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- [实用新型]一种晶圆自动贴DAF膜装置-CN202120703937.0有效
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韦有乾
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韦有乾
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2021-04-07
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2021-11-12
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B65H41/00
- 一种晶圆自动贴DAF膜装置,包括DAF膜分离装置和DAF膜粘贴装置;所述DAF膜分离装置包括放料卷轴、收料卷轴、主滚筒和分离刀,所述放料卷轴分别与收料卷轴、主滚筒传动连接,且所述放料卷轴与收料卷轴同向转动,所述放料卷轴与主滚筒反向转动,所述放料卷轴和收料卷轴中的一个与动力装置连接;所述DAF膜粘贴装置设于DAF膜分离装置的下方,且所述DAF膜粘贴装置可以从主滚筒下方伸出和收回,所述DAF膜粘贴装置包括吸盘此晶圆自动贴DAF膜装置不仅可以自动地把离型膜和DAF膜分离,而且能够将DAF膜精确地粘贴在晶圆和支撑圈上,降低了工人的劳动强度,提高了生产效率。
- 一种自动daf装置
- [发明专利]DAF分割确认方法-CN202210099933.5在审
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中村胜
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株式会社迪思科
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2022-01-27
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2022-08-16
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H01L21/78
- 本发明提供DAF分割确认方法,能够容易地确认配设于晶片的背面的DAF是否按照每个芯片适当地分割。该方法至少包含如下的工序:支承工序,在沿着分割预定线(14)形成有分割起点(110)的晶片的背面(10b)配设DAF的一个面(18a),将晶片定位于具有收纳晶片的开口(Fa)的环状的框架(F)的开口中,在DAF的另一个面(18b)粘贴划片带(T2),借助划片带将DAF和晶片支承于框架;DAF分割工序,将晶片与框架之间的划片带扩展而与芯片对应地分割DAF;收缩工序,将晶片与框架之间的划片带加热而使松弛收缩;划片带剥离工序,将划片带从DAF剥离;和DAF分割确认工序,确认DAF是否与各芯片对应地分割。
- daf分割确认方法
- [实用新型]一种DAF膜封装结构-CN202021828446.0有效
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吴俊;熊强
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2020-08-27
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2021-02-26
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H01L23/31
- 本实用新型涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种DAF膜封装结构,包括芯片以及至少一片DAF膜,其中所述DAF膜上相对的两个表面分别设置有凹槽,所述凹槽用于放置芯片,并且所述DAF膜上设置有凹槽的两个表面均覆盖有粘胶层;本实用新型在DAF膜的相对两个表面上分别设置用于安装芯片的凹槽,芯片可以通过粘接的方式固定在凹槽中,采用凹槽定位,提升封装的精度,还便于进行后续的切片操作;并且芯片可以封装在相邻的两片DAF膜之间,两片DAF膜上的凹槽位置错位粘接,保证粘接到芯片上的DAF膜厚度,保证相邻两片芯片之间的安全绝缘距离。
- 一种daf封装结构
- [发明专利]加工方法-CN201510092472.9在审
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中村胜
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株式会社迪思科
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2015-03-02
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2015-09-09
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H01L21/301
- 本发明提供加工方法,该加工方法是对应于一个个器件来分割在晶片的背面粘贴的DAF的方法,晶片被形成为格子状的分割预定线划分而在正面形成有多个器件,特征在于,包括如下工序:晶片准备工序,准备在晶片的沿着分割预定线的内部形成有改性层的晶片、或者沿着分割预定线分割为一个个器件的晶片;晶片配设工序,将在晶片准备工序中准备好的晶片定位到具有收纳晶片的开口部的环状框架中,隔着DAF将晶片的背面配设到扩展带上;和DAF分割工序,在实施了晶片配设工序后,使扩展带扩张,使拉伸力经由DAF作用于晶片,使相邻的器件之间的间隔扩大,同时对应于器件来分割DAF,在DAF分割工序中,将DAF加热至规定的温度来使DAF软化。
- 加工方法
- [发明专利]一种内埋元件的封装结构及封装方法-CN202011536520.6在审
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唐和明;王琇如
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杰群电子科技(东莞)有限公司
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2020-12-22
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2021-04-23
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H01L23/31
- 本发明公开一种内埋元件的封装结构及封装方法,该内埋元件的封装结构包括:引线框架;半导体元件,其背面结合于导电部的正面;DAF层;半导体元件的正面电极接点由DAF层露出;DAF层设有导通孔;导电结构设于导通孔,导电结构与导电部连接;该内埋元件的封装方法,包括:采用结合材料将半导体元件的背面与引线框架的正面结合,形成一级结构;将DAF材料覆盖并压合于一级结构的正面,形成DAF层;在DAF层加工出将引线框架的正面露出的导通孔该内埋元件的封装方结构及封装方法,将引线框架与DAF材料结合作为基板,半导体元件嵌入基板内,有利于缩小产品体积,简化了方法和结构,引线框架还可用于散热。
- 一种元件封装结构方法
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