支架及质量块上下表面分别在同一平面上，同一平面的固定支架及质量块之间且位于椭圆铰链正上方及正下方分别粘贴有光纤光栅。基于椭圆铰链的中高频双FBG加速度传感器，在保证高精度的前提下，利用椭圆铰链运动范围大的优势
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