[发明专利]衬底-产品衬底-组合以及用于制造衬底-产品衬底-组合的设备和方法有效

专利信息
申请号: 201280073963.3点击下载 申请日: 2012-06-12
公开(公告)号: CN104662652A 公开(公告)日: 2015-05-27
发明(设计)人: 埃里希·塔尔纳 申请(专利权)人: 埃里希·塔尔纳
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/68
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 朱君;刘春元
地址: 奥地利圣*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明涉及一种用于通过将平面衬底(2,2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5,5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的方法,其中,所述衬底(2,2′)在接触时具有比所述载体衬底(5,5′)的平均直径d2更大的平均直径d1。此外,本发明还涉及一种用于通过将平面衬底(2,2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5,5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底-产品衬底-组合的衬底(2,2′),其中,所述衬底(2,2′)具有直径d1,该直径在背面减薄时可通过所述衬底(2,2′)的横截面的形状在其周缘轮廓(2u)上减小。另外,本发明还涉及一种相对应的设备和一种用于将具有平均直径d1的平面衬底(2)用于与具有平均直径d2的载体衬底(5)进行对准和接触以便对所述平面衬底(2)进行再加工的用法,其中,平均直径d1大于平均直径d2。
搜索关键词: 衬底 产品 组合 以及 用于 制造 设备 方法
【主权项】:
一种用于通过将平面衬底(2,2′)的接触侧(2o)与载体衬底(5,5′)的支撑面(5o)对准、接触和接合来制造衬底‑产品衬底‑组合的方法,其中,所述衬底(2,2′)在接触时具有比所述载体衬底(5,5′)的平均直径d2更大的平均直径d1。
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