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[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202310710126.7在审
发明人：丁志鹏;刘炎;詹道栋;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器。该体声波谐振器包括：衬底，所述衬底包括依次层叠设置的第一半导体层、绝缘层及第二半导体层；所述第二半导体层的表面刻蚀形成凹槽，所述凹槽贯穿所述第二半导体层；所述凹槽内形成有保护件，所述凹槽的竖向截面具有平滑轮廓以消除在所述保护件形成过程中出现的空洞缺陷。该体声波谐振器可以形成高质量的种子层、底电极、压电层以及顶电极，有效提高了体声波谐振器的器件性能。
声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]一种可调节式汽车座椅及其加工设备-CN202310715853.2在审
发明人： 孙成亮 -专利权人：重庆蓝天炬达汽车部件有限责任公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B60N2/16 文献下载
摘要：本发明涉及车辆座椅技术领域，具体涉及一种可调节式汽车座椅及其加工设备，可调节式汽车座椅包括底座、导向柱、滑动柱、螺杆、坐垫、椅背和转动件；导向柱和底座固定连接，滑动柱和导向柱滑动连接，螺杆和底座转动连接，且与滑动柱螺纹连接，坐垫和滑动柱固定连接，椅背和坐垫固定连接，转动件设置在底座上；底座安装在汽车上，使用时，驾乘人员可控制转动件驱动螺杆转动，螺杆转动使得滑动柱沿导向柱纵向移动，滑动柱带动坐垫纵向移动，从而能够调节坐垫的高度位置，以适应不同驾乘人员的需求，使得驾乘人员在驾驶或乘车时更加舒适。
一种调节汽车座椅及其加工设备

[发明专利]一种BAW滤波器自动布局方法及相关设备-CN202210309865.0有效
发明人：安嘉乐;高杨;李君儒;王健;谭鹏辉;孙成亮;孙博文;袁汉龙;刘德勇 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-03-24 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G06Q10/0631 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种BAW滤波器自动布局方法及相关设备，在不影响BAW滤波器性能的前提下，使得BAW滤波器布局具有更好的填充比和更为合理的矩形布局比例。本申请包括：获取设计参数；根据所述设计参数生成圆形容器，所述圆形容器为BAW体声波谐振器的替换形状；根据贪心遗传算法对所述圆形容器进行布局，以生成目标容器布局；将所述目标容器布局中的所述圆形容器替换为具体BAW谐振器的形状；以生成谐振器布局；根据压缩遗传算法对所述谐振器布局进行压缩；生成BAW滤波器布局。
一种 baw 滤波器自动布局方法相关设备

[发明专利]一种体声波谐振器及其制备方法-CN202310622780.2在审
发明人：蔡耀;邹杨;高超;林炳辉;王雅馨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-05-25 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，通过在压电层上刻蚀应力释放槽，从而释放压电层的内部应力，有效解决压电层内应力过大可能发生的开裂问题，并且在压电层沉积过程之后通过衬底转移的方式形成图案化电极，避免压电层的生长环境对电极造成的不利影响。同时，第一电极和支撑层利用应力释放槽，能够在其内形成位于有效谐振区域外侧的第一声反射结构，从而通过第一声反射结构能够从横向将声波反射回有效谐振区域内，从而提高器件的Q值。
一种声波谐振器及其制备方法

[发明专利]超声检测膝关节活动及血流变化的可穿戴设备-CN202310462412.6在审
发明人：刘文娟;曾敏;卢亮宇;胡博豪;蔡耀;刘炎;孙成亮 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： A61B8/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超声检测膝关节活动及血流变化的可穿戴设备，包括一个超声波收发贴片。贴片上的超声波收发模块由PMUT阵列组成。贴片的组成结构包括：一个生物粘合层；一个超声波收发层；一个柔性电路层。其中超声波收发层，通过发射和接收回波，可以获取人体活动过程中关节摩擦情况和血流变化、积液等信息，采样得到的信息经过柔性电路层的处理，能得到个性化的健康反馈.此外，该膝关节检测系统还包括无线传输模块及相应外设装置。本发明仅用一层超声波收发层便可采集膝关节相关的生物信息；且采用MEMS工艺制备，该检测设备体积小，便于佩戴，能达到日常监护、及时预警的效果。
超声检测膝关节活动血流变化穿戴设备

[发明专利]一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202210027314.5有效
发明人：邹杨;蔡耀;林炳辉;罗天成;高超;詹道栋;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-01-11 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供一种单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域，方法包括：在临时衬底上依次形成层叠的缓冲层、压电层和第一电极；在第一电极上形成第一键合层；提供基底；刻蚀基底以在基底表面形成多个第一凸块；在基底表面形成覆盖多个第一凸块顶面的第二键合层；将位于多个第一凸块顶面的第二键合层与第一键合层键合；在键合时，由于可以通过刻蚀槽控制第一凸块顶面的面积大小，便可以控制位于第一凸块顶面的第二键合层的面积，从而实现对键合面积的控制。通过对键合面积进行控制，实现了键合要求与键合可靠性之间的平衡。
一种薄膜声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]谐振器的制备方法以及谐振器-CN202310389487.6有效
发明人：蔡耀;周杰;童欣;林炳辉;邹杨;孙成亮;孙博文;王健 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体器件技术领域，具体公开了一种谐振器以及谐振器的制备方法。谐振器，包括衬底以及设置在衬底上的谐振结构，谐振结构包括依次设置在衬底上的下电极、压电层以及上电极；谐振结构与衬底之间设有底部声反射结构，底部声反射结构、下电极、压电层以及上电极的重叠区域形成有源区域；压电层在有源区域的边缘设置有横向声反射结构，横向声反射结构至少部分与上电极和/或下电极的外边缘重叠。本申请提供的谐振器通过横向声反射结构的设置能够增强谐振器对横向声波的反射，从而有效提高谐振器的品质因子。
谐振器制备方法以及

[发明专利]一种横向激励体声波谐振器-CN202210530400.8有效
发明人：谢英;刘文娟;刘炎;蔡耀;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种横向激励体声波谐振器，涉及谐振器技术领域，本申请的横向激励体声波谐振器，包括衬底以及设置于衬底上的压电层，衬底上形成有凹槽，凹槽与压电层之间形成腔体，压电层上表面沿第一方向延伸设置有间隔交替的第一汇流条和第二汇流条，第一汇流条的两侧分别垂直连接有多个间隔设置的第一条形电极，第二汇流条的两侧分别垂直连接有多个间隔设置的第二条形电极，在相邻的第一汇流条和第二汇流条之间第一条形电极和第二条形电极间隔交叉设置，第一汇流条和/或第二汇流条上表面开设有孔。本申请提供的横向激励体声波谐振器，能够增大横向激励体声波谐振器的电容并提高品质因子。
一种横向激励声波谐振器

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器的制备方法-CN202211048802.0有效
发明人：王雅馨;林炳辉;高超;邹杨;蔡耀;刘炎;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种薄膜体声波谐振器的制备方法，涉及微电子技术领域。该所述方法包括：在衬底上刻蚀凹槽，在所述凹槽内填充牺牲层；在填充有所述牺牲层的所述衬底上沉积底电极层，在所述底电极层上均布刻蚀多个槽孔以形成底电极；在所述底电极上沉积第一压电层并平坦化；在平坦化的所述第一压电层上沉积第二压电层，其中，所述第一压电层和所述第二压电层所采用的压电材料相同；在所述第二压电层上沉积顶电极层，并对所述顶电极层图案化处理以形成顶电极；释放所述牺牲层，以形成所述衬底与所述底电极之间的空腔结构。该方法能够降低生成压电薄膜的应力，并提升压电薄膜的质量。
一种薄膜声波谐振器制备方法

[发明专利]一种谐振器及其制备方法-CN202210591204.1有效
发明人：高超;邹杨;蔡耀;詹道栋;曲远航;王雅馨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H3/04 文献下载
摘要：本申请提供一种谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，方法包括：第一衬底以及依次形成于第一衬底上的压电层、下电极和第一质量负载层；在下电极上形成覆盖第一质量负载层的牺牲层；在器件晶圆具有牺牲层的一侧形成支撑层；通过键合工艺在支撑层上形成第二衬底；去除第一衬底以使压电层露出；在压电层上依次形成上电极和第二质量负载层；释放牺牲层以在第一质量负载层和支撑层之间形成空腔。由此，通过控制第一质量负载层和第二质量负载层所占谐振器的有效工作区域面积比例对应实现谐振器的调谐，从而制造具有不同谐振频率的谐振器，有效避免了因为外加元件调谐所带来的损耗，保证了谐振器具有较好的性能。
一种谐振器及其制备方法

[发明专利]基于SAW谐振器的无线无源阵列式传感器及测量方法-CN202310148562.X在审
发明人： 孙成亮;魏民;刘炎;曲远航;蔡耀;刘文娟;罗天成;谢英 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01D5/48 文献下载
摘要：本发明涉及微电子技术，具体涉及基于SAW谐振器的无线无源阵列式传感器及测量方法，该传感器包括包括无线无源传感器阵列、信号收发与处理系统。无线无源传感器阵列接收信号收发与处理系统的无线激励信号并针对外界多个传感量作出响应，并将响应信号发送回信号收发与处理系统，通过信号收发与处理系统将无线无源传感器阵列的响应信号分离解耦，最终获得所需的传感量。该传感器解决了现有技术中，只能测量单一传感量，无法对耦合参数进行测量的缺点。通过上位机软件进行信号处理，外部电路简单，稳定性好，可靠性高。
基于 saw 谐振器无线无源阵列传感器测量方法

[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器-CN202111116758.8有效
发明人：孙博文;蔡耀;王健;赵坤丽;赵俊武;周亚萍;高超;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：基底以及设置于基底上的压电堆叠结构，压电堆叠结构包括依次层叠设置的底电极、压电材料层和顶电极，顶电极在基底上的正投影的轮廓包括至少一条阶数大于或等于2的贝塞尔曲线。如此，能够增加横向声波横向传播路径的长度，以此使得横向声波在传播过程中的损耗增大，从而减小横向声波对体声波谐振器带来的横向寄生模态的影响，即提高体声波谐振器对横向寄生模态的抑制效果，进而提高体声波滤波器的性能。
一种声波谐振器滤波器

[发明专利]多工器-CN202310289669.6有效
发明人：林炳辉;蔡耀;邹杨;张晋衔;高超;王雅馨;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H03H9/70 文献下载
摘要：本发明提供了一种多工器。该多工器包括：衬底，衬底具有第一表面；多频串联谐振器，多频串联谐振器设置于第一表面上，多频串联谐振器具有第一层叠结构，第一层叠结构包括至少两个第一工作区域，每个第一工作区域包括沿着第一方向顺序层叠设置的第一下电极、第一压电层和第一上电极，第一方向为远离衬底的方向，相邻第一工作区域的工作频率不同；多频并联谐振器，多频并联谐振器设置于第一表面上，且与多频串联谐振器相邻，多频并联谐振器具有第二层叠结构，第二层叠结构包括至少两个第二工作区域，每个第二工作区域包括沿着第一方向顺序层叠设置的第二下电极、第二压电层、第二上电极和质量负载层，相邻第二工作区域的工作频率不同。
多工器

[发明专利]断奶仔猪用包被单宁酸制剂及其制备方法和用途-CN202310407918.7在审
发明人：岳双明;李学明;刘小琬;钱静;杜建国;许辉;刘浩翔;王寒;孙成亮 -专利权人：四川水利职业技术学院
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： A23K50/30 文献下载
摘要：本发明属于饲料添加剂技术领域，具体涉及一种断奶仔猪用包被单宁酸制剂及其制备方法和用途。针对现有在断奶仔猪易出现腹泻率高、采食量低、免疫功能降低、长势不好的问题，本发明提供了一种断奶仔猪用包被单宁酸制剂。本发明所述的断奶仔猪用包被单宁酸制剂，组成包括：按重量百分比计，主料70～80％，辅料20～30％；所述主料为单宁酸、绿原酸和橙皮苷的混合物；所述辅料为玉米淀粉、β‑环糊精、海藻酸钠、棕榈油脂、丙烯酸树脂和醋酸羟丙甲纤维素琥珀酸酯的混合物。本发明还提供了一种上述制剂的制备方法和用途。本发明的制剂能够改善饲料适口性，能够降低断奶仔猪腹泻率，修复断奶仔猪受损肠道，维持肠道微生物菌体平衡，提高断奶仔猪抗病能力。
断奶仔猪包被单宁酸制剂及其制备方法用途

[发明专利]一种高频定点药物吸收促进装置-CN202310285157.2在审
发明人：周禹;江宏强;孙成亮;蔡耀;周芙玲;许炳乾;黎鑫琦;吴童;程瑾冉;宋兰 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高频定点药物吸收促进装置，包括控制器、插入装置和给药吸收模块，所述插入装置包括管状壳体和位于管状壳体前端的端头，所述控制器与管状壳体后端连接，所述给药吸收模块包括给药组件和吸收组件，其中给药组件包括给药管路，所述给药管路自控制器起穿过管状壳体后由端头伸出，所述吸收组件包括设置于端头表面的高频激励器和设置于管状壳体内的控制线路，所述控制器控制端头移动至给药位置并控制给药组件给药和高频激励器高频振动。本发明能够将药物直接输注到病灶附近，通过高频振动直接促进局部细胞和组织对药物的吸收，实现定点式、局部化的药物供应与促进吸收，提高药物吸收效率，减少药物使用量，降低药物副作用。
一种高频定点药物吸收促进装置

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