[发明专利]一种非晶薄膜器件以及制作方法

权利要求书

1.一种非晶薄膜器件的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供一基底；

在所述基底上形成第一电极结构；

在所述第一电极结构背离所述基底的一侧形成非晶薄膜层；

在所述非晶薄膜层背离所述第一电极结构的一侧形成第二电极结构；

其中，所述非晶薄膜层为Bi₂FeCrO₆非晶薄膜层；

其中，所述在所述第一电极结构背离所述基底的一侧形成非晶薄膜层包括：

配置硝酸铁前驱液以及硝酸铬前驱液以及硝酸铋前驱液；具体的，配置硝酸铁前驱液具体为：使用九水硝酸铁Fe(NO₃)₃·9H₂O作为原料，去离子水作为溶剂；依据化学计量比将九水硝酸铁Fe(NO₃)₃·9H₂O溶于去离子水中，并且在常温下搅拌2小时以至于充分溶解，进而形成硝酸铁前驱液；配置硝酸铬前驱液具体为：使用九水硝酸铬Cr(NO₃)₃·9H₂O作为原料，去离子水作为溶剂；依据化学计量比将九水硝酸铬Cr(NO₃)₃·9H₂O溶于去离子水中，并且在常温下搅拌2小时以至于充分溶解，进而形成硝酸铬前驱液；配置硝酸铋前驱液具体为：使用五水硝酸铋Bi(NO₃)₃·5H₂O作为原料，冰醋酸作为溶剂；依据化学计量比将五水硝酸铋Bi(NO₃)₃·5H₂O溶于冰醋酸中，50℃加热搅拌5小时以至于充分溶解，随后滴加适量的乙酰丙酮稳定剂，再次搅拌50分钟，为了减少Bi元素在退火过程中的挥发损失，采用过量5％的Bi元素，最终形成硝酸铋前驱液；

将所述硝酸铁前驱液以及所述硝酸铬前驱液以及所述硝酸铋前驱液静置设定时间；具体的，将所述硝酸铁前驱液以及所述硝酸铬前驱液以及所述硝酸铋前驱液分别静置2-3天，若均无沉淀产生时，则所述硝酸铁前驱液以及所述硝酸铬前驱液以及所述硝酸铋前驱液可以使用；若有沉淀产生时，则重新制备溶液；

将所述硝酸铁前驱液滴加至所述硝酸铋前驱液中，匀速搅拌设定时间，形成第一混合液；具体的，所述设定时间为5个小时；

将所述硝酸铬前驱液滴加至所述第一混合液中，匀速搅拌设定时间，形成第二混合液；具体的，所述设定时间为5个小时；

采用乙酰丙酮溶液调节所述第二混合液的浓度，以使所述第二混合液的浓度达到设定要求，形成Bi₂FeCrO₆前驱液；具体的，若所述第二混合液没有沉淀产生时，采用乙酰丙酮溶液调节所述第二混合液的浓度，以使所述第二混合液的浓度达到0.25mol/L；并且采用滤纸进行过滤，用以减少空气中粉尘污染，进而形成Bi₂FeCrO₆前驱液；

采用所述Bi₂FeCrO₆前驱液在所述第一电极结构背离所述基底的一侧形成设定厚度的非晶薄膜层；具体的，将所述Bi₂FeCrO₆前驱液滴加至所述第一电极结构背离所述基底的一侧，在匀胶机上以800r/min的速度旋涂10秒，随后以2800r/min的速度旋转保持20秒，每涂覆一层后将湿膜在加热台上以180℃的温度烘10min，以去除湿膜中的水分，以300℃的温度烤胶10min，以使膜层中的有机物分解，如此重复2至3次，形成设定厚度的非晶薄膜层。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述基底为玻璃基底或硅片基底或单晶钛酸锶基底。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述单晶钛酸锶基底为单晶钛酸锶掺铌基底。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一电极结构为铂电极或LaNiO3电极或SrRuO3电极或LaMnO3电极或SrMnO3电极。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第二电极结构为金电极或铂电极或钨电极或银电极或铝电极。

6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在所述非晶薄膜层背离所述第一电极结构的一侧形成第二电极结构包括：

对所述非晶薄膜层的设定位置进行膜层去除，以暴露出所述第一电极结构；

在所述非晶薄膜层背离所述第一电极结构的一侧形成第二电极结构。