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[发明专利]电子显微镜、电子-光子相关性测定装置以及电子-光子相关性测定方法-CN202280020219.0在审
发明人：三宫工;柳本宗达;秋叶圭一郎;齐藤光 -专利权人：国立研究开发法人科学技术振兴机构
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明所涉及的实施方式的电子显微镜具备：电子枪，其向试样照射电子；电子检测器，其检测被照射到试样的电子；光子检测器，其检测在电子被照射到试样时从试样发射的光子；以及运算器，其基于电子检测器检测到电子的时间以及光子检测器检测到光子的时间，针对检测到的每个光子运算电子被照射到试样的时间与光子被从试样发射出的时间的时间差，并运算表示时间差的分布的电子‑光子时间相关性。
电子显微镜电子光子相关性测定装置以及方法

[发明专利]原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法-CN201910709831.9有效
发明人：池田隆洋;蔵本明;圷晴子 -专利权人：铠侠股份有限公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：实施方式提供一种能够对进行试样的原子分布再构成后所得的图像，修正因试样的局部倍率而产生的失真的原子探针检查装置、场离子显微镜及失真修正方法。实施方式的原子探针检查装置具备变动部、检测部、特定部、制作部、推定部及再构成部。变动部使从同一位置脱离的离子在由位置敏感型检测器检测所得的位置发生变动。检测部检测位置信息及飞行时间。特定部特定出元素。制作部于在第1条件下检测出的二维位置、及在与第1条件不同的第2条件下检测出的二维位置，根据位置信息及飞行时间制作各再构成图像。推定部根据第1条件及第2条件各自的再构成图像的对应关系，推定与实际位置相关的信息。再构成部基于推定信息，再构成反映出实际原子配置的图像。
原子探针检查装置离子显微镜失真修正方法

[发明专利]一种用于透射电镜表征的热、电场耦合型密封腔芯片及其制作方法-CN202210378551.6有效
发明人：贺龙兵;卢子煜;谢君 -专利权人：东南大学
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明公开一种用于透射电镜表征的热、电场耦合型密封腔芯片及其制作方法，包含基板芯片与顶板芯片，基板芯片包括第一硅衬底、在第一硅衬底上表面和下表面的介质层、沉积在上表面介质层上的接触电极、加热电极、电场电极以及隔离层；制作基板芯片上的第一观察窗口；顶板芯片包括第二硅衬底，第二硅衬底上表面和下表面的介质层，制作顶板芯片上的第二观察窗口。将样品置于基板芯片的观察窗口区，基板芯片与顶板芯片粘合，放入匹配的透射电镜样品杆中即可使用。本发明不仅能够实现在密封腔中对样品进行加热，还能同步在局部施加额外电场，有助于在透射电镜原位表征过程中实时观察材料在电场诱导下的动态生长过程。
一种用于透射表征电场耦合密封芯片及其制作方法

[实用新型]一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置-CN202321168359.0有效
发明人：何超;王贺;潘娟 -专利权人：北京金竟科技有限责任公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置，包括探头部、前端支撑部及第一调节部；探头部包括可移动管体和连接在可移动管体第一端的探头；可移动管体的第二端穿过前端支撑部向后伸出；前端支撑部包括固定件、第一可活动件及第二可活动件；第二可活动件端部设在第一可活动件的轴向通孔内；第二可活动件端部的径向外表面与轴向通孔的内表面之间设间隙；第二可活动件端部的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动连接；第一调节部包括第一纵向调节件和第一横向调节件；第一纵向调节件用于使得第一可活动件相对固定件进行上下移动，进而带动探头部上下移动；第一横向调节件用于使得第二可活动件相对第一可活动件进行左右移动，进而带动探头部左右移动。
一种用于电子显微镜阴极荧光探头装置

[发明专利]带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正-CN202310175175.5在审
发明人： E·弗兰肯;B·J·詹森 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间，带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时，捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变，其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。
带电粒子束显微中的光学测量校正

[发明专利]通过带电粒子系统中的高级充电控制器模块的热辅助检查-CN202180084897.9在审
发明人：叶宁;蒋军;张剑;王義向 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：用于提供用于控制带电粒子束系统的样品表面上的电荷的射束的装置、系统和方法。在一些实施例中，模块包括被配置为发射射束的激光源。射束可以照射晶片上与像素相邻的区域以间接加热像素，从而减轻像素处的直接光子诱导效应的原因。一种被配置为检测像素中的缺陷的电子束工具，其中该缺陷是由对像素的间接加热诱导的。
通过带电粒子系统中的高级充电控制器模块辅助检查

[发明专利]电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310512377.4在审
发明人：何超;王贺;魏倩 -专利权人：北京金竟科技有限责任公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本公开提供了一种电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质，其中，该方法包括：响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，获取所述目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值；所述扫描点图是基于电子束扫描操作扫描得到的；基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。本公开中针对目标窗口可以是更细粒度的扫描操作，这样所确定的光谱分析结果能够解析出更为完整全面的光谱特性信息，且可视化地查看各项操作及最终的光谱分析结果，适用性更强。
电子束扫描控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种带电粒子消色差能量选择成像装置及方法-CN202310499334.7在审
发明人：张长青;盛亮;李豪卿;黑东炜;王群书 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2023-05-05 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及高能带电粒子成像装置及方法，具体涉及一种带电粒子消色差能量选择成像装置及方法。解决了目前带电粒子成像技术存在色差模糊、透射粒子能损信息利用不足的技术难题。本发明装置包括带电粒子束源、束流传输单元和光学成像单元；束流传输单元包括四个对称单元和用于能量选择的两个限束狭缝组件，对称单元包括真空管道和二极磁铁；真空管道包括圆弧段和设置在圆弧段两端的直线段；二极磁铁套设在圆弧段上，使得对称单元为对称结构；带电粒子束的传输矩阵为六阶矩阵A，且满足条件：A11＝0、A22＝0、A33＝0、A44＝0；光学成像单元包括设置在像平面处的电光转换屏和设置在电光转换屏光路上的CCD相机。本发明还提供了一种带电粒子消色差能量选择成像方法。
一种带电粒子色差能量选择成像装置方法

[发明专利]一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置-CN202310546856.8在审
发明人：何超;王贺;潘娟 -专利权人：北京金竟科技有限责任公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：一种用于电子显微镜的阴极荧光探头装置，包括探头部、前端支撑部及第一调节部；探头部包括可移动管体和连接在可移动管体第一端的探头；可移动管体的第二端穿过前端支撑部向后伸出；前端支撑部包括固定件、第一可活动件及第二可活动件；第二可活动件端部设在第一可活动件的轴向通孔内；第二可活动件端部的径向外表面与轴向通孔的内表面之间设间隙；第二可活动件端部的径向内表面与可移动管体的径向外表面滑动连接；第一调节部包括第一纵向调节件和第一横向调节件；第一纵向调节件用于使得第一可活动件相对固定件进行上下移动，进而带动探头部上下移动；第一横向调节件用于使得第二可活动件相对第一可活动件进行左右移动，进而带动探头部左右移动。
一种用于电子显微镜阴极荧光探头装置

[发明专利]具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜-CN201811488218.0有效
发明人： A.亨斯特拉;P.C.缇梅杰 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：涉及具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜。使用透射带电粒子显微镜的方法包括：试样固定器；源；照明器；成像系统；控制器，在方法中传感装置被选为EELS/EFTEM模块，其包括：入口平面；图像平面；狭缝平面；分散装置；分散装置与狭缝平面间的第一四极系列；狭缝平面与图像平面间的第二四极系列，分散装置和四极沿光轴设置，由此在光轴沿Z布置的笛卡尔坐标系中分散方向被定义成与X平行，其包括以下步骤：在第一四极系列中激发一个或多个四极，以将离开分散装置的离轴非分散YZ射线偏转到从狭缝平面到图像平面的光轴的旁轴路径上；在第二四极系列中激发单个四极或者一对相邻四极，以将能量分散束聚焦到图像平面上。
具有改进 eels eftem 模块透射带电粒子显微镜

[发明专利]用于TEM薄片制备的样品取向的方法-CN201811591747.3有效
发明人： T.维斯塔维勒;L.斯特拉克斯;A.普罗科瑟瓦;J.万哈拉;J.斯特拉瑞克 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于TEM薄片制备的样品取向的方法。衬底可对准以用于离子束铣削或其他检查或处理，其通过基于来自所述衬底的电子束反向散射从所述衬底获得电子沟道图案（ECP）或其他电子束反向散射图案。所述ECP随衬底晶体取向而变化，并且与处于最大值、最小值或中点处或附近的ECP图案值相关的倾斜角被用于确定衬底倾斜。然后使用连接所述衬底的倾斜台或通过调整离子束轴来补偿或消除此倾斜。在典型的实例中，电路衬底“块”被对准以用于离子束铣削以揭示用于评估电路处理的电路特征。
用于 tem 薄片制备样品取向方法

[实用新型]一种具备防尘功能的电子显微镜-CN202320990979.6有效
发明人：刘乃深;刘思东 -专利权人：惠州市精胜达精密科技有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本实用新型属于电子显微镜技术领域，公开了一种具备防尘功能的电子显微镜，包括显微镜主体，所述显微镜主体上转动有一组镜头，所述镜头的外侧套设有与其滑动连接的滑动套，一组所述滑动套的外侧通过两个铰接轴铰接有两个防尘板，所述铰接轴的中部安装有扭簧，所述扭簧的一端安装至防尘板的内部，所述防尘板的外侧粘接有清洁棉，所述清洁棉的外侧与镜头的外侧接触，一组所述滑动套之间设置有联动机构。该实用新型，在具备防尘效果的同时，可在每次使用前对多个镜头进行同步快速清理，保证显微镜的使用效果，使用户省时省力，提升显微镜的使用效率。
一种具备防尘功能电子显微镜

[发明专利]用于调节带电粒子的束状态的方法和设备-CN201880063453.5有效
发明人：刘学东 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于调节带电粒子的束状态的设备和方法。根据某些实施例，该设备包括在孔上方移位的一个或多个第一多极透镜，该一个或多个第一多极透镜被配置为调节穿过孔的带电粒子束的束电流。该设备还包括在孔下方移位的一个或多个第二多极透镜，该一个或多个第二多极透镜被配置为调节束的斑尺寸和斑形状中的至少一项。
用于调节带电粒子束状方法设备

[发明专利]生成样品表面部分的晶体取向图的方法和计算机程序产品-CN202211629054.5在审
发明人： L.韩 -专利权人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种生成样品的表面部分的晶体取向图的方法。晶体取向图表示在表面部分的多个样品位置处的晶体取向。该方法包括：对于多个不同取向设置中的每一个，使用被引导到该表面部分并从该表面部分进行反向散射的带电粒子束的粒子来记录包括中心位置的该表面部分的图像，其中，这些取向设置中的每一个由方位角和仰角定义，在记录该相应图像期间，该带电粒子束在该方位角和该仰角下入射到该中心位置上；以及基于所记录的图像生成该晶体取向图。
生成样品表面部分晶体取向方法计算机程序产品

[发明专利]电子束成像的光栅扫描方法、图像数据重构方法及扫描电子束成像装置-CN202310271388.8有效
发明人：赵焱 -专利权人：苏州矽视科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明属于扫描电子束成像领域，特别涉及电子束成像的光栅扫描方法、图像数据重构方法及扫描电子束成像装置。光栅扫描方法为，电子源发射的电子束以可变幅值的行扫描信号实现与预期图像呈倾斜角度的光栅扫描，帧扫描的起点和终点位于图像的对角线两端或附近，每行行扫描信号的波形峰峰值、时长均随扫描区域大小、图像像素尺寸及斜扫角度呈规律性变化。本发明在图像质量层面，均衡水平和垂直边缘形貌解析度的差异，提高图像量测和检测灵敏度，减少了无效扫描面积，提高了成像速度，适用于大面积区域的连续成像覆盖，避免了无效区域的交叠所造成均匀性影响和损伤。本发明在应用层面，没有改变图像方位的呈现方式，与行业习惯和设备应用透明兼容。
电子束成像光栅扫描方法图像数据扫描装置

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