[发明专利]一种掩膜板及其制作方法在审
| 申请号： | 201910452518.1 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110273124A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 谢志生 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 廖苑滨 |
| 地址： | 620500 四川省眉山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法，掩膜板包括掩膜板框和固定在掩膜板框上的掩膜本体；所述掩膜本体上设置有掩膜图案，所述掩膜图案包括贯穿所述掩膜本体的通孔，所述掩膜本体与掩膜板框通过电铸方法一体成型。本申请的掩膜本体和掩膜板框是通过电铸一体成型工艺得到的，节省了传统掩膜板制作过程中的张网和焊接制程，减少了张网焊接设备的高额投资，进而降低了掩膜板的制作成本；同时避免了张网加工过程中造成的对位误差和张网不紧等问题，避免了焊接制程中造成的不良和浪费，增强了掩膜板的机械强度，提高了掩膜板的制作良率和效率；提高了有机发光材料的蒸镀质量和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 掩膜本体 张网 掩膜图案 制作 电铸 制程 焊接 一体成型工艺 有机发光材料 传统掩膜 对位误差 焊接设备 一体成型 制作过程 良品率 良率 通孔 蒸镀 贯穿 申请 投资 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，包括掩膜板框和固定在掩膜板框上的掩膜本体；其特征在于，所述掩膜本体上设置有掩膜图案，所述掩膜图案包括贯穿所述掩膜本体的通孔，所述掩膜本体与掩膜板框为电铸一体成型结构。
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- 2018-12-17 - 2019-10-01 - C23C14/04
- 本实用新型提供了一种可活动磁芯金属化治具，包括收容体、网孔板和可活动挡板；所述收容体形成收容部，所述收容部用于收容待金属化磁芯；所述网孔板与所述收容体层叠设置，所述收容体朝向所述网孔板的一侧形成第一开口，所述网孔板上的网孔用于使所述待金属化磁芯露出待金属化的电极区域；所述可活动挡板设置于所述收容体侧壁上，所述可活动挡板可靠近或远离所述待金属化磁芯，当所述可活动挡板靠近所述待金属化磁芯时，能够防止所述待金属化磁芯露的非电极区域被金属化。该可活动磁芯金属化治具可用于固定多种规格磁芯且可以对该磁芯的包括正面及侧面的电极区域进行金属化镀膜。本实用新型还提供了一种包含该可活动磁芯金属化治具的镀膜设备。
- 一种改进的OLED蒸镀装置-201822225755.8
- 吴远武;褚天舒 - 湖畔光电科技（江苏）有限公司
- 2018-12-28 - 2019-10-01 - C23C14/04
- 本实用新型公开了一种改进的OLED蒸镀装置，包括由上至下依次设置的基板、掩膜板以及蒸发源，所述掩膜板下方设置有一个准直过滤器，所述准直过滤器包括若干通道，所述准直过滤器的各通道分别与其上方的掩膜板上对应的开口对齐设置。本实用新型不需要改造现有的掩膜板，仅通过本实用新型增加的准直过滤器，即可有效避免有机材料分子沉积到预设区域之外的临近范围，达到消除阴影效应的目的。
- 一种金属掩膜板及其制造方法-201810224416.X
- 刘盛娟;范爽;兰兰 - 上海和辉光电有限公司
- 2018-03-19 - 2019-09-27 - C23C14/04
- 本发明涉及显示技术领域，公开了一种金属掩膜板及其制造方法，该金属掩膜板包括掩膜板本体，掩膜板本体具有用于进行掩膜的掩膜区域和位于掩膜区域两侧、用于被夹持的夹持区域，且掩膜区域具有至少一个有效显示区，有效显示区为镂空的网状格结构，夹持区域具有通过镭射工艺形成的力分散区。在夹持上述掩膜板本体进行操作时，力分散区可分散被夹持部位的集中受力，从而避免掩膜板本体局部受力过大产生褶皱；或者，在对上述掩膜板进行焊接操作时，由于掩膜板本体上形成有力分散区，力分散区可分解掩膜板本体局部受热产生的热应力，进一步避免掩膜板本体产生褶皱变形的现象，从而可降低掩膜板本体产生褶皱隆起划伤玻璃的风险。
- 蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的对准方法及蒸镀掩膜固定装置-201880011467.2
- 成谷元嗣;武田笃 - 株式会社日本显示器
- 2018-02-07 - 2019-09-27 - C23C14/04
- 减少在基板上形成图案时所使用的掩膜中的、所形成的图案的位置偏移。将包含形成有规定图案的多个图案部的蒸镀掩膜(20)向框架(30)固定的蒸镀掩膜的对准方法包含以下步骤：第1对准步骤(S3)，基于用于所述蒸镀掩膜与所述框架对位的第1基准标记(101)和形成在所述蒸镀掩膜的缘部的第1对准标记(201)的第1偏移量，对所述蒸镀掩膜与所述框架的相对位置进行对准；以及第2对准步骤(S5)，基于用于所述蒸镀掩膜与所述框架对位的第2基准标记(102)和形成在所述图案部的外周部的第2对准标记(202)的第2偏移量，对通过所述第1对准步骤进行了对准的所述蒸镀掩膜与所述框架的相对位置进行再对准。
- 一种掩膜板及其制作方法-201910452518.1
- 谢志生 - 信利（仁寿）高端显示科技有限公司
- 2019-05-28 - 2019-09-24 - C23C14/04
- 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法，掩膜板包括掩膜板框和固定在掩膜板框上的掩膜本体；所述掩膜本体上设置有掩膜图案，所述掩膜图案包括贯穿所述掩膜本体的通孔，所述掩膜本体与掩膜板框通过电铸方法一体成型。本申请的掩膜本体和掩膜板框是通过电铸一体成型工艺得到的，节省了传统掩膜板制作过程中的张网和焊接制程，减少了张网焊接设备的高额投资，进而降低了掩膜板的制作成本；同时避免了张网加工过程中造成的对位误差和张网不紧等问题，避免了焊接制程中造成的不良和浪费，增强了掩膜板的机械强度，提高了掩膜板的制作良率和效率；提高了有机发光材料的蒸镀质量和良品率。
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