[发明专利]衬底托盘、衬底定位方法及衬底定位系统

摘要

本发明公开了一种衬底托盘、衬底定位方法及衬底定位系统，衬底托盘设置有多个沿反射率监控圆环间隔设置的第一衬底放置区至第N衬底放置区；其中，自第一衬底放置区起，相邻两个衬底放置区的间隔分别为第一间隔至第N间隔，第一间隔至第N间隔中包括有至少一个定位间隔，且其余间隔的距离相同，定位间隔的距离与任意相邻衬底放置区的间隔的距离不同。获取采集反射率数据并绘制为反射率柱形图，由于在衬底托盘的第一间隔至第N间隔中设置至少一个定位间隔，进而通过相邻衬底放置区的间隔的距离和反射率柱形图中相邻柱形的间隔的距离对定位间隔进行确定，并通过衬底托盘的转动方向，以最终确定发射率柱形图中每个柱形所对应的衬底。

主权项

1.一种衬底定位方法，应用于MOCVD生长工艺中沿反射率监控圆环实时采集衬底托盘上衬底表面的薄膜的反射率的过程，其特征在于，所述衬底托盘设置有多个沿反射率监控圆环间隔设置的第一衬底放置区至第N衬底放置区；其中，自所述第一衬底放置区起，相邻两个衬底放置区的间隔分别为第一间隔至第N间隔，所述第一间隔至第N间隔中包括有至少一个定位间隔，且其余间隔的距离相同，所述定位间隔的距离与任意相邻衬底放置区的间隔的距离不同，N为不小于2的整数，所述衬底定位方法包括：获取采集的反射率数据；根据所述反射率数据绘制反射率柱形图；根据所述衬底托盘的转动方向、相邻衬底放置区的间隔的距离和反射率柱形图中相邻柱形的间隔的距离，确定所述反射率柱形图中每个柱形所对应的衬底。