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[发明专利]一种诊断床高度测量方法及系统-CN202111233118.5有效
发明人：蒋浩杰;丁文峰;金帅炯;王林 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： A61B6/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种诊断床高度测量方法及系统，涉及医疗设备技术领域，包括：获取第一铰接部与床板的顶部的距离以及第二铰接部与底座的底部的距离，为第一距离和第二距离；控制诊断床位于目标位置，并由目标位置移动预设距离至第二位置，获取在诊断床由目标位置移动至第二位置时第二铰接部的长度变化；诊断床位于目标位置和第二位置时形成两个直角三角形，其中，斜边长度为铰链长度；根据预设距离、长度变化、铰链长度在两个直角三角形内计算获得第三距离；将第一距离、第二距离和第三距离加和获得位于目标位置的诊断床由床板的顶部至底座的底部的高度，可准确计算诊断床的高度，有效解决现有人工操作准确性较差的问题。
一种诊断高度测量方法系统

[发明专利]一种用于诊断床的缓停控制系统及方法-CN202111000284.0有效
发明人：丁文峰;金帅炯;黄振强;蒋浩杰 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： A61B5/055 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于诊断床的缓停控制系统及方法，涉及医学设备领域，包括：伺服控制器，主控板，第一接触器和第二接触器，离合信号开关；第二接触器设置在伺服控制器与电机连接之间的电路上；在第二接触器与电机之间并联有两个第一电路，每一第一电路包括串联的制动电阻和第一接触器的常开触点；主控板通过并联的第二电路和第三电路与电源正极连接，主控板通过并联的第四电路和第五电路与电源负极连接，主控板监测并控制第二电路、第三电路、第四电路、第五电路以及离合信号开关的信号输入或信号输出，向伺服控制器送出使能信号或失能信号，以带动床板运动或停止，解决诊断床床板在较大速度下瞬间降速导致器件损坏及体验差的问题。
一种用于诊断控制系统方法

[发明专利]一种CT诊断床的控制系统、方法-CN202110915348.3有效
发明人：丁文峰;金帅炯;黄振强;蒋浩杰 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： A61B6/04 文献下载
摘要：本发明涉及CT技术领域，尤其涉及一种CT诊断床的控制系统、方法。包括控制模块、控制键、行程开关；其中，控制模块内设置第一电压阈值、第一时间阈值、第一速度阈值、第一距离阈值；控制模块分别与控制键和行程开关连接，用于接收信号并形成控制信号；控制键启动后行程开关形成电压信号并发送至控制模块中，控制模块计算出电压信号的电压值及电压信号形成的时间值，当电压值大于第一电压阈值且时间值大于第一时间阈值时，控制模块形成控制指令，并根据电压值大小控制CT诊断床以第一速度阈值进行移动，移动至第一距离阈值后减速移动，并在CT诊断床的最大限位距离处停止移动。解决了CT诊断床的定位困难的问题。
一种 ct 诊断控制系统方法

[发明专利]紧急按钮装置及具有其的设备-CN202010702042.5有效
发明人：梁贤石;金成昱;金帅炯;贺晓彬;李亭亭;刘金彪;丁明正;刘强 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01H13/02 文献下载
摘要：本申请属于电气装置技术领域，具体涉及一种紧急按钮装置及具有其的设备，该紧急按钮装置包括壳体，壳体内设置有第一电连接结构，紧急按钮装置还包括升降组件，升降组件的一端伸至壳体内，且升降组件的一端设置有与第一电连接结构对应的第二电连接结构，升降组件处于下降状态时，第二电连接结构与第一电连接结构配合使紧急按钮装置处于正常状态，升降组件处于上升状态时，第二电连接结构与第一电连接结构配合使紧急按钮装置处于紧急状态。根据本申请的紧急按钮装置，升降组件处于下降状态时紧急按钮装置处于正常状态，升降组件处于上升状态时紧急按钮装置处于紧急状态，以此减少由于失误按压紧急按钮装置导致紧急按钮装置进入紧急状态的现象。
紧急按钮装置具有设备

[发明专利]用于曝光设备的调整装置、方法及曝光设备-CN202010270647.1有效
发明人：金成昱;金帅炯;梁贤石;贺晓彬;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种用于曝光设备的调整装置、方法及曝光设备。所述调整装置用于对工件台上放置的基板进行调整，所述基板表面预先被划分为多个测量区域，其包括：在光路上依次设置的光源、投影光栅、可调节反射镜、探测光栅和探测器模块；光源发出的光束经过投影光栅形成具有预设光斑图案的光束后，到达可调节反射镜；所述可调节反射镜将光束调整后照明所述工件台上放置的基板表面对应的测量区域；从所述基板表面反射的光束经所述探测光栅到达所述探测器模块；所述探测器模块根据探测到的光束信息计算调焦调平参数。该调整装置可以准确地对基板偏离量进行校正，可以减少曝光前的调焦调平时间，使得曝光设备的工作效率得到提升。
用于曝光设备调整装置方法

[发明专利]一种CT运动互锁计算方法-CN202010939185.8有效
发明人：刘日平;李敏;金帅炯;陈修儒 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： A61B6/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种CT运动互锁计算方法，互锁公式如下，myTableMinThreshold=0.22*(gTiltAngle*gTiltAngle)‑1.22*gTiltAngle+gTableMin+50，myTableMaxThreshold=‑0.12*(gTiltAngle*gTiltAngle)‑1.22*gTiltAngle+gTableMin+250，其中，myTableMinThreshold为病床高度最低值，myTableMaxThreshold为病床高度最高值，gTiltAngle为病床倾斜角度，gTableMin为测试出来的互锁参数。本发明依靠一个互锁参数即可实现CT扫描设备病床的高度和倾斜角度的互锁计算，且该参数的获取操作简易，不需要借助直尺等工具，按下按键即可完成互锁校准过程，能够避免人为误差的引入而导致的安全事故。
一种 ct 运动互锁计算方法

[发明专利]CT电压异常保护电路系统及其控制方法-CN202110109181.1有效
发明人：丁文峰;金帅炯;黄振强 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G01R19/165 文献下载
摘要：本发明属于CT技术领域，具体涉及CT电压异常保护电路系统及其控制方法。包括运动控制单元、机架旋转伺服单元、诊断床升降伺服单元和诊断床平移伺服单元；所述机架旋转伺服单元、诊断床升降伺服单元和诊断床平移伺服单元均包括伺服驱动器和伺服电机；所述伺服驱动器与伺服电机电连接；所述运动控制单元通过总线分别与各个伺服驱动器电连接。本发明通过伺服的总线系统与IO点配合使用，检查伺服驱动器的输入电压是否异常，具有反应速度快，且保护更加准确，结构简单，节约硬件成本的特点。
ct 电压异常保护电路系统及其控制方法

[发明专利]氢离子捕捉器、防硫酸铵系统、光刻系统及防硫酸铵方法-CN202010761593.9有效
发明人：金成昱;金帅炯;梁贤石;贺晓彬;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种氢离子捕捉器、防硫酸铵系统、光刻系统及防硫酸铵方法，该防硫酸铵系统包括：薄膜，设置于掩模版的掩模底面上，与所述掩模底面围成一密闭空间，所述密闭空间包围所述掩模版的胶片；氢离子捕捉器，通过两条管道分别与所述密闭空间的两侧相连通；该氢离子捕捉器包括：壳体、设置在所述壳体内的电解质容器、水合凝胶层、电极、供电模块和水收集器。本申请的防硫酸铵系统，能够通过氢离子捕捉器去除空气中的氢离子，向薄膜与掩模版所围成的密闭空间内输入过滤掉氢离子的空气，通过空气将胶片在曝光时产生的氨排出，从而防止有害硫酸铵的生成，避免产生硫酸铵附着在胶片上的情况。
氢离子捕捉硫酸铵系统光刻方法

[实用新型]一种电介质强度测试仪的转换装置及电介质强度测试仪-CN202222456277.8有效
发明人：王瑶法;宣斌超;汪斌;劳洪力;金帅炯 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及CT设备的电介质强度测试技术领域，尤其涉及一种电介质强度测试仪的转换装置及电介质强度测试仪。包括主板和控制开关和若干组测试线；控制开关设于主板上，控制开关在主板上旋转控制开和/或关；主板上的控制开关的旋转外周设有与若干组测试线的数目相对应的若干组测试触点，每一组测试线的一端设于一组测试触点上，每一组传输线的另一端分别设于CT设备的不同位置；主板通过至少两根传输线连接电介质强度测试仪；控制开关控制每一测试触点与主板的连接，控制开关旋转至某一测试触点时，测试触点连接主板，测试线的另一端连接CT设备，传输线将电介质信号传输至电介质强度测试仪测试电介质强度。减少了测试CT设备的电介质强度时的工序。
一种电介质强度测试仪转换装置

[发明专利]一种CT机架编码器的编码环孔位堵塞的识别、定位系统-CN202110995548.4有效
发明人：丁文峰;金帅炯;黄振强;蒋浩杰 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2021-08-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01D5/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种种CT机架编码器的编码环孔位堵塞的识别、定位系统，包括控制模块、伺服控制器、显示模块，控制模块生成控制指令，且控制模块内设置脉冲数阈值，伺服控制器控制CT机架旋转，CT机架旋转时编码器生成脉冲信号，控制模块监测编码器生成的脉冲数，并将监测的脉冲数与脉冲数阈值比较，当脉冲数小于脉冲数阈值，控制模块生成堵塞信息，并将堵塞信息发送至显示模块显示，并通过生成脉冲信号的孔位之间的时间值，判断是哪一个孔位堵塞了。解决了如何识别编码器的孔位被堵塞的技术问题及如何对堵塞孔位的定位问题。
一种 ct 机架编码器编码环孔堵塞识别定位系统

[发明专利]一种准直轴的配置固件的控制系统、方法、CT设备及存储介质-CN202211176781.0在审
发明人：郑华;金帅炯;汪斌;江浩川 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： A61B6/03 文献下载
摘要：本发明涉及CT技术领域，尤其涉及一种准直轴的配置固件的控制系统、方法、CT设备及存储介质。包括控制器、若干不同型号的准直轴以及根据拨动位选择准直轴的拨码开关；其中，用于控制准直轴的控制器连接准直轴；拨码开关设于控制器的IO接口上，且拨码开关切换拨动位后通过控制器控制每一准直轴；当拨动拨码开关选择拨动位时，控制器的IO接口将会接收到拨码开关的拨动信号，控制器根据拨动信号选择配置固件控制与拨码开关的拨动位所对应的准直轴。解决了如何使用同一控制器控制不同类型的准直轴，从而使控制不同准直轴时烧录同一固件。
一种准直轴配置控制系统方法 ct 设备存储介质

[发明专利]一种用于处理半导体衬底的装置和方法-CN202010011091.4有效
发明人：梁贤石;金帅炯;金成昱;权炳仁 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2020-01-06 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明关于一种用于处理半导体衬底的装置和方法。在本发明提供的实施例中，提供一种用于处理半导体衬底的装置，前述装置包含衬底载台以及气体源。前述衬底载台用于承载前述衬底于其上，包含衬底载台基座，以及形成于前述基体载台基座上的第一开口。前述第一开口为环形开口。前述气体源与前述第一开口连接，用于通过前述第一开口将第一气体/空气供应至前述衬底的下表面。
一种用于处理半导体衬底装置方法

[实用新型]一种诊断床-CN202220803380.2有效
发明人：蒋浩杰;丁文峰;金帅炯;王林 -专利权人：明峰医疗系统股份有限公司
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： A61B6/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种诊断床，包括床板和床体，所述床板设于所述床体上，所述床板与所述床体通过机械连接件机械连接和/或通过电气元件电子连接；所述床体包括保护顶罩，所述电气元件设于所述保护顶罩内；所述保护顶罩的侧边设有开口，所述机械连接件通过所述开口连接所述床板和所述床体。所述床体通过支撑组件支撑于地面，所述支撑组件的包括伸缩外壳，所述伸缩外壳包括若干个上下依次连接的径向尺寸由上至下依次减小的支撑框，以形成上一级的所述支撑框与下一级的所述支撑框之间的连接处的防水。
一种诊断

[发明专利]在晶圆上形成多个图样层的方法以及其曝光装置-CN202010042053.5有效
发明人：田笵焕;金帅炯;梁时元;李其衡;权炳仁 -专利权人：夏泰鑫半导体（青岛）有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种曝光装置，用于将一光罩上的图样转移到一晶圆。前述曝光装置包含一照明模块、一光罩载台、一投影模块、一晶圆载台以及一控制单元。前述控制单元用于计算前述晶圆之一对位设定值。前述晶圆包含一第一晶圆层以及一第二晶圆层设置于前述第一晶圆层上。前述第一晶圆层包含一第一对位参数；前述第二晶圆层包含一第二对位参数。前述控制单元取得一第一加权因子以及一第二加权因子。前述第一加权因子为依据前述第一晶圆层之属性所预设决定；前述第二加权因子为依据前述第二晶圆层之属性所预设决定。前述光罩之对位设定值由前述第一对位参数、前述第二对位参数、前述第一加权因子以及前述第二加权因子所计算得出。
晶圆上形成图样方法及其曝光装置

[发明专利]光刻机照明系统及光刻机-CN202011547733.9在审
发明人：金成昱;金帅炯;梁贤石;丁明正;贺晓彬;刘强;刘金彪;白国斌 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机照明系统及光刻机，光刻机照明系统包括密封模块、位移装置和激光器，密封模块内设置有入射窗，入射窗可移动地设置在密封模块中；位移装置与入射窗连接以带动入射窗沿设定方向移动；激光器与密封模块连接，激光器发出的激光经入射窗进入密封模块内。当入射窗的部分区域由于激光的长时间照射产生缺陷时，位移装置可以带动入射窗移动，从而使入射窗的其他没有缺陷的区域移动至供激光通过的部位。由此，本发明提出的光刻机可以多次使用同一入射窗，无需频繁更换入射窗，延长了入射窗的使用寿命，且节约资源，解决了现有技术中需要频繁更换入射窗导致的浪费资源以及影响产品生产效率的问题。
光刻照明系统

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