[发明专利]一种芯片的封装工艺和封装结构在审
申请号: | 201611130985.5 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN106783748A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 林挺宇;陈峰 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98;H01L25/065;H01L23/31;H01L21/60 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新区太湖国*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种芯片的封装工艺和封装结构,包括在衬底中形成腔体,将至少一个设置有第一凸台的第一芯片设置在腔体底面,使衬底表面低于第一凸台的表面;在第一芯片和衬底上形成保护层,在保护层上形成与各第一凸台电连接的第一导线;在第一导线上形成第一绝缘层和与各第一导线电连接的连接柱;在第一绝缘层上设置至少一个第二芯片,并在各第二芯片和第一绝缘层上形成第二绝缘层;在第二绝缘层上形成与各连接柱和各第二凸台的上表面电连接的多条第二导线以及第三绝缘层;在第三绝缘层上形成窗口,以设置与各第二导线电连接的焊球。本发明使用腔体和保护层保护芯片并用导线和焊球将芯片的电极引出到焊球上,通过焊球与芯片进行数据传输。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 工艺 结构 | ||
【主权项】:
一种芯片的封装工艺,其特征在于,提供衬底;在所述衬底中形成腔体,将至少一个设置有第一凸台的第一芯片设置在所述腔体的底面,并使所述衬底的上表面低于所述第一凸台的上表面,其中所述第一凸台位于所述第一芯片的电极上;在各所述第一芯片和所述衬底上形成保护层,并在所述保护层上形成与各所述第一凸台上表面电连接的多条第一导线;在所述第一导线上形成第一绝缘层以及与各所述第一导线电连接的连接柱,其中所述连接柱的上表面高于所述第一绝缘层的上表面;在所述第一绝缘层上设置至少一个第二芯片,并在各所述第二芯片和所述第一绝缘层上形成第二绝缘层,其中,所述第二芯片的电极上设置有第二凸台;在所述第二绝缘层上形成与各连接柱和各所述第二凸台的上表面电连接的多条第二导线以及第三绝缘层;在所述第三绝缘层上形成至少一个窗口,以设置与各所述第二导线电连接的焊球。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造