[发明专利]有机EL器件制造装置以及有机EL器件制造方法无效
| 申请号： | 201310070276.2 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103361606A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 片桐贤司;图师庵;龟山大树;郑载勋;李相雨 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够减少驱动机构且进一步高精细地蒸镀的有机EL器件制造装置或者有机EL器件制造方法。本发明提供一种有机EL器件制造装置或者方有机EL器件制造方法，能够内置N（N为2以上）张基板，使上述基板与蒸发源正对，通过上述蒸发源的单向往返移动来使蒸镀材料蒸镀到上述基板上，其特征在于，上述蒸发源通过仅在上述单向的移动来依次蒸镀N张上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 器件 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种有机EL器件制造装置，具有使蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和真空蒸镀室，该真空蒸镀室能够内置N张与上述蒸发源正对且通过上述蒸发源的单向往返移动被蒸镀的上述基板，其中，N为2以上，上述有机EL器件制造装置的特征在于，上述蒸发源通过仅在上述单向的移动来依次蒸镀N张上述基板。
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