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- [发明专利]偏振光图像取得装置-CN202310143447.3在审
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藤原宽仁;山崎绿平
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日本株式会社日立高新技术科学
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2023-02-10
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2023-09-19
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G01N21/21
- 本发明提供偏振光图像取得装置，该偏振光图像取得装置能取得热分析装置内的测定试样或参照试样的偏振光图像。偏振光图像取得装置安装于热分析装置，该热分析装置具备分别收纳测定试样和参照试样的一对试样容器和从外侧包围试样容器的加热炉，能经由加热炉的窗或开口部至少观察测定试样，该偏振光图像取得装置具有：安装部，其安装于热分析装置；光源；起偏器，其构成对来自光源的照射光进行偏振的偏振光滤波器；照相机；以及检偏器，其构成如下偏振滤波器：透过了起偏器的偏振光经由窗或开口部照射测定试样或参照试样，该偏振滤波器使其反射光进行偏振而入射到照相机，起偏器的第一光路与检偏器的第二光路不平行，起偏器和检偏器均能旋转。
- 偏振光图像取得装置
- [发明专利]试样沟槽填埋方法-CN201810253305.1有效
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酉川翔太
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-03-26
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2023-09-12
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H01L21/762
- 本发明提供试样沟槽填埋方法，即使是在深度方向上具有深的高纵横比的沟槽的试样片，也能够均匀地填埋到沟槽内部而不会产生空洞。该试样沟槽填埋方法的特征在于，至少具有如下工序：切出工序，从具有从一面向深度方向延伸的沟槽的试样切出包含该沟槽在内的小区域的试样片；以及堆积工序，从所述试样片的沿所述深度方向展宽的侧面朝向所述沟槽内透过电子束，并且从所述沟槽的所述一面侧的开口向所述沟槽内喷射化合物气体，由此利用通过所述电子束的照射产生的二次电子对所述化合物气体进行分解，使所述化合物气体的结构物堆积到所述沟槽内。
- 试样沟槽方法
- [发明专利]扫描探针显微镜-CN201910001318.4有效
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岩佐真行;鹿仓良晃;工藤慎也;上野利浩
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日本株式会社日立高新技术科学
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2019-01-02
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2023-07-18
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G01Q30/04
- 提供扫描探针显微镜，可选择性地显示或一同显示测定数据及其差分数据的分布像，能够得到边缘强调像并且提高了用户的便利性。扫描探针显微镜(200)具有悬臂(1)和检测表示悬臂的位移的信号的位移检测器(5)，取得在使探针(99)沿着试样(300)的表面相对地扫描时所获取的测定数据，该扫描探针显微镜(200)还具有：分布像计算单元(40a)，其计算测定数据的一维或二维的第一分布像(201)和测定数据的相邻的数据的差分数据的一维或二维的第二分布像(202)；以及显示控制单元(40b)，其指示分布像计算单元计算第一分布像和第二分布像中的任意一方或双方，并且使规定的显示单元显示所计算出的分布像。
- 扫描探针显微镜
- [发明专利]剖面加工观察方法、剖面加工观察装置-CN201710182754.7有效
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满欣;上本敦
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日本株式会社日立高新技术科学
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2017-03-24
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2023-06-23
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H01L21/66
- 本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有：位置信息取得工序，使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察，取得所述样品所包含的特定观察对象物的在所述样品内的大概的三维位置坐标信息；剖面加工工序，基于所述三维位置坐标信息，朝向所述样品之中所述特定观察对象物所存在的特定部位照射聚焦离子束，使该特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射电子束，取得包含所述特定观察对象物的规定的大小的区域的图像；以及立体像生成工序，以规定间隔沿着规定方向多次重复进行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根据所取得的多个所述剖面图像来构筑包含所述特定观察对象物的三维立体像。
- 剖面加工观察方法装置
- [发明专利]质量分析装置和质量分析方法-CN201811337884.4有效
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佐久田昌博;的场吉毅
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-11-12
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2023-04-28
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G01N30/88
- 本发明提供一种质量分析装置和质量分析方法，其在不使装置大型化的情况下提高对包含夹杂物等第2物质的第1物质的检测精度，并且能够缩短测定时间。一种对试样进行分析的质量分析装置(110)，该试样包含由有机化合物构成的第1物质、和由有机化合物构成且质谱的峰与第1物质重叠的1种以上的第2物质，该质量分析装置具备峰校正部(217)，该峰校正部基于各第2物质的标准物质的质谱的峰中与第1物质的质谱的峰不重叠的峰A和与第1物质的峰重叠的峰B的非线性的强度的关系F，从试样中的第1物质的质谱的峰C的强度中减去由峰A的强度和关系F在每一规定时间间隔算出的峰B的推定强度的总和，算出第1物质的质谱的净值的峰D的强度。
- 质量分析装置方法
- [发明专利]液相色谱仪-CN202210644455.1在审
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源法雅;宝泉雄介;森圣年;伊藤正人
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日本株式会社日立高新技术科学
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2022-06-09
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2023-04-21
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G01N30/02
- 本发明提供液相色谱仪，在液相色谱仪中，在分离工序后使分离柱迅速降温，实现分析时间的缩短。液相色谱仪具备送液部、试样注入部、分离柱、将分离柱的温度升温至第1温度的第1温度调整装置、检测器、设置于分离柱的上游的将流动相的温度调整为比第1温度低的第2温度的第2温度调整装置、以及对送液部和第2温度调整装置中的至少一者进行控制的控制装置。控制装置对送液部和第2温度调整装置中的至少一者进行控制，以便在利用分离柱进行的试样成分的分离结束后、下次试样注入前将调整为第2温度的流动相输送到分离柱中。
- 色谱仪
- [发明专利]分析装置和分析方法-CN201810951851.2有效
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梅基毅;西村晋哉;伊藤晋;大久保信明
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-08-21
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2023-04-07
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G01N25/00
- 提供分析装置和分析方法，在遵照标准规格进行基于规定的分析方法的分析时能够减轻操作人员的负担、防止错误的分析。分析装置(100)具有：存储部(102)，其存储按照一个以上的分析方法的每个分析方法分别规定了分析条件的一个以上的标准规格的分析条件；控制部(104)；显示部(106)；输入部(108)；以及分析部(120)，其进行与分析方法对应的分析，在指定了分析方法时，控制部读出相对应的标准规格的分析条件，按照时间序列顺序显示其中的分析部的分析所需的分析条件或按照时间序列顺序提示输入分析条件，在从输入部输入了分析条件的情况下，控制部判定所输入的分析条件是否适合读出的分析条件，在判定为肯定的情况下，显示分析部的分析所需的下一个分析条件、或提示输入下一个分析条件。
- 分析装置方法
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