[发明专利]用于使用多个带电粒子束来检查样本的装置和方法有效
| 申请号： | 201580036950.2 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN106575595B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | P·库鲁伊特;A·C·左内维勒;任岩 | 申请（专利权）人： | 代尔夫特理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 袁逸 |
| 地址： | 荷兰代*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查样本的装置和方法。该装置包括：用于保持样本(15)的样本支持器(150)，用于生成一次带电粒子束(3)阵列的多波束带电粒子发生器，用于将该一次带电粒子束阵列定向到单独聚焦到该样本上的一次带电粒子束阵列的电磁透镜系统(13)，布置成用于检测在该一次带电粒子束撞击到该样本上时或者在该一次带电粒子束穿透过该样本之后由该聚焦一次带电粒子束产生的光子的多像素光子检测器(20),以及用于与将由该单独的聚焦一次带电粒子束的阵列中的至少两个相邻聚焦一次带电粒子束产生的光子(30，31，32)传送到该多像素光子检测器的不同和/或单独像素或者不同和/或单独像素群。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 带电 粒子束 检查 样本 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检查样本的装置，其特征在于，所述装置包括：用于保持所述样本的样本支持器，用于生成一次带电粒子束阵列的多波束带电粒子发生器，电磁透镜系统，用于将所述一次带电粒子束阵列定向到所述样本支持器处的单独的聚焦一次带电粒子束的阵列，多像素光子检测器，其布置成用于检测在所述一次带电粒子束撞击到所述样本上时或者在所述一次带电粒子束穿透过所述样本之后由所述聚焦一次带电粒子束产生的光子，以及光学组件，其用于将所述单独的聚焦一次带电粒子束的阵列中的至少两个相邻聚焦一次带电粒子束产生的光子传送到所述多像素光子检测器的不同或单独像素，或者不同或单独像素群。
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