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[发明专利]用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器-CN202310886560.0在审
发明人：孟梦;蒋泉权;刘国淦;钱俊 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器，所述高精度小口径大曲率半径凸非球面为待测非球面；其特征在于，所述补偿器整体为旋转对称结构，补偿器内沿同一光轴依次排列三个单透镜组成透镜组，所述三个单透镜均为抛光球面，且沿光线入射方向依次为第一镜片、第二镜片和第三镜片；所述待测非球面沿光线入射方向设置于第三镜片后方；所述补偿器将干涉仪发出的平面波转换为与待测非球面相匹配的非球面波，从而实现对待测非球面的零位检测。本发明结构简单，易于加工，方便使用。
用于高精度小口径曲率半径球面检测补偿

[实用新型]一种方形凹槽抛光装置-CN202223168627.7有效
发明人： 刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B24B19/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学零件加工领域。一种方形凹槽抛光装置，包括研磨机构，研磨机构包括电机以及抛光盘组件，其特征在于，电机通过万向联轴器与抛光盘组件联动；抛光盘组件包括从上至下顺序连接的旋转轴、勒洛三角形导向块、弹性连接结构以及三爪抛光盘；三爪抛光盘的外边缘的截面为三角形或者与勒洛三角形导向块的角部截面相匹配；还包括支撑架，支撑架上安装有电机支撑横梁，电机支撑框架用于安装电机；支撑架上还安装有限位架；限位架上开设有限位槽，限位槽包括用于旋转轴活动的圆孔以及用于勒洛三角形导向块活动的方孔，圆孔与方孔上下对接导通。本实用新型解决传统抛光方法无法对凹槽底部均匀抛光的问题。
一种方形凹槽抛光装置

[发明专利]一种3D打印光学反射镜-CN202110684749.2有效
发明人：赵仁洁;徐松;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及一种3D打印光学反射镜，反射镜本体正面为反射区域，反射镜本体背面绕反射镜轴心设固定接环并环形阵列设置主加强筋；所述主加强筋的头端固定至所述固定接环，所述主加强筋沿反射镜本体的径向延伸并将尾端固定至反射镜本体背面；反射镜本体背面铺设填充网状筋。本发明的有益效果是使得反射镜在保证刚度和强度的前提下轻量化显著，最大化3D打印制造的优势。
一种打印光学反射

[发明专利]一种方形凹槽抛光方法-CN202211506373.7在审
发明人： 刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学零件加工领域。一种方形凹槽抛光方法，包括如下步骤，步骤一，将工件固定在二维平移机构上；步骤二，移动二维平移机构，将弹性抛光盘组件置入工件的方形凹槽内，将方形凹槽与弹性抛光盘组件进行位置对准；弹性抛光盘组件包括从上至下顺序连接的勒洛三角形导向块、弹性连接结构以及三爪抛光盘；弹性抛光盘组件通过万向联轴器与电机联动；步骤三，调节勒洛三角形导向块的上下高度，调节抛光压力；勒洛三角形导向块活动安装在一限位架上，限位架可上下位置调节，限位架上开设有用于勒洛三角形导向块活动的方形导向槽；步骤四，电机启动带动弹性抛光盘组件旋转，三爪抛光盘的端部的运动轨迹为方形。本发明实现了方形凹槽的研磨。
一种方形凹槽抛光方法

[发明专利]一种用于高次非球面检测的补偿器-CN202111020463.0在审
发明人：孟梦;蒋泉权;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G02B3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于高次非球面检测的补偿器，所述补偿器的主体为单个的透镜，所述透镜的侧面为圆柱面，所述透镜一侧的入光面为内凹的抛光高次非球面，该入光面采用标准非球面方程表述的c值略小于待测非球面表述的c值且入光面的非球面度小于待测非球面；所述抛光高次非球面的光轴呈旋转对称结构，所述透镜另一侧的出光面为与侧面垂直的抛光平面。本发明的有益效果是易于加工，与传统球面透镜组形式的补偿器相比，减少了补偿器所需透镜的数量，节约了成本，避免了透镜组复杂的机械装配过程，能够缩短加工工期。
一种用于高次非球面检测补偿

[发明专利]一种离轴非球面反射镜铣磨模型建立方法-CN202010268479.2在审
发明人：马占龙;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种离轴非球面反射镜铣磨模型建立方法，通过建立非球面母线、将非球面母线变换为母镜镜面模型、建立子镜基准坐标系，最后构造离轴非球面模型。本发明的有益效果是建模简单，适应于离轴非球面反射镜的制造。
一种离轴非球面反射镜铣磨模型建立方法

[发明专利]侧立镜组及其安装方法-CN201610285798.8有效
发明人：汪明天;刘国淦 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种侧立镜组及其安装方法，该镜组包括镜框和光学镜片，对称分布于镜框垂直中心线两侧与镜框一体化成型设置的两个硬支撑点，每个硬支撑点与光学镜片直接接触连接；在光学镜片的底部设置有通过调整螺钉接触连接的弹性支撑件；镜框的顶部设置有用于限定光学镜片产生径向位移的压紧螺钉。该方法包括，将光学镜片侧立放置在镜框的硬支撑体上；通过压紧螺钉施加给光学镜片一定大小的力，将光学镜片与每个硬支撑点均相抵；调整用于支撑光学镜片的弹性支撑件的支撑力，锁紧调整螺钉；安装一个以上的预紧簧片，对点胶孔进行点胶，以固定连接镜框与光学镜片；安装轴向限位块。本发明具有稳定性较高、面型精度较高的效果，有利于实现工程化。
侧立镜组及其安装方法

[发明专利]一种反射棱镜装置-CN201611089549.8有效
发明人：姜苏伦;汪明天;刘国淦 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G02B7/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种反射棱镜装置及用于固定反射棱镜的方法，反射棱镜装置包括：棱镜本体，所述棱镜本体的两侧面均设有一凸台；棱镜固定座，包括棱镜背面固定平面和棱镜侧边固定组件，所述棱镜背面固定平面与棱镜本体背面粘贴固定，所述棱镜侧边固定组件设置在所述棱镜背面固定平面的两侧并用于将所述凸台固定在所述棱镜固定座上；其中所述棱镜侧边固定组件包括用于承载凸台的台阶和凸台压紧件，所述凸台压紧件用于将所述凸台压紧固定在所述台阶上。本发明的反射棱镜装置在重力方向由簧片的变形来吸收反射棱镜变形产生的力，在水平方向采用胶结来吸收反射棱镜膨胀或收缩时产生的应力，从而实现反射棱镜的无应力固定，有效控制了棱镜面型。
棱镜反射棱镜凸台背面固定固定组件侧边固定座压紧件变形压紧固定有效控制粘贴固定重力方向两侧面平面的簧片胶结面型吸收背面收缩承载膨胀

[发明专利]一种光刻机的快门叶片-CN201511022925.7有效
发明人：陈梦来;刘国淦;章富平 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机的快门叶片，快门叶片接受光源照射的一面设有用于增大照射光的反射光线与水平线的夹角的光路转换件。通过设置光路转换件，使快门叶片上形成底部具有V形或倒V形斜坡的环形凹槽或条形凹槽，以及表面呈弧形的球形凸起，使照射在快门叶片表面的光线在经快门叶片反射后远离灯室的保护玻璃，以减少反射光线进入灯室，从而使位于灯室顶部的能量传感器能稳定工作，实现精密控制曝光剂量的目的。此外，设置V形或倒V形斜坡还具有增大散热面积，减少快门叶片的热量吸热，提高其使用寿命的效果；而设置球形凸起增加了快门叶片的强度，缓解反射光过于集中导致的局部温度过高的现象，进一步提高了快门叶片的使用寿命。
一种光刻快门叶片

[发明专利]用于超薄板类光学零件的单点金刚石车削加工夹具及方法-CN201710713137.5有效
发明人：汪明天;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： B23Q3/12 文献下载
摘要：本发明提供用于超薄板类光学零件的单点金刚石车削加工夹具，包括能够与机床主轴连接的转接盘；所述转接盘中心留有用于机床吸附气体通过的圆孔；包括固定法兰，所述固定法兰中心留有用于机床吸附气体通过的圆孔，固定法兰一端面与转接盘贴合固定连接，另一端面加工有一个沉槽，沉槽底部布有3～5圈环形槽，环形槽底部与法兰中心圆孔通过孔道相连；包括微孔吸盘，所述微孔吸盘固定放置于沉槽内，底部由法兰的环形槽支撑。使用微孔吸盘作为加工基准面，将零件吸附到微孔吸盘上，可有效解决装夹吸附对超薄板类光学零件带来的受力变形，以及减少吸附孔复制到零件表面等现象，且安装及加工方便，实现超薄板类零件的高精度高效率的加工。
用于薄板光学零件单点金刚石车削加工夹具方法

[发明专利]一种光刻机用快门叶片装置-CN201710543036.8在审
发明人：王彦飞;刘国淦;章富平;贾翔 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提出一种用于光刻机曝光系统的快门叶片装置，包括两个快门叶片、两个隔热板，每个快门叶片上连接着一个隔热板。本发明采用快门叶片与隔热板连接使用的方式，阻碍叶片对快门系统的热传导，解决了由快门热传导导致的快门系统工作不稳定甚至烧毁的问题。
快门叶片隔热板快门系统热传导光刻机曝光系统连接使用光刻机快门叶片烧毁阻碍

[实用新型]一种弹性自适应非球面预抛光磨头-CN201721054027.4有效
发明人：马占龙;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2017-08-22 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： B24B13/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种弹性自适应非球面预抛光磨头，包括磨头主轴、弹性层、抛光模和磨头帽，所述磨头主轴通过上端的主轴孔同机床主轴连接，并通过螺纹孔采用螺钉紧固；所述磨头主轴底端为圆弧结构，侧面为外螺纹结构；所述弹性层和抛光模通过胶粘结在一起；所述磨头帽通过内螺纹同磨头主轴配合，所述磨头帽通过环形内沿压紧抛光模的外圈。该磨头在抛光非球面时可以通过弹性层的变形完美匹配非球面表面，并且由于磨头主轴的圆弧支撑结构刚性好，保证了预抛光的加工效率。
磨头磨头主轴弹性层非球面抛光模预抛光自适应本实用新型非球面表面外螺纹结构机床主轴加工效率结构刚性螺钉紧固圆弧结构圆弧支撑胶粘结螺纹孔内螺纹主轴孔抛光上端底端压紧匹配变形侧面配合保证

[发明专利]一种激光退火装置和方法-CN201310098555.X有效
发明人： 刘国淦;兰艳平 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光退火装置和方法，其中，所述装置包括激光源、光路部分、光路监测部分和运动部分；所述激光源为两个P极线偏振激光器；两个P极线偏振激光器发出的激光光束经光路部分后，再经一光束分离部分处理，之后分别以近布儒斯特角入射在运动部分的硅片表面。与现有技术相比，本发明采用两个P级线偏振激光器，先将激光器之一转化为S级偏振光，合成后经过光路处理部分，再将两束光进行分离，并将S级光束还原成P级光，最终都以布儒斯特角进行入射。这样既能保证两束激光均按照布儒斯特角入射，光路处理部分也不会太复杂，而激光能量的利用效率会大大提高。
一种激光退火装置方法

[发明专利]光刻曝光系统-CN201310671767.2有效
发明人： 刘国淦 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-10 - 公布日： 2017-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻曝光系统，沿光传播方向依次包括相干光源、分光光学元件、扩束系统、微透镜阵列、可变聚焦透镜以及载有曝光片的工作台；其中，相干光源产生入射光，经分光光学元件分成若干束相干光束，相干光束经扩束系统扩束后入射到微透镜阵列，再次被分解成多束子光源，多束子光源进入可变聚焦透镜后聚焦到曝光片上，并在曝光片上发生干涉。本发明的光刻曝光系统结构简单，无掩模，能够实现灵活调整图形结构；并且，由于采用无掩模的方式，系统中的所有能量基本都能被利用，所以光源的利用率更高，另外可变聚焦透镜的设计比投影物镜的设计更简单，可以实现整个曝光片的一次性曝光。
光刻曝光系统

[发明专利]降低光刻投影物镜环境热效应影响的方法-CN201410729220.8在审
发明人：郭银章;刘国淦;朱立荣 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-12-04 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种降低光刻投影物镜环境热效应影响的方法，包括：步骤一、根据环境温度变化，计算该投影物镜的热折变焦面漂移与热变形焦面漂移以及总焦面漂移灵敏度三者值的大小和符号关系；步骤二、计算该投影物镜的单个镜片在环境温度变化下的热折变焦面灵敏度；步骤三、选择该单个镜片中热折变焦面灵敏度高且与该总焦面漂移灵敏度相反的镜片；步骤四、将该步骤三中的镜片替换为折射率温度系数相反的镜片。
降低光刻投影物镜环境热效应影响方法

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