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[实用新型]晶圆边缘保护结构升降控制装置及半导体机台-CN202121481520.0有效
发明人：王刚;丁宗月;付红艳 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆边缘保护结构升降控制装置及半导体机台，所述晶圆边缘保护结构升降控制装置包括升降单元、行程放大单元以及水平移动单元，所述升降单元用以驱动基底边缘保护结构升降，所述行程放大单元用以驱动升降单元升降并以n倍放大倍率驱动水平移动单元移动，且通过水平移动单元对升降单元的行程进行限位及测量。本实用新型利用行程放大单元输出放大n倍的行程，并利用该放大n倍的行程进行限位，以便于对升降单元的行程进行限位，有利于提高限位的精度，防止撞坏基底或装置；还可利用上述放大n倍的行程进行测量，以便于测量及调节基底边缘保护结构与基底之间的距离
边缘保护结构升降控制装置半导体机台

[发明专利]一种空间四爪柔顺微夹钳-CN201910394186.6有效
发明人：孙小庆;胡俊;马海峰 -专利权人：东华大学
申请日： 2019-05-13 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B25J15/02 文献下载
摘要：第一平面柔顺装置采用对称布置，包括桥式柔顺放大机构和四个杠杆式柔顺放大机构，第二平面柔顺装置包括柔顺微夹头、柔顺平行四杆机构，第一平面柔顺装置和第二平面柔顺装置都安装在安装基座上，驱动器安装在第一平面柔顺装置中心位置该装置基于空间四杆机构原理，利用三级柔顺放大装置实现对作动行程的放大，四个输出加持头采用平行四杆机构原理，实现平行导向运动，同时采用对称布置，结构简单、行程较大、操作可靠，可实现对空间任意位置目标、任意外形尺寸微纳物体的夹取
一种空间柔顺夹钳

[发明专利]一种大行程位移驱动装置及其控制方法-CN201910227141.X有效
发明人：李全超;姚东;徐钰蕾;谭淞年 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大行程位移驱动装置，包括载物台、一级位移放大机构和二级位移机构；一级位移放大机构包括丝杠、与丝杠螺纹连接的移动支撑板和用于驱动丝杠转动以带动移动支撑板沿载物台的轴向直线移动的扭矩输出装置；二级位移机构包括多个压电陶瓷驱动器，各压电陶瓷驱动器的底端与移动支撑板的顶面固定连接，顶端与载物台球铰连接，且压电陶瓷驱动器的驱动方向为载物台的轴向。该大行程位移驱动装置兼具了大行程和精度高的特点，实现了大行程范围内的超精密微位移。且通过各压电陶瓷驱动器的耦合运动能够实现载物台的高精度位移运动和不同角度的偏摆运动。本发明还公开一种大行程位移驱动装置的控制方法，其有益效果如上所述。
一种行程位移驱动装置及其控制方法

[发明专利]一种放油螺钉锥度检测装置-CN202110033965.0在审
发明人：陈文钦 -专利权人：东莞市秦智工业设计有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：检测基座上滑动连接有夹持基座，夹持基座上成型有与放油螺钉相配合的螺纹孔，检测基座上成型有与螺纹孔同轴心设置的检测孔；检测孔的侧壁上成型有径向贯穿的导向孔，导向孔内滑动连接有滑块，滑块的内端固定有测量杆，滑块的外端与行程放大机构的第一齿条固定连接，行程放大机构还包括位移传感器；夹持基座上铰接有竖直设置的调节螺钉，调节螺钉的下端螺接在检测基座上。本发明通过测量杆的位移量和放油螺钉的下移量间接测得放油螺钉的锥度，通过行程放大机构可提高数据的准确性，从而提高测量质量；且测量方式简单、方便，可有效提高测量效率。
一种螺钉锥度检测装置

[发明专利]贯联滑片超越离合器-CN201710094300.4在审
发明人：周承岗 -专利权人：周承岗
申请日： 2017-02-22 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： F16D41/063 文献下载
摘要：啮合动作执行机构中包括辅助超越离合装置、行程放大装置、缓冲装置、定位装置和拨叉装置——辅助超越离合装置用于触发和驱动啮合动作，同时也是缓冲机构；通过行程放大装置把辅助超越离合装置的周向行程在轴向放大，使啮合体更快捷到达啮合位置
滑片啮合超越离合装置超越离合器行程放大装置拨叉装置缓冲装置空程定位止动装置动作执行机构传动接触传动元件定位装置刚性啮合缓冲机构啮合位置双向锁止依次排列引导滑片轴向运动归位离合块面接触啮合体触发传动轴向摩擦放大驱动缓解吸收冲突

[发明专利]一种具有大行程高频响的二自由度伺服刀架-CN201911110053.8在审
发明人：李国平;赖文锋;徐金秋;武志士;罗展鹏;闵文君;孟浩锋 -专利权人：宁波大学
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： B23B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有大行程高频响的二自由度伺服刀架，特点是第一压电陶瓷和第三压电陶瓷沿刀具安装架中心对称且用于驱动刀具安装架沿X向移动，第二压电陶瓷和第四压电陶瓷沿刀具安装架中心对称且用于驱动刀具安装架沿Y向移动，第一压电陶瓷与Y向右解耦机构之间设置有X正向位移放大机构，第三压电陶瓷与Y向左解耦机构之间设置有X负向位移放大机构，第二压电陶瓷与X向前解耦机构之间设置有Y正向位移放大机构，第四压电陶瓷与X向后解耦机构之间设置有Y负向位移放大机构；优点是使得安装在刀具安装架上的刀具具有高频响、大行程，即可满足高精度的光学零件的表面加工，又对零件具有较大的可加工尺寸，其适用范围较广。
一种具有行程高频自由度伺服刀架

[实用新型]一种具有大行程高频响的二自由度伺服刀架-CN201921968766.3有效
发明人：赖文锋;李国平;武志士;徐金秋;孟浩锋;陈亦康;代桂林;朱磊 -专利权人：宁波大学
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B23B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有大行程高频响的二自由度伺服刀架，特点是第一压电陶瓷和第三压电陶瓷沿刀具安装架中心对称且用于驱动刀具安装架沿X向移动，第二压电陶瓷和第四压电陶瓷沿刀具安装架中心对称且用于驱动刀具安装架沿Y向移动，第一压电陶瓷与Y向右解耦机构之间设置有X正向位移放大机构，第三压电陶瓷与Y向左解耦机构之间设置有X负向位移放大机构，第二压电陶瓷与X向前解耦机构之间设置有Y正向位移放大机构，第四压电陶瓷与X向后解耦机构之间设置有Y负向位移放大机构；优点是使得安装在刀具安装架上的刀具具有高频响、大行程，即可满足高精度的光学零件的表面加工，又对零件具有较大的可加工尺寸，其适用范围较广。
一种具有行程高频自由度伺服刀架

[实用新型]一种杠杆自力式微压调节阀-CN201620760109.X有效
发明人：张永亮;李培华;汪新春;韩家洋 -专利权人：浙江永盛科技股份有限公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： F16K31/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种杠杆自力式微压调节阀，包括阀体、阀座、阀芯组件、阀盖和执行机构，所述的阀芯组件与执行机构之间设置有放大阀芯行程的杠杆结构。该杠杆自力微压调节阀，通过在阀芯组件中的阀杆与执行机构中的推杆之间设置一个杠杆结构，通过杠杆结构作用，实现在调节阀使用过程中，放大阀芯组件的调节行程，提高调解精度，这样的结构简单，调节行程可以根据需要进行调节
一种杠杆自力式微调节

[发明专利]基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台-CN201711243519.2在审
发明人：徐方超;魏恒志;孙凤;李强 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台,该平台包括：外层支座（3）、沙漏形位移放大机构、压电陶瓷驱动器（2）、对称长臂铰链、工作台（6）和内层基板（7）；沙漏形位移放大机构分为x方向沙漏形位移放大机构（1）和Y方向沙漏形位移放大机构（4），对称长臂铰链分为x方向对称长臂铰链（5）和Y方向对称长臂铰链（8）；本发明实施例提供的基于沙漏形位移放大机构的压电驱动微定位平台，可以实现工作台的大行程运动。
位移放大机构沙漏形长臂铰链微定位平台压电驱动方向对称工作台对称压电陶瓷驱动器大行程运动内层基板

[实用新型]电梯称重行程放大装置、及具有该装置的电梯-CN201620485449.6有效
发明人：杨自辉;李观亮;邓耀焜;黄文;贺云朗 -专利权人：广州广日电梯工业有限公司
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： B66B5/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电梯称重行程放大装置及具有该装置的电梯，该电梯称重行程放大装置包括上连接件，其与电梯上轿底连接；下连接件，其与电梯下轿底连接；驱动件，其一端与所述上连接件连接，另一端连接在行程放大件上；行程放大件，其一端与所述下连接件连接，另一端设置有第一行程开关；第一行程开关，设置在所述行程放大件的另一端，且设置在与电梯下轿底上的第二行程开关的相对的位置，其可与所述第二行程开关分离或接触。本实用新型的电梯称重行程放大装置可以有效地解决称重误报、误动作或不动作的问题。
电梯称重行程放大装置具有

[实用新型]一种基于二级柔性放大机构的双压电喷胶阀-CN202320329274.X有效
发明人：刘元志;闫鹏;黄英杰;周帅 -专利权人：山东大学;歌尔股份有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型提出一种基于二级柔性放大机构的双压电喷胶阀，包括：固定板；放大机构，对称设置在所述固定板的一侧；所述放大结构包括柔性铰链形成的一级放大机构和杠杆‑三角形二级放大机构，所述杠杆‑三角形二级放大机构的一端与所述柔性铰链的转动连接；第一压电陶瓷、第二压电陶瓷，分别设置在对称的所述杠杆‑三角形二级放大机构之间；撞针组件，与所述杠杆‑三角形二级放大机构的另外一端连接。采用柔性铰链形成的一级放大机构和杠杆‑三角形二级放大机构组成喷胶阀的放大机构，大大提高了放大倍数。此外放大机构为对称结构，无寄生位移的产生，从而可以更有效提高撞针行程。
一种基于二级柔性放大机构压电喷胶阀

[发明专利]用于立体车库的电动车位锁-CN201110085412.6有效
发明人：朱建华 -专利权人：朱建华
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： E04H6/42 文献下载
摘要：一种用于立体车库的电动车位锁，包括有挡车板和传动装置，其特征在于：电动车位锁包括滑轨装置，具有支撑臂，挡车板两侧下端与支撑臂内侧相铰接；摇臂机构包括有横杆，横杆上固定有立杆；传动装置包括驱动源；行程放大机构的输入端和驱动源的输出端相连，行程放大机构输出端连接有和支撑臂平行设置的芯轴，芯轴上套设有弹簧，弹簧一端和横杆相抵，另一端和行程放大机构输出端相抵，芯轴滑动地穿设于横杆上，芯轴头部还设置有推针，推针具有和横杆相抵的大端面，挡车板的顶部有斜面
用于立体车库电动车位锁

[实用新型]安全开关行程放大可调机构及其木工刨床-CN201922142708.1有效
发明人：于健;赵学勇;焦玉发 -专利权人：青岛金岭电器有限公司
申请日： 2019-12-04 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01H3/16 文献下载
摘要：本实用新型所述的安全开关行程放大可调机构及其木工刨床，能够彻底解决木工刨床安全停机问题，达到灵活地调节相关行程放大机构、提高该机构执行连动操作的准确性、控制并减小吸尘罩打开角度的目的，杜绝此类安全事故的发生安全开关行程放大可调机构包括有凸轮和杠杆。
安全开关行程放大可调机构及其木工刨床

[实用新型]用于立体车库的电动车位锁-CN201120098045.9无效
发明人：朱建华 -专利权人：朱建华
申请日： 2011-03-30 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： E04H6/42 文献下载
摘要：一种用于立体车库的电动车位锁，包括有挡车板和传动装置，其特征在于：电动车位锁包括滑轨装置，具有支撑臂，挡车板两侧下端与支撑臂内侧相铰接；摇臂机构包括有横杆，横杆上固定有立杆；传动装置包括驱动源；行程放大机构的输入端和驱动源的输出端相连，行程放大机构输出端连接有和支撑臂平行设置的芯轴，芯轴上套设有弹簧，弹簧一端和横杆相抵，另一端和行程放大机构输出端相抵，芯轴滑动地穿设于横杆上，芯轴头部还设置有推针，推针具有和横杆相抵的大端面，挡车板的顶部有斜面
用于立体车库电动车位锁

[实用新型]长行程推拉捉放机械手-CN98233944.5无效
发明人：梁晓煜 -专利权人：梁晓煜
申请日： 1998-04-04 - 公布日： 1999-06-16 - 主分类号： B25J18/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种做长行程直线运动的推拉捉放机械手。自动捉放机械手在立体车库中普遍使用,本实用新型采用剪式行程放大机构和捉放机构组成长行程推拉捉放机械手,剪式机构杆端铰接形成串联机构,捉放机构有一棘轮,上有凸轮斜槽,中间插有T型铁和弹簧,可在较长行程内轻易捉放所要驱动的对象
行程推拉机械手

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