[发明专利]有机EL器件制造装置以及有机EL器件制造方法

权利要求书

1.一种有机EL器件制造装置，具有使蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和真空蒸镀室，该真空蒸镀室能够内置N张与上述蒸发源正对且通过上述蒸发源的单向往返移动被蒸镀的上述基板，其中，N为2以上，上述有机EL器件制造装置的特征在于，

上述蒸发源通过仅在上述单向的移动来依次蒸镀N张上述基板。

2.根据权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述N为2。

3.根据权利要求1或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述基板在垂直或者大致垂直的状态下被蒸镀，上述蒸发源是在纵向成列地具备多个使已蒸发的蒸镀材料喷出的喷出口的立式蒸发源，通过使上述立式蒸发源在上述单向移动来蒸镀上述基板。

4.根据权利要求3所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

具备将上述基板水平搬入上述真空蒸镀室的搬运单元，

上述真空蒸镀室具有基板面控制单元，该基板面控制单元使上述基板从水平为垂直或者大致垂直的状态，从而使上述基板与上述立式蒸发源正对。

5.根据权利要求1或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

上述基板在水平状态下被蒸镀，上述蒸发源是在横向成列地具备多个使已蒸发的蒸镀材料喷出的喷出口的卧式蒸发源，通过使上述卧式蒸发源在上述单向移动来蒸镀多个上述基板。

6.根据权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

具有蒸镀单元，其在利用上述蒸发源蒸镀N张上述基板中的第1张上述基板时，将第N张上述基板搬入上述真空蒸镀室内，在利用上述蒸发源蒸镀第2张上述基板时将第1张上述基板从上述真空蒸镀室内搬出。

7.根据权利要求2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，

具有蒸镀单元，其在利用上述蒸发源蒸镀第1张基板时，将第2张上述基板搬入上述真空蒸镀室内，在蒸镀第2张上述基板时，将第1张上述基板从上述真空蒸镀室内搬出。

8.一种有机EL器件制造方法，能够内置N张基板，使上述基板与蒸发源正对，通过上述蒸发源的单向往返移动来将蒸镀材料蒸镀到上述基板，其中，N为2以上，上述有机EL器件制造方法的特征在于，

上述蒸发源通过仅在上述单向的移动来依次蒸镀N张上述基板。

9.根据权利要求8所述的有机EL器件制造方法，其特征在于，

上述N为2。

10.根据权利要求8或9所述的有机EL器件制造方法，其特征在于，

上述基板在垂直或者大致垂直的状态下被蒸镀，上述蒸发源是在纵向成列地具备多个使已蒸发的蒸镀材料喷出的喷出口的立式蒸发源，通过使上述立式蒸发源仅在上述单向移动来蒸镀上述基板。

11.根据权利要求9所述的有机EL器件制造方法，其特征在于，

在利用上述蒸发源蒸镀第1张基板时，将第2张上述基板搬入上述真空蒸镀室内，在蒸镀第2张上述基板时，将第1张上述基板从上述真空蒸镀室内搬出。