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[发明专利]使用氢和多种类聚焦离子束的粒子诱导X射线发射（PIXE）-CN202310417743.8在审
发明人： D·托通吉安;A·P·J·M·波特曼;M·托斯 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明描述了在聚焦离子束装置上或包括聚焦离子束和扫描显微术能力两者的双束装置上的粒子诱导X射线发射(PIXE)的实际具体实施。因此，分析方法包括：将包括质子和非氢离子的混合物的离子引导到样本上，其中该混合物的离子的动能不大于50千电子伏特(keV)；以及检测和测量响应于该质子和该非氢离子撞击到该样本上而从该样本发射的X射线。
使用多种类聚离子束粒子诱导射线发射 pixe

[发明专利]用于分析三维特征部的方法及系统-CN202210330501.0在审
发明人：吴冰星;钟祯新;刘春晓 -专利权人： FEI公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N23/2251 文献下载
摘要：基于第一表面的第一样品图像和第二表面的第二样品图像来分析样品中的多个特征部。所述第一表面包括所述多个特征部的横截面，并且所述第二表面包括所述多个特征部在相对于所述第一表面的不同样品深度处的横截面。所述第二表面是通过铣削所述样品以去除所述第一表面的至少一部分而形成。通过将所述第二图像中多个特征部的所述横截面和所述第一图像中所述多个特征部的对应横截面进行比较来构建所述多个特征部的3D模型。
用于分析三维特征方法系统

[发明专利]用于射束系统的惰性气体样本转移-CN202310053462.9在审
发明人： L·诺瓦克;P·格拉杰克;M·昂科夫斯基 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：提供了用于将惰性气体环境内的样本转移到射束系统和从射束系统转移样本的各种方法。在一个示例中，一种样本转移舱包括：容器，该容器被配置为在传送期间储存样本，其中该容器能够在闭合构型和开启构型之间进行调节；惰性气体储存室，该惰性气体储存室耦接到该容器并且被配置为储存惰性气体；和阀，该阀耦接到该惰性气体储存室和该容器，并且被配置为当该容器处于该闭合构型时选择性地允许该惰性气体从该惰性气体储存室流到该容器。以这种方式，样本可在传送期间以及在射束系统真空室通气时保持在惰性气体环境中，从而减少该样本的暴露，并且随后降低该样本的化学反应诸如氧化或氮化的速率。
用于系统惰性气体样本转移

[发明专利]利用几何模型进行3D临界尺寸测量-CN202310119183.8在审
发明人： J·弗拉纳根;M·吴;E·弗兰肯;D·理查乌 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：方法包括：获取模型样本的体积的一系列图像或光谱；使用一系列图像重建模型样本的体积的3D图像；通过形成重建的3D图像的分割并且将一个或多个原始几何形状拟合到分割来构建模型样本的体积的3D模型；获取测试样本图像或光谱；以及使用构建的3D模型测量测试样本临界尺寸，以指导测试光谱或图像的分析。公开了附加方法和相关系统、光学临界尺寸(OCD)方法和系统。
利用几何模型进行临界尺寸测量

[发明专利]自动粒子束聚焦-CN202310054262.5在审
发明人：邓雨辰;E·弗兰肯;B·V·克尼彭伯格;H·科尔 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本发明提供了用于自动聚焦粒子束以进行SPA的各种方法。在一个示例中，一种方法包括：基于来自样本的至少一个相邻区域的至少一个散焦测量结果来确定该样本的区域的焦点调整以实现目标散焦；以及使得利用该焦点调整在该区域处采集该样本的图像。以这种方式，能够在减少辅助成像的情况下跨样本的区域实现目标散焦，从而提供增加的且均匀的图像质量，同时减少时间并因此增加处理的吞吐量。
自动粒子束聚焦

[发明专利]带电粒子显微镜检查中的利用反馈的自动调谐载物台稳定时间-CN202310053868.7在审
发明人：邓雨辰;E·弗兰肯;B·V·克尼彭伯格;H·科尔 -专利权人： FEI公司
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：用于控制带电粒子显微镜检查系统的计算机实现的方法包括：基于图像序列来估计该带电粒子显微镜检查系统的载物台的漂移，以及基于该漂移估计值来自动调整载物台稳定等待持续时间。带电粒子显微镜检查系统包括：成像系统；移动载物台；以及处理器和被配置有计算机可执行指令的存储器，该计算机可执行指令在被执行时致使该处理器基于通过该成像系统获得的图像序列来估计该移动载物台的载物台稳定持续时间，以及基于该载物台稳定持续时间来自动调整该移动载物台的载物台稳定等待持续时间。
带电粒子显微镜检查中的利用反馈自动调谐载物台稳定时间

[发明专利]一种制备用于用冷冻电子显微镜进行成像的一种或多种分子样品的方法及装置-CN202211714753.X在审
发明人： A·科尼恩伯格;T·埃瑟;P·弗雷姆林;J·高特;S·劳申巴赫 -专利权人： FEI公司;牛津大学创新有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01N23/2202 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备用于用冷冻电子显微镜进行成像的一种或多种分子的样品的方法。该方法包括：提供载体衬底，使载体衬底低温冷却以形成经低温冷却的载体衬底，通过电喷雾电离而产生一种或多种分子的气相离子，使气相离子减速，在经低温冷却的载体衬底上接纳气相离子以形成用于用冷冻电子显微镜进行成像的样品，并且在经低温冷却的载体衬底上接纳离子的步骤之后将经低温冷却的载体衬底加以屏蔽。当在经低温冷却的载体衬底处被接纳时使离子减速的步骤将各离子的能量降低至每个电荷小于20eV。本发明还涉及一种用于为冷冻电子显微镜制备一种或多种分子的样品的装置。
一种制备用于冷冻电子显微镜进行成像多种分子样品方法装置

[发明专利]铣削精度改进的显微镜反馈-CN202211609396.0在审
发明人： T·G·米勒;J·阿尔加瓦克;小布莱恩·劳斯;M·别杰茨基 -专利权人： FEI公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：公开用于将基于图像的计量集成到铣削工作流中的方法和设备。对距样本上的最终目标位置一定距离处的边缘执行第一离子束铣削操作。所述样本的SEM图像用于确定铣削边缘与所述样本上的参考结构之间的距离。基于所确定的距离，调整所述离子束以执行第二铣削操作，以将所述铣削边缘移位到所述最终目标位置。公开对迭代过程的扩展。公开各种几何配置和校正。在包含读写磁头制造和TEM样本制备的各种领域中公开制造和分析应用。可以使用成像和铣削工具的其它组合。
铣削精度改进显微镜反馈

[发明专利]用于精确基准查找的形状不变方法-CN202211491493.4在审
发明人： U·阿迪加;M·别杰茨基 -专利权人： FEI公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G06V10/25 文献下载
摘要：通过将模板与从工件图像提取的感兴趣区对准来获得基准坐标。沿着模板轴线投影所述感兴趣区中的图像值，并评估投影值以建立基准位置，所述基准位置可用作用于定位工件区域以用于离子束铣削或其它处理的参考位置。
用于精确基准查找形状不变方法

[发明专利]真空兼容的X射线屏蔽罩-CN202211454500.3在审
发明人： P·唐娜;C·斯密特;R·J·德赫罗特 -专利权人： FEI公司
申请日： 2022-11-21 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B22F10/28 文献下载
摘要：公开用于在超高真空外壳内设置X射线屏蔽罩的方法及设备。制造壳体，对其进行泄漏测试，将其填充有X射线屏蔽材料，且对其进行密封。细长的扭曲的X射线屏蔽罩可部署在电子显微镜或类似设备的泵出通道内。所述屏蔽罩可在不锈钢壳体内并有铅，且在所述壳体外部具有任选的低Z包层。公开了其它变化。
真空兼容射线屏蔽

[发明专利]缺陷分析-CN201711367537.1有效
发明人： T·G·米勒 -专利权人： FEI公司
申请日： 2017-12-18 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种用于分析缺陷的系统，包括：使用晶片检查工具确定缺陷的坐标；识别缺陷坐标附近的感兴趣结构；引导聚焦离子束朝向所述晶片以暴露所述感兴趣结构；以及形成所暴露的感兴趣结构的图像，其中引导所述聚焦离子束以在与所识别的感兴趣结构相对应的位置处而非在缺陷坐标处进行铣削。
缺陷分析

[发明专利]固态ESD SIC模拟器-CN202210931783.X在审
发明人： M·埃尔南德斯 -专利权人： FEI公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：固态ESD SIC模拟器。静电放电(ESD)测试系统包括基于FET的脉冲发生器，其使用成对的背靠背FET，所述背靠背FET进行耦合以基于对与被测装置(DUT)串联耦合的电容器进行放电而产生ESD脉冲。可以基于预期的ESD测试电压幅度来选择多个FET。
固态 esd sic 模拟器

[发明专利]利用对束图像的卷积神经网络的评估进行的光学对准校正-CN201911308970.7有效
发明人： G·格莱德希尔;M·玛佐兹;G·米奇森 -专利权人： FEI公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明是关于一种聚焦离子束(FIB)，其用于在各种离子束柱设置下将束斑铣削到基底中，以形成用于训练卷积神经网络的一组训练图像。在所述神经网络被训练之后，可以通过获取用所述神经网络处理的光斑图像来调整离子束。所述神经网络可以提供散焦的量级和方向、孔径位置、透镜调整或其它离子束或离子束柱设置。在一些情况下，调整不由所述神经网络完成，而是用于指示所述离子束和相关联的离子柱继续稳定地操作，并且不需要给予额外调整。
利用图像卷积神经网络评估进行光学对准校正

[发明专利]带电粒子显微镜的像差测量-CN201810174345.7有效
发明人： A·亨斯特拉;P·C·蒂默杰 -专利权人： FEI公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：一种操作带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：‑在样品夹上设置样品；‑使用源来产生带电粒子束；‑将所述光束通过照明器，照明器包括：源透镜，其具有相关的粒子光轴；聚光镜光圈，其设置在源透镜和样品之间并且被配置为限定所述光束在样品上的覆盖区；‑采用从照明器出射的光束照射样品；‑使用探测器检测响应于所述照射而从样品发出的辐射，并且产生相关的图像；尤其包括如下步骤：‑从所述源中选择一组发射角；‑对于所述组中的每个发射角，选择以该发射角从源发射的对应子光束，并且存储由该子光束形成的测试图像，从而收集对应于该组发射角的一组测试图像；‑分析该组测试图像以评估在所述聚光镜光圈之前生成的照明器像差。
带电粒子显微镜测量

[发明专利]带电粒子显微镜中的共焦成像的方法和系统-CN201911099869.5有效
发明人： M·威廉姆森;A·巴纳姆;D·唐 -专利权人： FEI公司
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本文公开了用于带电粒子显微镜共焦成像的方法和系统。实例方法包括获得一部分样品的多个探针图像，所述多个探针图像中的每个探针图像在所述样品内的不同焦深处获得，将虚拟光圈应用于所述多个探针图像中的每个探针图像以形成相应的多个共焦图像，以及基于所述多个共焦图像形成所述样品的三维重建。
带电粒子显微镜中的成像方法系统

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