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[发明专利]谐振模式的操纵方法及操纵系统、电子设备和存储介质-CN202110443474.3有效
发明人：孙富君;杨妍;张鹏;李志华;王文武;谢玲 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G02B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振模式的操纵方法及操纵系统、电子设备和存储介质，涉及光子晶体技术领域，用于在确保一维光子晶体纳米束腔具有目标谐振模式的情况下，使得谐振模式的操纵更加灵活，降低一维光子晶体纳米束腔应用于多参量传感检测等操作中的难度。所述方法包括：根据一维光子晶体纳米束腔的当前谐振模式和目标谐振模式，确定模式偏移信息。根据当前谐振模式、模式偏移信息和一维光子晶体纳米束腔的当前结构信息，确定一维光子晶体纳米束腔的光场局域区域的目标结构信息。目标结构信息至少包括周期性孔的结构信息。根据光场局域区域的目标结构信息，对光场局域区域进行调整，以将一维光子晶体纳米束腔的当前谐振模式调整至目标谐振模式。
谐振模式操纵方法系统电子设备存储介质

[发明专利]一种鳍状结构及半导体器件的制备方法-CN201911032062.X有效
发明人：李永亮;程晓红;张青竹;殷华湘;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-10-28 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明公开了一种鳍状结构的制备方法，包括以下步骤：提供衬底，并在衬底上形成若干鳍；在若干鳍之间沉积浅槽隔离；并对浅槽隔离依次进行第一平坦化处理和第一腐蚀处理；对若干鳍进行第二腐蚀处理；在已形成的结构上填充材料层，并对材料层进行回刻处理；高选择比去除浅槽隔离顶部的残余物，并去除第二腐蚀处理区域内的材料层；在第二腐蚀处理区域内外延生长高迁移率材料，形成导入结构；并对导入结构进行第二平坦化处理；对浅槽隔离进行第三腐蚀处理，形成鳍状结构。本发明提供的鳍状结构的制备方法，不会在外延生长高迁移率材料时，形成相应的“颗粒缺陷”，也不会对外延生长的效率和质量产生影响。本发明还提供一种半导体器件的制备方法。
一种结构半导体器件制备方法

[发明专利]一种表面电极离子阱与硅光器件的集成结构及三维架构-CN201911120744.6有效
发明人：杨妍;李志华;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L31/0203 文献下载
摘要：本发明提供表面电极离子阱与硅光器件的集成结构，包括晶圆、硅光栅和硅结构，刻蚀外延硅结构上方的第一介质层以形成外延窗口，通过外延窗口自硅结构外延硅或锗，离子注入及退火后形成硅基光电探测器；自第二介质层向下形成面入射型硅基光电探测器的第一接触孔；自第三介质层向下形成硅通孔；于第四介质层形成若干电极，电极包括与硅基光电探测器连通的第一电极，以及表面电极离子阱的第二电极；自第一电极的底部分别向下形成与第一接触孔和硅通孔连通的第二接触孔和第三接触孔；自第二电极的底部向下形成与硅通孔连通的第三接触孔；硅通孔底部具有与其连通的第一微凸块。本发明还提供一种三维架构。
一种表面电极离子器件集成结构三维架构

[实用新型]一种可进行耐压试验的GIS避雷器安装装置-CN202221529088.2有效
发明人：刘洪佳;李磊;石志泉;周红刚;王文武;张诚才;宿鹏 -专利权人：山东泰开互感器有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H02G13/00 文献下载
摘要：本实用新型为一种可进行耐压试验的GIS避雷器安装装置，属于GIS设备领域。其技术方案为，一种可进行耐压试验的GIS避雷器安装装置，包括壳体，壳体的顶部安装有盆式绝缘子，盆式绝缘子中贯通设置有三个上静触头，壳体内部设有三个下静触头，下静触头与上静触头一一正对且位于对应的上静触头下方一定距离处，下静触头和上静触头之间设有动触头，动触头连接有移动装置。本实用新型的有益效果为，将避雷器安装装置内部线路设置为开合触点的形式，通过移动装置移动动触头，将内部电路断开，对避雷器整体连同盆式绝缘子一起进行耐压试验，一方面避免了试验盲点，另一方面避免了避雷器的反复拆装，提高了安装效率。
一种进行耐压试验 gis 避雷器安装装置

[发明专利]一种层状钠离子正极材料及制备方法-CN202210625663.7在审
发明人：王元杰;薄晋科;曹仕良;田秀君;王文武 -专利权人：大连中比动力电池有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C01G49/00 文献下载
摘要：本发明涉及离子电池，具体涉及一种层状钠离子正极材料及制备方法。钠离子正极材料的制备方法包括在制备过程中加入三乙醇胺；所述钠离子正极材料的原料包括Na2CO3、Fe2O3、CuO、MnO2。本发明使用三乙醇胺，所制备的材料具有多孔结构，可缩短钠离子在NaCuxFeyMnzO2/碳复合材料中的迁移距离；制备的NaCuxFeyMnzO2/碳复合材料具有较高的克容量与倍率性能，0.2C放电容量＞115mAh/g；10C放电容量大于106mAh/g。
一种层状钠离子正极材料制备方法

[发明专利]一种钠离子电池用电解液-CN202210626311.3在审
发明人：王元杰;薄晋科;曹仕良;田秀君;王文武 -专利权人：大连中比动力电池有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01M10/0567 文献下载
摘要：本发明涉及离子电池，具体涉及一种钠离子电池用电解液。钠离子电池电解液包括添加剂；所述添加剂选自乙二胺四乙酸二钠、柠檬酸钠、亚氨基二乙酸钠中一种或几种的组合。本发明钠离子电池电解液，通过其中的添加剂可以有效络合正极析出的铜离子，阻止铜离子在负极得电子形成铜沉积导致的微短路发生。
一种钠离子电池用电

[发明专利]一种晶圆加工方法-CN202110157406.0在审
发明人：郭炳容;贺晓彬;丁明正;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆加工方法，该方法包括：提供晶圆，在所述晶圆表面的边缘区域形成第一光刻胶；在所述晶圆表面涂覆第二光刻胶，所述第二光刻胶覆盖所述第一光刻胶，所述第一光刻胶与所述第二光刻胶的性质不同；利用掩膜对所述第二光刻胶进行曝光显影，以在所述晶圆表面以及所述第一光刻胶上形成图形化的第二光刻胶；基于所述图形化的第二光刻胶以及第一光刻胶，对所述晶圆进行刻蚀，以在所述晶圆上形成与所述第一光刻胶以及所述图形化的第二光刻胶对应的图案。上述方案，有效避免了晶圆边缘图形造成缺陷，扩大了晶圆表面图形的形成范围，增加了晶圆内制备器件的有效面积，提升了半导体器件的产能。
一种加工方法

[发明专利]一种节流阀、处理腔室及半导体处理设备-CN202110158760.5在审
发明人：朱宁炳;朴兴雨;李河圣;刘金彪;杨涛;李俊峰;王文武;王垚 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： F16K1/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种节流阀、处理腔室及半导体处理设备，涉及半导体技术领域，用于防止流道内传输的气体与处理腔室内的气体反应而产生的反应物质凝聚在流量调节组件表面以及流道内壁上，提高节流阀的使用寿命。所述节流阀应用于具有处理腔室的半导体处理设备中。所述节流阀包括：阀体、流量调节组件和加热组件。阀体内开设有用向处理腔室传输气体的流道。流量调节组件可转动地设置在阀体内，用于调节气体在流道内的流量。加热组件包括设置在流量调节组件内的加热部，加热部用于对流量调节组件进行加热。
一种节流阀处理半导体设备

[发明专利]一种半导体器件及其制造方法-CN202210273113.3在审
发明人：李永亮;赵飞;陈安澜;张佳熠;殷华湘;罗军;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L27/088 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体器件及其制造方法，涉及半导体技术领域，用于避免沟道释放后具有较大栅极长度的环栅晶体管的沟道存在弯曲或粘连问题，降低在同一衬底上实现集成电路中具有较大栅极长度的晶体管与其余的环栅晶体管的制造难度。所述半导体器件包括：衬底、鳍式场效应晶体管和环栅晶体管。衬底具有第一区域和第二区域。沿着衬底的厚度方向，鳍式场效应晶体管包括的第一沟道具有至少一层叠层。每层叠层包括第一材料层、以及位于第一材料层上的第二材料层。第一材料层和第二材料层所含有的材料不同。环栅晶体管包括的第二沟道具有第二材料层。环栅晶体管的栅极长度小于鳍式场效应晶体管的栅极长度。所述制造方法用于制造上述半导体器件。
一种半导体器件及其制造方法

[发明专利]一种电容器及其制备方法-CN202110111288.X在审
发明人：姜喆求;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L49/02 文献下载
摘要：本发明提供一种电容器及其制备方法，其中电容器包括：基底，所述基底上形成有着陆焊盘，所述着陆焊盘的材料包括：钨，所述着陆焊盘的顶部开设有连接槽，所述连接槽经由碱性刻蚀液去除所述着陆焊盘顶端的氧化物而形成；下电极，所述下电极的底部通过所述连接槽与所述着陆焊盘接触。本发明能够降低着陆焊盘的电阻值。
一种电容器及其制备方法

[发明专利]芯片注塑装置及方法-CN202110113777.9在审
发明人：尹泰甲;杨红;杨涛;李俊杰;王文武;李俊峰 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明提供一种芯片注塑装置及方法，该注塑装置包括：模具罩和喷嘴组件，模具罩用于粘合到待注塑的芯片结构上，该待注塑的芯片结构包括基板及位于基板上的多个芯片，模具罩具有与芯片数量相匹配的多个格状结构，每个格状结构包括顶壁和环绕顶壁的四周侧壁，每个格状结构内部形成一空腔，每个格状结构的顶壁上分别设置有开孔，当模具罩粘合到待注塑的芯片结构上时，每个格状结构的空腔内对应地容纳一个芯片；喷嘴组件包括与模具罩上的开孔相对应设置的多个喷嘴，每个喷嘴用于通过对应的开孔向格状结构的空腔注入注塑用的涂层液。本发明能够解决注塑工艺中出现的引线倾斜、引线暴露的问题。
芯片注塑装置方法

[发明专利]一种上卸卷助卷多功能一体式小车-CN202210438382.0在审
发明人：车延明;谭文彬;王文武;任惠芳;王延晖;陈学仁;陈铭斌;潘延恩 -专利权人：广东含元工业技术有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： B21C47/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种上卸卷助卷多功能一体式小车，包括车体、升降托架、倾翻托架、升降机构一和升降机构二；所述升降托架通过升降机构一设置在车体上，以实现升降托架升降；所述升降托架上设置有可转动的托辊一；倾翻托架设置有可转动的托辊二；托辊一与托辊二并排设置；所述倾翻托架的一端与升降托架铰接，倾翻托架的另一端由升降机构二升降。该小车可实现物料上料到轧制机组卷筒上或从轧制机组卷筒上卸下、辅助物料上料到小车上、将物料倾翻以从小车卸下、辅助带材收卷等功能，实现一机多用，减少了工人工作强度，提升生产操作的安全性，提升了产品质量。
一种上卸卷助卷多功能体式小车

[发明专利]一种半导体结构及其处理方法-CN202110122127.0在审
发明人：金一球;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明公开一种半导体结构及其处理方法，涉及半导体结构制备技术领域，以解决由于半导体图案的深宽比增加，在湿法清洗时，具有大深宽比的图案会发生塌陷或者倾斜的现象。一种半导体结构，包括基底以及形成于所述基底上的图案化结构。一种半导体结构的处理方法包括：提供衬底；使用第一工艺气体对所述基底上的图案化结构进行等离子体处理，使得所述基底上的图案化结构的亲水性降低；对所述进行等离子体处理后的基底上的图案化结构进行湿法清洗。本发明提供的半导体结构的处理方法用于制备半导体结构。
一种半导体结构及其处理方法

[发明专利]一种纳米线围栅器件制造方法-CN201910156942.1有效
发明人：李俊杰;李永亮;周娜;张青竹;王桂磊;李俊峰;殷华湘;朱慧珑;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-01 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本申请提供一种纳米线围栅器件及其制造方法，衬底上可以形成有第一方向延伸的鳍，在鳍上形成沿第二方向延伸且覆盖鳍的中部的伪栅，在伪栅的侧壁上依次形成第一侧墙和第二侧墙，以及在伪栅两侧的鳍上形成覆盖层，去除第一侧墙形成第一开口，去除第一开口中的第二外延层，以形成沿第二方向贯穿第二外延层的间隙，鳍中的第二外延层被切断，形成三部分，在间隙中形成介质材料的阻挡层，阻挡层可以将三部分第二外延层分隔开，去除伪栅以形成第二开口，以阻挡层为刻蚀停止层去除第二开口中的第二外延层，这样，不会对阻挡层另一侧的第二外延层形成损伤，从而形成的栅长为假栅沿第一方向上的长度，准确的控制了栅长，从而提高器件性能。
一种纳米线围栅器件制造方法

[实用新型]一种变压器散热片内壁涂漆装置-CN202220285069.3有效
发明人：王强;王文武;葛志军;刘领旗 -专利权人：河北宏翔电力设备有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变压器散热片内壁涂漆装置，包括固定板、夹持座，以及设于固定板上的储液箱、循环泵，固定板上开设有回收槽、滑槽，滑槽内滑动卡接有滑座，滑座上设有液压缸，液压缸与夹持座固定设置，夹持座上设有夹持气缸、握柄，夹持气缸上设有夹持板，储液箱上连接有主输液管、连接管，主输液管上连接有分液管，分液管上连接有涂油板，涂油板上开设有喷油孔。实现了对夹持的散热座上的散热片组的内壁进行有效全面的涂覆油漆，提高了对变压器散热片内壁涂漆的效率以及质量，通过在固定板上设置回收槽以及循环泵结构，实现了将涂漆过程中滴落的油漆进行过滤回收。
一种变压器散热片内壁涂漆装置