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[发明专利]带电粒子显微镜中的复合扫描路径-CN201510710006.2有效
发明人： P.波托塞克;C.S.库吉曼;H-J.德沃斯;H.N.斯林格兰德 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明涉及带电粒子显微镜中的复合扫描路径。一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：‑样本保持器，用于保持样本；‑源，用于产生带电粒子射束；‑照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；‑扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；‑可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：‑所述扫描装置包括：▪长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；▪短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；‑所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行程扫描装置来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述长行程扫描装置来实现所述相对大幅度的迁移。
带电粒子显微镜中的复合扫描路径

[发明专利]扫描类型显微镜中的数学图像组合-CN201510339651.8有效
发明人： P.波托塞克;C.S.库伊曼;H.N.斯林格兰德;G.N.A.范维恩;F.波霍贝 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：‑提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；‑提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；‑使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：‑在第一采样时段S₁中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P₁采集检测器数据；‑重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{S_n}期间采集的这种群集的集合{P_n}，每个集合的基数N>1；‑通过使用集合{P_n}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{P_n}的不同成员之间的漂移失配。
扫描类型显微镜中的数学图像组合

[发明专利]用多个射束和多个检测器对样本成像-CN201510132049.7在审
发明人： P.波托塞克;C.S.库伊曼;H.N.斯林格兰德;G.N.A.范维恩;F.博霍贝;J.S.发伯;A.A.S.斯鲁特曼 -专利权人： FEI公司
申请日： 2015-03-25 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
用多个射束检测器样本成像