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[发明专利]一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法-CN202310885265.3在审
发明人：沈亚峰;蒋泉权;徐松;孙士权 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B23Q3/12 文献下载
摘要：本发明涉及光学零件的加工领域。一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，包括如下步骤:步骤一，将旋转主轴与转接法兰通过螺钉相连；步骤二，将固定法兰与转接法兰用螺钉拧紧；固定法兰上开设有用于对接吸附圆孔的沉槽，且固定法兰上开设有用于螺钉穿过的安装孔；步骤三：检测零件自由状态下的面型值；步骤四：使用扭力扳手带动螺钉将零件固定在固定法兰上，检测零件固定后的面型值；步骤五：将带有零件的固定法兰与转接法兰通过螺钉保护连接，对零件进行加工；步骤六：加工完成后带固定法兰检测零件面型，面型优于设定指标取下零件，检测零件自由状态下的面型值。
一种可直测面型柔性光学零件加工方法

[发明专利]用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器-CN202310886560.0在审
发明人：孟梦;蒋泉权;刘国淦;钱俊 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器，所述高精度小口径大曲率半径凸非球面为待测非球面；其特征在于，所述补偿器整体为旋转对称结构，补偿器内沿同一光轴依次排列三个单透镜组成透镜组，所述三个单透镜均为抛光球面，且沿光线入射方向依次为第一镜片、第二镜片和第三镜片；所述待测非球面沿光线入射方向设置于第三镜片后方；所述补偿器将干涉仪发出的平面波转换为与待测非球面相匹配的非球面波，从而实现对待测非球面的零位检测。本发明结构简单，易于加工，方便使用。
用于高精度小口径曲率半径球面检测补偿

[发明专利]一种光学镜片的清洗收干方法-CN202310716582.2在审
发明人：丁佳琪;莫海亮;王创业 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学镜片加工技术领域。一种光学镜片的清洗收干方法，包括如下步骤：步骤一，将光学镜片固定在旋转机构的基座上；基座包括底盘以及定位块，底盘安装在旋转盘上，底盘上开设有四个周向排布的安装槽，安装槽用于引导定位块径向滑动，定位块与底盘相连；定位块的顶部内侧设有用于支撑光学镜片的台阶；步骤二，选取擦拭件，并在擦拭件上包覆无纺布；擦拭件包括用于包覆无纺布的橡胶块，橡胶块与一支撑杆相连，支撑杆上可拆卸连接有配重块；擦拭件上开设有从上至下导流的漏液孔；步骤三，将擦拭件安装在光学镜片的上方，无纺布抵住光学镜片的上表面；步骤四，向漏液孔内滴加酒精，旋转盘开启转动。
一种光学镜片清洗方法

[发明专利]一种大型方形反射镜片的镀膜工装-CN202010068394.X有效
发明人：徐松;汪明天;张辉;尤磊;陆奕玮;莫海亮 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2020-01-21 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种大型反射镜面的侧边镀膜工装，包括固定在镀膜伞架梁上的锁定块，所述锁定块底部通过吊杆悬吊平置的底板，所述底板中央设长条状的镀膜蒸汽通孔，所述底板上的所述镀膜蒸汽通孔两侧分别固定竖立的挡板；所述挡板的侧边缘还凸设用于避免待镀膜工件脱出相对空间的挡边。本发明的有益效果是实现大型方形光学反射镜片工件侧边镀膜的定位，通用性大且不会对工件本身造成损害。
一种大型方形反射镜片镀膜工装

[发明专利]非球面光学零件的气缸应力抛光盘装置及抛光方法-CN202310773255.0在审
发明人：叶青;郑美玲 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-06-28 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种非球面光学零件的气缸应力抛光盘装置及抛光方法，抛光方法包括小磨头数控抛光，达到≈500nm的加工精度→磁流变面型精抛，提高到≈100nm的面型精度→面型误差测量分析→第一判断模块→气缸应力盘抛光→第二判断模块→完成加工。本发明的工艺合理，先通过小磨头数控抛光，快速去除非球面表面的损伤层；再通过数轮的磁流变面型精抛，提高面型精度；最后通过磁流变面型精抛与气缸应力抛光组成迭代加工，通过多轮迭代，最终实现高精度超光滑大偏离度非球面的抛光，解决了由于应力盘与非球面接触时存在一定的斜率，导致应力盘加工非球面往往无法较好的避免光洁度和表面粗糙度的技术缺陷。
球面光学零件气缸应力抛光装置方法

[实用新型]一种方形凹槽抛光装置-CN202223168627.7有效
发明人：刘国淦 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B24B19/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学零件加工领域。一种方形凹槽抛光装置，包括研磨机构，研磨机构包括电机以及抛光盘组件，其特征在于，电机通过万向联轴器与抛光盘组件联动；抛光盘组件包括从上至下顺序连接的旋转轴、勒洛三角形导向块、弹性连接结构以及三爪抛光盘；三爪抛光盘的外边缘的截面为三角形或者与勒洛三角形导向块的角部截面相匹配；还包括支撑架，支撑架上安装有电机支撑横梁，电机支撑框架用于安装电机；支撑架上还安装有限位架；限位架上开设有限位槽，限位槽包括用于旋转轴活动的圆孔以及用于勒洛三角形导向块活动的方孔，圆孔与方孔上下对接导通。本实用新型解决传统抛光方法无法对凹槽底部均匀抛光的问题。
一种方形凹槽抛光装置

[发明专利]反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法-CN202211639123.0在审
发明人：蒋泉权;莫海亮 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及反射镜加工领域。反射镜表面结合不同合金改善表面粗糙度的方法，包括如下步骤：步骤一，粗加工；步骤二，清洁反光镜的表面并保存；步骤三，清洁真空镀膜机；步骤四，将纯度大于99.99％镍和纯度大于99.99％磷分别放入两个不同的坩埚；步骤五，把反射镜悬挂在真空镀膜机内，坩埚摆放在电子束蒸发器上；抽真空并用电子束蒸发器对坩埚进行加热，摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为400毫安，摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的电流为200毫安；且摆放有镍的坩埚下方的电子束蒸发器与摆放有磷的坩埚下方的电子束蒸发器的工作时长比为9：1；步骤六，磁流变抛光。最终粗糙度Ra小于等于2nm。
反射表面结合不同合金改善粗糙方法

[发明专利]一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置-CN202310025230.2在审
发明人：莫海亮 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及滤光片中间层的角度调节装置，镀膜方法包括以下操作步骤：S1.修正平面的均匀性；S2.建立数据库；S3.通过角度与斜率数据库匹配产品倾斜角度；S4.完成间隔层制备。本发明方法利用了蒸发镀膜机的均匀性原理，通过改变基片倾斜角度，达到改变基片法线与单点、蒸发源连线夹角变化的目的，使得基片上各点的夹角以及距离呈现线性变化，最终在基片倾斜方向现实膜厚的线性变化。
一种实现线性渐变滤光镀膜方法角度调节装置

[发明专利]一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪-CN202211639208.9在审
发明人：钱俊 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明涉及光学技术领域。一种适应检测面反射率实现高干涉对比度的菲索干涉仪，包括沿着第一光路方向依次排布的激光器光源、1/2波片、汇聚镜组、照明光阑、偏振分束器、准直镜组、法拉第旋光器、偏振参考镜组；还包括沿第二光路方向依次排布的成像光阑、成像镜组、ccd相机；1/2波片安装在用于调节快轴角度的旋转机构上；第一光路方向与偏振分束器的透射光轴方向相同，第二光路方向与偏振分束器的反射光轴方向相同。本发明干涉信号的最大光强由激光器光源的输出功率和1/2波片共同调节；干涉信号的对比度由法拉第旋光器调节。
一种适应检测反射率实现干涉对比度干涉仪

[发明专利]一种微纳光栅结构的抛光装置及抛光方法-CN202310025247.8在审
发明人：叶青;郑美玲 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种微纳光栅结构的抛光装置及抛光方法，工作方法包括以下操作步骤：S1.微纳结构设计；S2.被抛光件标记定位；S3.装夹与位置调整；S4.微纳结构代码输入；S5.抛光。本发明利用磁性柔性流变体与各种微纳光学被抛光件表面高度贴合，实现被抛光件表面微纳结构抛光；同时借助磁流变抛光的去除效率与驻留时间的控制得到更深层的微纳结构；借助磁流变抛光的特殊优势，抛光过程中不会对被抛光件表面产生任何划痕缺陷；完全抛弃传统机械刻划方式，提供一种高效率和高精度的抛光装置工作方法，实现了对任意形貌被抛光件、任意材质被抛光件、任意被抛光件区域进行微纳光学结构抛光。
一种光栅结构抛光装置方法

[发明专利]一种3D打印光学反射镜-CN202110684749.2有效
发明人：赵仁洁;徐松;刘国淦 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及一种3D打印光学反射镜，反射镜本体正面为反射区域，反射镜本体背面绕反射镜轴心设固定接环并环形阵列设置主加强筋；所述主加强筋的头端固定至所述固定接环，所述主加强筋沿反射镜本体的径向延伸并将尾端固定至反射镜本体背面；反射镜本体背面铺设填充网状筋。本发明的有益效果是使得反射镜在保证刚度和强度的前提下轻量化显著，最大化3D打印制造的优势。
一种打印光学反射

[发明专利]一种方形凹槽抛光方法-CN202211506373.7在审
发明人：刘国淦 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学零件加工领域。一种方形凹槽抛光方法，包括如下步骤，步骤一，将工件固定在二维平移机构上；步骤二，移动二维平移机构，将弹性抛光盘组件置入工件的方形凹槽内，将方形凹槽与弹性抛光盘组件进行位置对准；弹性抛光盘组件包括从上至下顺序连接的勒洛三角形导向块、弹性连接结构以及三爪抛光盘；弹性抛光盘组件通过万向联轴器与电机联动；步骤三，调节勒洛三角形导向块的上下高度，调节抛光压力；勒洛三角形导向块活动安装在一限位架上，限位架可上下位置调节，限位架上开设有用于勒洛三角形导向块活动的方形导向槽；步骤四，电机启动带动弹性抛光盘组件旋转，三爪抛光盘的端部的运动轨迹为方形。本发明实现了方形凹槽的研磨。
一种方形凹槽抛光方法

[发明专利]脆性材料加工装配用的四自由度微调机构及其微调方法-CN202210214099.X在审
发明人：尤磊;张辉;蒋泉权;徐松 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B23P19/12 文献下载
摘要：本发明公开了脆性材料加工装配用的四自由度微调机构及其微调方法，包括与脆性材料表面接触的调整固定套，调整固定套中心带有通孔，四周带有细牙螺纹孔，周围配套使用细牙机密螺栓及细牙螺栓柱塞，还包括与脆性材料销孔直接接触的尼龙垫圈、螺母、尼龙套筒，还包括带有标准轴的螺纹定位套装配体以及金属销钉孔。当加工脆性材质要求精度较高，定位脆性材料销孔尺寸很难到达要求时，可将脆性材料销孔尺寸略微做大，并通过本微调机构将其微调基准，提高零件装配精度，同时避免了安装和拆卸时元件硬接触导致工件碎裂损坏等风险。
脆性材料加工装配自由度微调机构及其方法

[发明专利]一种可调节不同曲率的镜面模拟工装-CN202110993922.7在审
发明人：王创业;莫海亮;李文慧 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种可调节不同曲率的镜面模拟工装，包括大圆环座，所述大圆环座下方固定有横梁，所述横梁在大圆环座表面的投影位于大圆环座的直径线上，所述横梁上竖有伸缩杆，所述伸缩杆末端固定有球铰支座，所述球铰支座顶部固定有用于模拟镜面局部角度的镜片顶靠块。本发明的有益效果是能完美地模拟产品镀膜镜面区域放置位置，方便分析、了解产品区域的数据，能改善镀膜角度、并减少镀膜机为应对不同曲率膜层设计而导致的工装限制。
一种调节不同曲率模拟工装

[发明专利]一种用于高次非球面检测的补偿器-CN202111020463.0在审
发明人：孟梦;蒋泉权;刘国淦 -专利权人： 上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G02B3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于高次非球面检测的补偿器，所述补偿器的主体为单个的透镜，所述透镜的侧面为圆柱面，所述透镜一侧的入光面为内凹的抛光高次非球面，该入光面采用标准非球面方程表述的c值略小于待测非球面表述的c值且入光面的非球面度小于待测非球面；所述抛光高次非球面的光轴呈旋转对称结构，所述透镜另一侧的出光面为与侧面垂直的抛光平面。本发明的有益效果是易于加工，与传统球面透镜组形式的补偿器相比，减少了补偿器所需透镜的数量，节约了成本，避免了透镜组复杂的机械装配过程，能够缩短加工工期。
一种用于高次非球面检测补偿

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