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[实用新型]用于芯片清洗的花篮装置-CN201621342137.6有效
发明人：袁正兵;史侯明;章胜;谭明;肖梦;王梦雪;杨文献;代盼;吴渊渊;黄寓洋;陆书龙 -专利权人：苏州苏纳光电有限公司
申请日： 2016-12-08 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于芯片清洗的花篮装置，包括一花篮托靶、自所述花篮托靶延伸的至少一个支撑臂、以及固定于所述支撑臂上的清洗花篮，所述清洗花篮的侧边开设有一缺口，该缺口自所述清洗花篮的顶边缘延伸至花篮底座，所述清洗花篮底座均匀圆孔可以使芯片清洗过程中保持芯片与清洗液之间的压力平衡。
用于芯片清洗花篮装置

[实用新型]一种花篮定位升降输送模组-CN201920879427.1有效
发明人：徐贵阳;李志刚;胡英;陆红艳 -专利权人：帝尔激光科技（无锡）有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及花篮输送设备，特别涉及一种花篮定位升降输送模组。本实用新型的一种花篮定位升降输送模组包括升降模组；安装板，所述安装板沿左右方向竖直设置，所述升降模组与所述安装板传动连接，用于驱动所述安装板上下移动；皮带输送流水线，所述皮带输送流水线安装于所述安装板前侧下端，其输送方向沿左右方向；花篮定位装置，所述花篮定位装置安装于所述安装板前侧上端，用于对花篮进行竖直方向及前后方向的定位。优点：设计合理，能实现对花篮的定位，避免花篮在传输过程中的晃动和偏移。
一种花篮定位升降输送模组

[实用新型]清洗式硅片下片机-CN202022323808.7有效
发明人：闫善韵 -专利权人：苏州林赛自动化科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：该下片机包括龙门架、二轴机械手、抓花篮机构、清洗槽、花篮水平输送台、吹除机构、下片台，所述龙门架的横梁上安装有二轴机械手和吹除机构，二轴机械手上安装有抓花篮机构，龙门架下方设有清洗槽、花篮水平输送台、下片台本实用新型通过二轴机械手配合抓花篮机构来移动硅片花篮。通过清洗槽来清洗硅片。通过吹除机构将硅片上的液体吹落。通过花篮水平输送台将硅片花篮移动到下片台上进行取出下片。
清洗硅片下片

[实用新型]硅片花篮抓取装置-CN202022986106.7有效
发明人：刘真 -专利权人：无锡喆创科技有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种硅片生产设备，尤其是硅片花篮抓取装置，包括：抓取座；抓取气缸，所述抓取气缸固定在所述抓取座的两端；及抓取板，所述抓取板的两侧均设有抓取槽或抓取孔；所述硅片花篮抓取装置包括抓料状态和放料状态，所述放料状态时，所述抓取气缸伸出，所述抓取板位于花篮的挂杆的外侧，所述抓料状态时，所述抓取气缸缩回，花篮的挂杆位于抓取槽或抓取孔中。本实用新型提供的硅片花篮抓取装置能自动抓取花篮，并且与花篮的连接可靠、结构简单、花篮抓取速度快、使用方便。
硅片花篮抓取装置

[实用新型]一种硅片花篮抓钩及花篮抓取装置-CN202221267150.5有效
发明人：孙玉虎;贾永前;李蠡 -专利权人：晶海洋半导体材料（东海）有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片花篮抓钩及花篮抓取装置。该硅片花篮抓钩包括：一体式结构并设有多个抓取单元的抓钩本体，所述抓钩本体的多个抓取单元可用于抓取多个硅片花篮；以及至少一个与所述抓钩本体连接的连接件，所述连接件还与花篮抓取装置的支架连接。一体式结构的抓钩本体可以提高花篮抓钩的强度，降低在恶劣环境下工作的花篮抓钩的变形量，确保花篮抓钩在高强度的、频繁伸缩动作还能保持精准性和可靠性，避免出现压篮、翻篮、漏抓等严重的故障问题。
一种硅片花篮抓取装置

[发明专利]一种改善单晶硅片烘干的方法-CN202210014271.7在审
发明人：蔡昌顺;邹敏凤;谢耀辉;张鹏;曹其伟 -专利权人：江西中弘晶能科技有限公司
申请日： 2022-01-04 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： F26B11/18 文献下载
摘要：本发明属于涉及单晶电池片技术领域，具体一种改善单晶硅片烘干的方法，通过对烘干槽进行优化，改变硅片和花篮在烘干槽内的状态，使硅片和花篮之间的水分更容易烘干。具体地，改进槽体的花篮支架，由原来静止不动的花篮支架，通过为花篮支架增加升降机构，使其在烘干过程中缓慢进行升降，使花篮在烘干时存在一定倾斜角度，利用重力和烘干时通入的热氮气流，使各个硅片在花篮内的相邻两个花篮齿之间移动，从而避免硅片和花篮因水的表面张力而吸附在一起，改善因硅片与花篮的接触引起的烘干困难的情况。
一种改善单晶硅烘干方法

[发明专利]硅片工装花篮输送系统-CN201510064642.2有效
发明人：陈宏 -专利权人：张家港市超声电气有限公司
申请日： 2015-02-09 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本发明公开一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上工装花篮位于目标区域时，跷杆的后端部跷起并抵在后一工装花篮的侧壁上，将后一工装花篮与当前工装花篮隔离开，防止二者碰撞或卡死，而当前工装花篮移走后，将后一工装花篮后退一段距离后重新前进能够顺利到达目标区域，依次循环，逐一输送工装花篮，结构简单、成本，且动作可靠，有助于插片速度的提高。
硅片工装花篮输送系统

[发明专利]一种搬运夹爪-CN202010356845.X有效
发明人：强嘉杰;朱斌;沈晓琪;丁治祥 -专利权人：无锡小强半导体科技有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：包括夹爪连接板、支撑装置和紧固装置，所述支撑装置和紧固装置设置于夹爪连接板上，所述支撑装置包括推动组件和承托组件，所述紧固装置包括动力机构和固定机构，所述推动组件用于推动承托组件，所述承托组件用于托住花篮内的硅片，所述动力机构驱动固定机构，所述固定机构夹紧或放松花篮，本发明的能保证设备在翻转花篮的过程中,保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落，同时提高了生产效率，通过所述卡板与花篮撑柱的接触，花篮受到水平方向的支撑力和夹力，通过卡腔与花篮侧板底面接触，花篮受到竖直方向的支撑力和夹力，从而保证固定机构在水平和竖直方向均对花篮起到支撑和夹紧作用，进一步提高装置的可靠性。
一种搬运

[实用新型]一种硅片花篮的自动清洗装置-CN201821797976.6有效
发明人：王丽婷;刘海涛;许伟;谢文君 -专利权人：中节能太阳能科技（镇江）有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片花篮的自动清洗装置，包括箱体、承载架、超声波发生器、控制箱、清洗液，所述箱体上设有取放花篮的敞口，所述承载架安装在所述箱体内，花篮置于所述承载架上，所述超声波发生器安装在所述箱体内，所述控制箱控制所述超声波发生器工作，所述箱体内装有所述清洗液，所述清洗液浸没所述超声波发生器、花篮。本实用新型利用超声波清洗原理，结合硅片花篮结构，设计适用于硅片花篮清洗的自动清洗装置，不用人工直接对花篮清洗，显著减少了人工清洗对花篮造成的损伤；超声波清洗效果良好，对于花篮的齿尖、齿根等部位，利用液体的流动性可无死角清洗，清洗洁净度高；一次可对多个花篮进行批量清洗，生产作业效率显著提高。
花篮超声波发生器硅片花篮清洗自动清洗装置承载架清洗液本实用新型控制箱超声波清洗原理超声波清洗人工清洗生产作业洁净度无死角浸没敞口齿根齿尖取放损伤

[实用新型]一种硅片全自动上下料机-CN202021135796.9有效
发明人：顾徐锋;戴秋喜;潘加永;刘光照 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片全自动上下料机，包括依次设置的花篮流转机构、倒片机构和舟传送机构，所述花篮流转机构运送满载花篮/空花篮至所述倒片机构上，所述舟传送机构传送空金属舟/满载金属舟至所述倒片机构上，在所述倒片机构上进行硅片的上下料；其中，所述花篮流转机构设置有依次对接的花篮传送工位、花篮翻转工位、花篮旋转工位和花篮转移工位；所述舟传送机构设置有依次对接的舟旋转工位和舟翻转工位；所述倒片机构包括倒片龙门、第一顶片组件、第一规整组件该硅片全自动上下料机，实现了承载花篮与金属舟之间的自动上下料，整个过程无需人工操作，降低了劳动强度，提高了工作效率。
一种硅片全自动上下

[实用新型]一种多片装晶圆剥离花篮-CN201920560679.8有效
发明人：靳春艳;曲迪;陈墨;白国人;闫青芝 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-23 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多片装晶圆剥离花篮，涉及晶圆作业技术领域，包括置于超声槽内的花篮下托盘；所述花篮下托盘是承载晶圆的圆柱形体；花篮下托盘上下端面贯通有多个与晶圆尺寸匹配的卡槽；所述卡槽沿花篮下托盘的周向均匀设置还包括可拆卸的与所述花篮下托盘扣合的花篮上盖；在所述花篮下托盘的上端面设有多爪弹片；所述多爪弹片为圆形薄片，多爪弹片包括实心的圆片及设在圆片周围的条状挡片；所述挡片与所述卡槽的数量和位置对应。该剥离花篮不仅结构简单合理、剥离后晶圆表面清洁、剥离时晶圆不易滑落，而且剥离花篮在不同溶液间的转换很方便。
花篮晶圆下托盘剥离弹片多爪卡槽圆片承载周向均匀设置作业技术领域本实用新型尺寸匹配晶圆表面可拆卸的上下端面圆形薄片圆柱形体镂空超声槽承载体卡槽沿上端面实心的条状挡挡片多片滑落上盖贯通清洁转换

[实用新型]一种用于晶硅电池可靠性测试的可变间距花篮-CN202122878522.X有效
发明人：卢春晖;崔会旺 -专利权人：无锡帝科电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶硅电池可靠性测试的可变间距花篮，包括花篮纵向侧板，花篮横向侧板，底部溢水板，固定螺栓和可调节硅片靠板组件，所述的花篮横向侧板横向通过固定螺栓固定在花篮纵向侧板和花篮纵向侧板的前后两部中间位置；所述的底部溢水板通过固定螺栓固定在花篮纵向侧板的下部位置；所述的花篮纵向侧板的上部左右两侧开设有挂钩提拉孔。本实用新型花篮纵向侧板，花篮横向侧板，底部溢水板和固定螺栓分别采用PVDF的矩形板的设置，有利于起到耐酸碱防腐蚀，安装RFID识别卡的设置，方便识别读取；根据晶硅片宽度或长度的不同，改变支撑靠板主体的位置
一种用于电池可靠性测试可变间距花篮

[实用新型]一种导片机装置-CN202220957386.5有效
发明人：杨永;徐振;陈俊岳;刘伟;秦修领;骆兆勇 -专利权人：东方日升新能源股份有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种导片机装置，涉及电池片加工技术领域，所述导片机装置包括上花篮机构、取片传输机构、下花篮机构、旋转吸片机构及叠片盒定位件，上花篮机构和下花篮机构分别位于取片传输机构的两端，取片传输机构的上方设有旋转吸片机构本实用新型的导片机装置，可将一个干花篮/湿花篮中的电池片导入另一个湿花篮/干花篮，以及将干花篮/湿花篮中的电池片导入叠片盒中，集多种形式的导片于一体，解决人工导片及多套导片装置协同使用效率低的技术问题，
一种导片机装置

[实用新型]一种防止硅片追尾的插片机-CN202320368792.2有效
发明人：严循成 -专利权人：江苏福旭科技有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B65G47/88 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防止硅片追尾的插片机，包括用于抓取花篮的机械手臂，用于送入空花篮的花篮送入装置，用于送出装满的花篮的花篮送出装置，用于吹起硅片分离的吹起装置，硅片运送槽于花篮前段安装可调节位置的用于防硅片追尾的防追尾组件，花篮自适应157mm‑182mm的硅片插片；通过设置防追尾组件，通过光纤传感器监测硅片的运动，当光纤传感器监测到硅片尾部时，电机转动，使转轴转动，将防追尾杆转置竖直方向，使防追尾杆可以对下一片硅片进行阻拦，避免追尾；花篮的隔板均呈为锐角三角形板，使花篮内部两侧的隔板可以构成可以适应不同规格硅片的插槽，使157mm‑182mm的硅片全部可以使用同一种花篮进行插片。
一种防止硅片追尾插片机

[发明专利]一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法-CN202310190425.2在审
发明人：邱军平 -专利权人：常州科讯精密机械有限公司
申请日： 2023-03-02 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及硅片花篮领域，具体涉及一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法。本发明提供了一种具有锁定结构的高稳定性硅片花篮及其锁定方法，包括：花篮本体；两锁定机构，锁定机构一端与花篮本体转动连接；以及花篮本体上具有上片工位和定位工位；其中上片时，锁定机构转动至上片工位，花篮本体的开口侧打开，硅片依次叠放在花篮本体内；锁定时，锁定机构转动至定位工位，锁定机构关闭花篮本体的开口侧。
一种具有锁定结构稳定性硅片花篮及其方法