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- [实用新型]微沟槽IGBT-CN202121414363.1有效
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俞义长;赵善麒
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江苏宏微科技股份有限公司
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2021-06-24
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2022-02-01
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H01L29/739
- 本实用新型提供一种微沟槽IGBT,所述微沟槽IGBT包括:半导体衬底和IGBT元胞,IGBT元胞包括:多个真栅极单元,相邻真栅极单元之间设有数量不等的假沟槽单元和/或假栅极单元,且假沟槽单元和/或假栅极单元对称设置;相连沟槽之间中间通过注入推结形成PW导电层覆盖到沟槽底部,且在真栅极单元两侧通过注入推结在PW导电层下部形成JFET层。本实用新型将PW导电层覆盖到沟槽底部同时在真栅极单元之两侧引入JFET,使得PW局部维持原来的深度且不改变沟道长度,可以在优化IGBT静态特性的同时通过虚拟栅极降低米勒电容,增大输入电容和米勒电容的比例,进一步增强IGBT开通关断过程可控性。
- 沟槽igbt
- [实用新型]功率半导体器件-CN202121420943.1有效
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陈超;张海泉;麻长胜;王晓宝;赵善麒
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江苏宏微科技股份有限公司
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2021-06-24
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2022-02-01
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H01L23/498
- 本实用新型提供了一种功率半导体器件,包括:上桥臂单元包括第一功率金属箔片、第二功率金属箔片和第三功率金属箔片,其中,第三功率金属箔片上设置有对称分布的第一突出结构和第二突出结构,其上规律并且对称地排布有数量相同的第一功率半导体芯片,第一功率金属箔片与第三功率金属箔片相连,并且第二功率金属箔片与第三功率金属箔片相连;下桥臂单元包括第四功率金属箔片,在远离第三功率金属箔片的方向延伸设置有第三突出结构和第四突出结构,并且在靠近第一功率半导体芯片的位置设置有源极连接区域,其中,第三突出结构和第四突出结构上规律并且对称地排布有数量相同的第二功率半导体芯片。由此,能够有效地降低功率半导体器件内部的杂散电感。
- 功率半导体器件
- [发明专利]微沟槽IGBT及其制作方法-CN202110704865.6在审
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俞义长;赵善麒
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江苏宏微科技股份有限公司
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2021-06-24
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2021-09-17
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H01L29/739
- 本发明提供一种微沟槽IGBT及其制作方法,所述微沟槽IGBT包括:半导体衬底和IGBT元胞,IGBT元胞包括:多个真栅极单元,相邻真栅极单元之间设有数量不等的假沟槽单元和/或假栅极单元,且假沟槽单元和/或假栅极单元对称设置;相连沟槽之间中间通过注入推结形成PW导电层覆盖到沟槽底部,且在真栅极单元两侧通过注入推结在PW导电层下部形成JFET层。本发明将PW导电层覆盖到沟槽底部同时在真栅极单元之两侧引入JFET,使得PW局部维持原来的深度且不改变沟道长度,可以在优化IGBT静态特性的同时通过虚拟栅极降低米勒电容,增大输入电容和米勒电容的比例,进一步增强IGBT开通关断过程可控性。
- 沟槽igbt及其制作方法
- [发明专利]功率半导体器件-CN202110704897.6在审
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陈超;张海泉;麻长胜;王晓宝;赵善麒
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江苏宏微科技股份有限公司
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2021-06-24
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2021-09-17
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H01L23/498
- 本发明提供了一种功率半导体器件,包括:上桥臂单元包括第一功率金属箔片、第二功率金属箔片和第三功率金属箔片,其中,第三功率金属箔片上设置有对称分布的第一突出结构和第二突出结构,其上规律并且对称地排布有数量相同的第一功率半导体芯片,第一功率金属箔片与第三功率金属箔片相连,并且第二功率金属箔片与第三功率金属箔片相连;下桥臂单元包括第四功率金属箔片,在远离第三功率金属箔片的方向延伸设置有第三突出结构和第四突出结构,并且在靠近第一功率半导体芯片的位置设置有源极连接区域,其中,第三突出结构和第四突出结构上规律并且对称地排布有数量相同的第二功率半导体芯片。由此,能够有效地降低功率半导体器件内部的杂散电感。
- 功率半导体器件
- [实用新型]高电流密度的功率半导体器件-CN202023080890.1有效
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井亚会;赵善麒
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江苏宏微科技股份有限公司
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2020-12-18
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2021-08-24
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H01L29/06
- 本实用新型提供了一种高电流密度的功率半导体器件,包括:衬底;缓冲区,缓冲区设置于衬底上;基区,基区设置于缓冲区上;沟槽区,沟槽区设置于基区上,沟槽区设有两个真沟槽单元,并且在两个真沟槽单元之间设有Dummy区,Dummy区中设有一个或多个假沟槽单元,其中,真沟槽单元结构形状相同,假沟槽单元结构形状相同,并且假沟槽单元的宽度大于真沟槽单元的宽度。本实用新型能够保证假沟槽单元具有较大的宽度尺寸,从而能够降低整体沟槽密度,以有效减小晶圆应力,从而消除晶圆翘曲,并且还能够降低假沟槽单元的深宽比,从而能够增加假沟槽单元底部拐角的曲率半径,以降低假沟槽单元底部电场集中,提高器件可靠性,此外,还能降低通态损耗。
- 电流密度功率半导体器件
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