专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]热电堆及其制作方法-CN202010389904.3有效
  • 周娜;李俊杰;毛海央;高建峰;杨涛;李俊峰;王文武 - 中国科学院微电子研究所
  • 2020-05-09 - 2023-04-18 - H10N10/01
  • 一种热电堆及其制作方法,所述制作方法包括如下步骤:在衬底正面形成热电堆结构;在衬底背面形成掩膜层;采用干法刻蚀,在掩膜层上形成定位刻蚀窗口;采用博世刻蚀,对定位刻蚀窗口区域的衬底进行第一步刻蚀释放;采用反应离子刻蚀,进行衬底的第二步刻蚀释放,得到完全释放的背腔和保持完整的热电堆结构,完成热电堆的制备。本发明采用常规衬底,通过干法刻蚀释放工艺,分步对衬底进行刻蚀释放,在保持热电堆结构完整性的同时,制作出热电堆器件。
  • 热电及其制作方法
  • [发明专利]浅沟槽隔离结构的制备方法及浅沟槽隔离结构-CN202211332074.6在审
  • 杨涛;张月;贺晓彬;高建峰;李俊杰;韦亚一;戴博伟;李俊峰;王文武 - 中国科学院微电子研究所
  • 2022-10-28 - 2023-04-04 - H01L21/762
  • 本发明提供一种浅沟槽隔离结构的制备方法及浅沟槽隔离结构,其中化学机械平坦化的方法包括:形成衬底,衬底内具有浅沟槽,且衬底表面具有研磨停止层,浅沟槽贯穿研磨停止层;沉积绝缘材料并进行退火工艺,以形成绝缘介质层,绝缘介质层的表面形成有凹槽,绝缘介质层的上表面不低于研磨停止层的上表面,凹槽的底端在衬底的上方,凹槽与浅沟槽一一对应,每个凹槽位于相应的浅沟槽的正上方;沉积第一分隔材料,以形成第一分隔层,在同等研磨条件下第一分隔层的去除速率低于绝缘介质层的去除速率;在同等研磨条件下进行化学机械平坦化处理,以在浅沟槽内形成浅沟槽隔离结构。本发明能够使浅沟槽隔离结构的表面更加平整。
  • 沟槽隔离结构制备方法
  • [发明专利]浅沟槽隔离结构的制备方法及浅沟槽隔离结构-CN202211332075.0在审
  • 杨涛;张月;贺晓彬;高建峰;李俊杰;韦亚一;戴博伟;李俊峰;王文武 - 中国科学院微电子研究所
  • 2022-10-28 - 2023-04-04 - H01L21/762
  • 本发明提供一种浅沟槽隔离结构的制备方法及浅沟槽隔离结构,其中化学机械平坦化的方法包括:提供一基底结构,基底结构包括衬底和研磨停止层,基底结构内具有多条不同宽度的隔离槽,隔离槽贯穿研磨停止层并贯穿衬底的上表面;沉积绝缘材料并进行退火工艺,以形成绝缘介质层,绝缘介质层的表面形成有不同深度的凹槽,每个凹槽位于相应的隔离槽的正上方;沉积第一分隔材料,以形成第一分隔层,在同等研磨条件下第一分隔层的去除速率低于绝缘介质层的去除速率;在同等研磨条件下进行化学机械平坦化处理,直至去除第一分隔层;对剩余的绝缘介质层进行湿法腐蚀,以在隔离槽内形成浅沟槽隔离结构。本发明使得制备出浅沟槽隔离结构的厚度一致。
  • 沟槽隔离结构制备方法
  • [发明专利]集成电路设备和半导体器件的制备方法-CN202211533952.0在审
  • 李俊杰;刘恩序;周娜;高建峰;李俊峰;李永亮;罗军;王文武 - 中国科学院微电子研究所
  • 2022-11-30 - 2023-03-31 - H01L21/67
  • 本发明提供一种集成电路设备和半导体器件的制备方法,集成电路设备包括:机体、第一真空泵、第一机械手、第一隔离门和多个加工机构;机体包括机壳、装卸腔室、传输腔室和多个真空腔室,多个真空腔室内均设置有加工机构,加工机构与机壳连接,装卸腔室和真空腔室分别与传输腔室连通,装卸腔室与机壳的外表面连通,第一真空泵与机壳连接,第一隔离门位于装卸腔室内并与机壳活动连接;第一机械手位于传输腔室内,用于将待处理半导体器件在装卸腔室、传输腔室和多个真空腔室间移动;第一真空泵用于在第一隔离门阻断传输腔室通过装卸腔室与外界连通时,使真空腔室和传输腔室处于真空状态。本发明能够提高半导体器件的可靠性。
  • 集成电路设备半导体器件制备方法

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