[实用新型]衬底无效

专利信息
申请号: 201120512360.1点击下载 申请日: 2011-12-09
公开(公告)号: CN202395025U 公开(公告)日: 2012-08-22
发明(设计)人: 梁秉文 申请(专利权)人: 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
主分类号: H01L33/20 分类号: H01L33/20;H01L29/06
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 314300 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型实施例提供一种具有主动面和被动面的衬底,所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件,所述被动面具有多条预切割通道,该预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力,该预切割通道的位置与即将形成的LED器件或集成电路器件的位置对应。在形成LED器件或集成电路器件的过程中,所述预切割通道可以将衬底上的应力释放,从而减小或消除衬底上的应力,有利于提高LED器件的良率。并且上述形成有预切割通道的衬底在LED器件或集成电路器件形成后,可以直接进行裂片,无需进行减薄、切割步骤,从而减少工艺步骤,简化工艺流程,提高LED器件的成品率、产量,降低LED器件的成本。
搜索关键词: 衬底
【主权项】:
一种衬底,其特征在于,所述衬底具有相对设置的主动面和被动面,所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件,所述被动面具有多条预切割通道,所述预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力,所述预切割通道的位置与即将形成的LED器件或集成电路器件的位置对应。
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