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- [发明专利]显示面板-CN202211272822.6有效
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黄嘉辉;江志雄;王强;弓程;余明爵;蔡志辉
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广州华星光电半导体显示技术有限公司
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2022-10-18
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2023-03-24
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H01L27/12
- 本申请提供一种显示面板,包括薄膜晶体管,薄膜晶体管包括:栅极;源极和漏极;以及金属氧化物层,对应栅极设置,包括:下金属氧化物层,下金属氧化物层包括铟的氧化物以及镧系元素的氧化物;以及上金属氧化物层,与下金属氧化物层叠置且位于下金属氧化物层靠近源极和所述漏极的表面上,源极和漏极与上金属氧化物层连接,上金属氧化物层包括铟的氧化物以及镧系元素的氧化物,上金属氧化物层包括多晶相。金属氧化物层包括下金属氧化物层和上金属氧化物层,下金属氧化物层包括铟的氧化物以及镧系元素的氧化物,有利于包括下金属氧化物层的薄膜晶体管实现高迁移率,上金属氧化物层包括多晶相,有利于提高包括上金属氧化物层的薄膜晶体管稳定性
- 显示面板
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