[发明专利]用于在带电粒子束装置内组合自动化和人工辅助作业的定序器在审
| 申请号： | 201310325911.7 | 申请日： | 2013-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103578901A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | R.J.杨;R.坦纳;R.L.瓦肖尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/302;H01J37/305;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 唐立;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置。该装置包括：用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；以及工序调度器，该工序调度器接收来自该调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序。此外还包括一个工序定序器，当该人工操作员就绪输入端在第二状态时，对于正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器对所有全自动化工序进行定序直到该人工操作员就绪输入端被置于第一状态下，此时，该定序器开始对人工辅助工序进行定序。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子束 装置 组合 自动化 人工 辅助 作业 定序器 | ||
【主权项】：
一种用于通过全自动化工序和人工辅助工序两者通过使用至少一个带电粒子束使具有纳米级特征的工件成像和加工该工件的装置，包括：a.用户接口，该用户接口包括调度输入入口装置和可以被置于第一状态或第二状态的人工操作员就绪输入端；b.工序调度器，该工序调度器接受来自所述调度输入入口装置的工序的调度，包括全自动化工序和人工辅助工序；以及c.工序定序器，当所述人工操作员就绪输入端在所述第二状态时，对于所述正在执行的全自动化工序，在到达安全终止点后，该工序定序器通过全自动化工序进行定序直到所述人工操作员就绪输入端被置于所述第一状态下，此时，所述定序器开始对所述人工辅助工序进行定序。
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- 何伟;李帅 - 聚束科技（北京）有限公司
- 2016-11-28 - 2017-05-10 - H01J37/28
- 本发明公开了一种扫描带电粒子显微镜系统，包括扫描带电粒子显微镜、传感装置、处理器和位移调节装置；其中，所述扫描带电粒子显微镜，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射至待测样品；所述传感装置，与所述扫描带电粒子显微镜和所述待测样品连接，用于测量所述扫描带电粒子显微镜的镜筒的振动参数和所述样品的振动参数；所述处理器，用于对所述镜筒的振动参数和所述待测样品的振动参数进行处理，获得所述样品相对于所述镜筒的相对运动参数；并根据所述相对运动参数控制调节所述位移调节装置、所述扫描带电粒子显微镜的偏转器和所述扫描带电粒子显微镜的聚焦镜。本发明还公开了一种振动补偿方法。
- 可配置带电粒子装置-201310497851.7
- L.图马;J.塞斯塔克 - FEI公司
- 2013-10-22 - 2017-03-22 - H01J37/28
- 本发明涉及可配置带电粒子装置。可配置带电粒子装置具有至少第一配置和第二配置，在第一配置中的装置被装配以当样本被安装在第一载物台上时关于光轴来安置样本，在第二配置中的装置具有被安装在第一载物台上的第二透镜极，所述第二透镜极与光轴相交，并且在第二配置中的装置装配有用于在其上安装样本的第二载物台，所述第二载物台被装配以在第一透镜极和第二透镜极之间安置样本，所述第二载物台关于光轴可移动，其结果是磁浸没透镜的光学特性在第一和第二配置中不同，并且在第二配置中可以通过使用第一载物台来安置第二透镜极而被改变，因而改变磁路。
- 扫描电子显微镜-201480036932.X
- 扬村寿英;森下英郎 - 株式会社日立高新技术
- 2014-07-11 - 2017-03-08 - H01J37/28
- 本发明的扫描电子显微镜具备在电子束(5)通过物镜时使上述电子束减速的减速机构；配置于上述电子源与上述物镜之间且具有相对于上述电子束的光轴而轴对称的形状的感受面的第一检测器(8)以及第二检测器(7)。上述第一检测器设置在比上述第二检测器靠试样侧，专门对通过减速电场型能量过滤器(9A)后的高能量的信号电子进行检测。若将上述物镜的试样侧的前端部(13)与上述第一检测器的感受面之间的距离设为L1，并将上述物镜的上述试样侧的前端部与上述第二检测器的感受面之间的距离设为L2，则L1/L2≤5/9。由此，扫描式电子显微镜中，当应用减速法而进行低加速观察时，能够在几百倍程度的低倍率至十万倍以上的高倍率的大倍率范围内无阴影的影响地检测信号电子。并且，能够高效率地检测与二次电子相比产生量少的背向散射电子。
- 带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法-201480033874.5
- 重藤训志;佐藤贡;斋藤勉;细谷幸太郎;高鉾良浩;安藤彻 - 株式会社日立高新技术
- 2014-04-04 - 2016-11-30 - H01J37/28
- 在通用性高的带电粒子束装置中，即使经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。具备：可动物镜光圈(6)，相对于物镜(12)配置在带电粒子源(1)侧，具有多个物镜光圈；存储部(43)，存储一次带电粒子束(2)的多个照射条件；以及动作控制部(41)，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在不适合时在图像显示部(42)上显示不适合，在适合时，执行调整一次带电粒子束(2)以便适合所选择的照射条件的事先调整，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部(43)中。
- 专利分类
