[发明专利]用于半导体衬底接合的微机械方法和相应的装置以及相应的接合的半导体芯片有效
| 申请号： | 201080051452.2 | 申请日： | 2010-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN102666368A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | A·特劳特曼;R·赖兴巴赫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李少丹;刘春元 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于接合半导体衬底的微机械方法和相应的装置以及相应的接合的半导体芯片。该装置包括一个半导体衬底，它具有带有大量半导体芯片(1)的芯片图案，其分别具有功能区(4)和包围功能区(4)的边缘区(4a)，其中在与功能区(4)隔开的边缘区(4a)中设置有由至少两种合金组分组成的接合合金形成的接合框(2)。在边缘区(4a)的被接合框(2)所包围的部分(4a2)内部在接合框(2)和功能区(4)之间设置至少一个由合金组分中的至少一种形成的止流框(7；7a，7b；7b′；70)，它设置得为在接合时当接合合金的熔融物遇到止流框(7；7a，7b；7b′；70)时接合合金出现凝固。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 衬底 接合 微机 方法 相应 装置 以及 芯片 | ||
【主权项】：
用于半导体衬底接合的装置，带有：具有带有大量半导体芯片(1)的芯片图案的半导体衬底，这些半导体芯片分别具有功能区(4)和包围该功能区(4)的边缘区(4a)；其中在与功能区(4)隔开的边缘区(4a)中设置有由至少两种合金组分组成的接合合金形成的接合框(2)；其特征在于，在边缘区(4a)的被接合框(2)所包围的部分(4a2)内部在接合框(2)和功能区(4)之间设置有至少一个由合金组分中至少一种形成的止流框(7；7a，7b；7b′；70)，它设置为使得在接合时当接合合金熔融物遇到止流框(7；7a，7b；7b′；70)时接合合金出现凝固。
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