[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 201880091659.9 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111971774B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 本村俊一;野间口恒典;川崎忠宽;加藤丈晴;吉田龙视 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术;一般财团法人日本精细陶瓷中心 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 带电粒子束装置中，在使用具有圆环形状的带电粒子束光圈的情况下，带电粒子束中的电流密度最高的光轴上的带电粒子束被遮挡，因此难以将带电粒子束光圈配置到最优的搭载位置。因此，与圆环形状的带电粒子束光圈(120)分别地具备圆孔形状的带电粒子束光圈(119)，能够切换将圆环形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况和将圆孔形状的带电粒子束光圈配置在带电粒子束的光轴上的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
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- D.蔡德勒;S.舒伯特 - 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 2016-02-03 - 2021-10-08 - H01J37/09
- 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
- 会聚离子束加工装置-202110302101.4
- 大庭弘;杉山安彦;中川良知;永原幸儿 - 日本株式会社日立高新技术科学
- 2021-03-22 - 2021-09-24 - H01J37/09
- 提供在利用会聚离子束进行截面加工时改善截面形状、并且提高作业效率的会聚离子束加工装置。会聚离子束加工装置(100)具有离子源(21)、保持试样(200)的试样载台(50)、会聚透镜(22)、具有一边(24t)呈直线状的狭缝(24s)的光圈(24)、以及配置于光圈与试样台之间的射束路径的投射透镜(28)，在试样加工出截面，当基于柯拉照明法会聚离子束(20A)聚焦于投射透镜的主平面时会聚透镜的施加电压是100时，将施加电压设定为小于100且为80以上，设定光圈的位置，以使所述光圈在如下状态下遮挡该会聚离子束，该状态是，所述光圈的所述一边距所述会聚离子束的中心的距离大于0μm且为500μm以下的状态，构成将狭缝的形状转印到试样的转印模式。
- 一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜-202110614682.5
- 王鹏;朱月磊;张炜阳;茆伟 - 南京大学
- 2021-06-02 - 2021-09-03 - H01J37/09
- 本发明涉及显微成像技术领域，更具体地说，涉及一种可调光阑、光阑转换系统和电子显微镜。包括：成像单元，控制单元，驱动单元，伺服电机和可调光阑。可调光阑包括两个旋转芯，所述旋转芯之间彼此镜像对应，旋转芯上设置有旋转轴。本方案通过在电子显微镜中增加光阑自动转换装置，同时改变传统光阑的结构与传动方式，从而可使光阑转换与成像同步，可自动化获得一系列在不同光阑作用下所得的图像。同时，本发明公开的齿轮结构还可以完全抵挡住两个旋转芯之间狭缝位置的电子，使得电子探针不发散，获得更好地处理结果。
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