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[发明专利]一种尖晶石微米颗粒的球差矫正TEM样品制备方法-CN202010215865.5有效
发明人：王磊;曲迪;姬静远;白国人;陈帅;陈景春 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N23/2005 文献下载
摘要：本发明公开了一种尖晶石微米颗粒的球差矫正TEM样品制备方法，属于材料加工技术领域，其特征在于，包括如下步骤：S1、制样和筛选颗粒，其中，制样过程：首先准备一片1cm×1cm硅片，用牙签或棉签蘸取适量粉末样品，将粉末样品蹭在上述硅片上；然后用高压氮气枪间断的吹5～10次；最后用双面碳胶带将硅片固定在样品台上；筛选颗粒过程：首先，进样后，移动样品台，在SEM下寻找单独的、无磨损的、待观察的截面垂直于硅片表面的颗粒；然后，通过旋转样品台，将要提取的颗粒截面方向转平；S2、沉积pt保护层；S3、挖大槽；S4、U形切，S5、提取薄片；S6、放样；S7、减薄和低电压清洗。
一种尖晶石微米颗粒矫正 tem 样品制备方法

[发明专利]分布反馈式激光器的新型电流阻挡层结构-CN202010177604.9有效
发明人：曲迪;白国人;王磊;陈帅;张煜;明辰 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01S5/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种分布反馈式激光器的新型电流阻挡层结构，属于半导体技术领域，包括：第一种掺杂的半导体层、第二种掺杂的半导体层和电极层；第一种掺杂的半导体层内设置有第一电流阻挡层；第一电流阻挡层上开设有第一开口；第二种掺杂的半导体层内设置有第二电流阻挡层，第二电流阻挡层上开设有第二开口；第一开口位于第二开口的正下方。本发明通过对结区内外加电场分布的调制作用来调控结区内的电子和空穴复合效率，控制激光器的光电输出。通过使电场局限在小孔处来提高小孔区域有源区的电子与空穴浓度，从而提高载流子复合效率，提高发光效率；另一方面在空间上限制了发光区域的大小，使激光器的输出更为聚焦。
分布反馈激光器新型电流阻挡结构

[发明专利]基于HSQ的电子束光刻制备套刻标记的方法-CN202010333134.0有效
发明人：曲迪;王文龙;王磊;白国人;陈帅;隋春雨 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于HSQ的电子束光刻制备套刻标记的方法，属于光电子技术领域，其特征在于，至少包括如下步骤：S1、对晶圆进行脱水烘焙；S2、在晶圆上旋涂HSQ光刻胶后进行前烘；S3、电子束曝光；利用HSQ为负性光刻胶的特性，绘制mark曝光版图，用较少的时间曝光，完成对绘制版图的直写后显影；S4、高温坚膜烘焙；S5、根据需求旋涂后续工艺所需的光刻胶，将后续工艺版图按照步骤S3mark曝光版图建立的坐标系进行版图套刻；对顶层光刻胶进行显影；进行后续蒸镀或刻蚀工艺，并去除顶层光刻胶；S6、使用HF加去离子水或氨水：过氧化氢：去离子水溶液去除HSQ mark。
基于 hsq 电子束光刻制备标记方法

[发明专利]分布反馈式激光器的不规则反射镜结构-CN202011457059.5有效
发明人：宋学颖;明辰;白国人;王磊;林海鹏;陈帅;陈景春;曲迪 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种分布反馈式激光器的不规则反射镜结构，属于半导体技术领域，包括：第一种掺杂的半导体层、反射镜层、第二种掺杂的半导体层、多量子阱有源层和电极层；第一种掺杂的半导体层与多量子阱有源层之间设置有不规则反射镜结构。本发明通过反射镜对结区内光场分布的调制作用来增强光场密度，控制激光器的光电输出；通过在有源层下方加上一层金属反射镜，有源区发出的光子可以再度被反射回量子阱，一定程度上增加了反射回量子阱的光子数量，从而提升进入谐振腔内的光子数量，增加复合辐射的概率，达到提高出光效率和出光强度的效果。而且V型凹槽可以增加反射面积，反射出的光子密度较普通的反射镜高；进一步提高出光效率和出光强度。
分布反馈激光器不规则反射结构

[实用新型]一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具-CN202022987804.9有效
发明人：杨子曦;陈帅;白国人;明辰;林海鹏;曲迪 -专利权人：华慧科锐（天津）科技有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，属于晶片抛光技术领域，其特征在于，至少包括：底座；固定于底座上表面的M个支撑架；M为大于2的自然数；M个支撑架位于同一个圆周上；每个支撑架上固定有水平方向的丝杠；固定于丝杠上的晶片托；M个晶片托位于同一个水平面上，所述支撑架为柱状结构，在所述支撑架的侧壁开设有连接丝杠的水平通孔，在所述支撑架的顶部开设有竖直方向的销孔；所述销孔和水平通孔相通；所述丝杠穿过通孔，所述销子自上而下穿过销孔进而对丝杠进行固定。通过采用上述技术方案，本实用新型利用多个晶片托从不同方位对晶片进行限位，能够有效防止双面抛光片在检测的过程中发生滑动，提高检测的精度。
一种双面抛光检测光学显微镜夹具

[发明专利]一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法-CN202010177597.2有效
发明人：曲迪;余竞航;白国人;王磊;陈帅;陈景春 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法，属于半导体技术领域，其特征在于，至少包括如下步骤：S1、以LED外延片为衬底，首先制备5～10微米宽的分隔槽，进而将芯片分为两个独立的发光区域，并填充绝缘介质进行隔离；S2、外延片衬底上制备二氧化硅隔离层，并在发光区域周围腐蚀出电极接触区域；制备出两块金属电极，用于实现两个分区域的分别导通；S3、以上述分隔槽为轴，两边各取一个半圆形区域制备金属线栅，组成圆形发光区域，上述圆形发光区域的直径在20～100微米，两边线栅的方向相差45°；S4、最后制备出微透镜，使两种偏振态的输出光汇聚。
一种偏振输出量子密钥分发光源及其制备方法

[实用新型]一种用于表征样品喷金的截面样品台-CN202022987861.7有效
发明人：王俊;陈帅;白国人;王磊;明辰;林海鹏;陈景春;曲迪 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于表征样品喷金的截面样品台，属于半导体材料技术领域，包括抛光样品台底座、截面样品喷金台和截面样品贴片；抛光样品台底座上表面开设有竖直方向上的垂直孔和水平方向上的螺纹孔，垂直孔和螺纹孔连通，螺纹孔内设置有紧固螺丝钉，垂直孔为盲孔；截面样品喷金台包括喷金台底座；喷金台底座的下表面设置有与垂直孔配合用的凸起；喷金台底座的上表面设置有端挡板和位于端挡板两端的侧挡板；端挡板和侧挡板相互垂直；两个侧挡板的相对面上固定截面样品贴片的突起卡槽。本申请将加工样品平面贴在截面样品贴片上，将截面样品贴片平面推入卡槽并与之固定，由于截面样品贴片的凹槽与卡槽的突起部分能够刚好吻合，故能够将其固定。
一种用于表征样品截面

[实用新型]一种晶圆烘烤用热板-CN202022988331.4有效
发明人：王磊;曲迪;白国人;明辰;陈帅;陈景春;梁娟;姬静远 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： H05B3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆烘烤用热板，属于半导体材料技术领域，包括底座和加热板；其特征在于，所述底座的上表面通过多根柱子与加热板的下表面固定连接；在所述加热板上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：位于每个通孔内的立柱；所述立柱的直径小于通孔的内径；与所述立柱下端连接的支架；带动支架在竖直方向运动的传送机构；以及计时器；所述传送机构包括电机，所述支架与竖直方向设置的传送杆固定连接，所述电机的轴承与传送杆相互垂直，且两者之间相互啮合。本实用新型对热板表面的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。
一种烘烤用热板

[实用新型]一种电子束蒸镀设备用可同时自转和公转的样片盘载具-CN202022703197.9有效
发明人：宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;李玉源;曲迪 -专利权人：华慧科锐（天津）科技有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束蒸镀设备用可同时自转和公转的样片盘载具，属于半导体材料技术领域，其特征在于，包括：由电机带动实现旋转运动的中轴；固定安装在中轴上的主动齿轮盘；与中轴同轴设置圆盘；圆盘的内侧设置有内齿轮；固定圆盘的固定轴；设置于主动齿轮盘和圆盘之间的多个样品盘；样品盘分别与所述内齿轮、主动齿轮盘相啮合，固定轴不少于两个。本申请将现有技术中的中间轴更换成一个带齿轮的结构，在原结构的最外圈悬挂一个有内齿轮的圆盘，这个圆盘通过固定轴固定，在中间轴和圆盘直接放置多个小尺寸的样品盘，这样，样品盘就能够达到既可以自转也可以公转的效果，放置在这样的样品盘上的芯片的膜厚将更加均匀。
一种电子束蒸镀设备用同时自转公转样片盘载具

[实用新型]一种扫描电镜用样品台-CN202022987863.6有效
发明人：姬静远;王磊;白国人;陈帅;陈景春;曲迪 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台，属于扫描电镜测试技术领域，包括圆柱形的样品台本体；在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道；每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道，每条滑道的一端位于样品台本体的侧面，每条滑道的长度小于样品台本体的半径；所述直线与样品台本体的一条直径重合；在每条滑道上安装有一根立柱，所述立柱包括与所述滑道配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；在所述立杆上套接有压片；在所述立杆上开设有与螺母配合的外螺纹，所述滑道的轴截面成凸字形。本实用新型不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。
一种扫描电镜样品

[实用新型]一种变径式扫描电镜用柱状样品台-CN202022988280.5有效
发明人：梁娟;王磊;白国人;陈帅;陈景春;曲迪 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变径式扫描电镜用柱状样品台，属于扫描电镜技术领域，其特征在于，自下而上依次包括：样品台底座、金属叶片和活动柱状圆环，样品台底座包括圆柱形的底座本体，在底座本体的上表面中心位置开设有圆形槽，在底座本体的上表面开设有均匀分布的2N个直盲孔；在底座本体的下表面中心位置开设有连接紧固螺钉B用的螺纹孔；金属叶片为2N个，每个金属叶片的下表面固定有与直盲孔配合用的固定销钉每个金属叶片的上表面固定有活动销钉；所述活动柱状圆环上表面内侧开设有与活动销钉配合的滑行轨道，所述活动柱状圆环的外侧壁开设有水平螺纹孔，在水平螺纹孔内安装有紧固螺钉A，所述活动柱状圆环的内径大于样品台底座的外径。
一种变径式扫描电镜柱状样品

[实用新型]一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装-CN202022714343.8有效
发明人：宋学颖;白国人;林海鹏;陈帅;陈景春;王磊;曲迪 -专利权人：华慧科锐（天津）科技有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射设备用样品固定辅助工装，属于磁控溅射设备技术领域，其特征在于，至少包括：长度为a的水平板；固定于水平板一端的左侧翘板；固定于水平板另一端的右侧翘板；其中：所述左侧翘板和右侧翘板的长度均为b；且所述左侧翘板和右侧翘板位于水平板的同一侧，三者为共面关系，所述左侧翘板和水平板之间的夹角为135度，所述右侧翘板和水平板之间的夹角为135度；在所述左侧翘板和右侧翘板的中心分别开设有一个4mm直径的螺丝孔，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为一体成型结构，所述左侧翘板、水平板和右侧翘板为不锈钢制成。通过采用上述技术方案，本实用新型具有固定不同高度样品的功能。
一种磁控溅射备用样品固定辅助工装

[实用新型]一种单片晶圆显影花篮-CN202022714905.9有效
发明人：宋学颖;陈帅;王磊;陈景春;白国人;李玉源;曲迪 -专利权人：华慧科锐（天津）科技有限公司
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单片晶圆显影花篮，属于半导体材料技术领域，其特征在于，至少包括：圆环结构的托盘；所述托盘由圆环结构的上托盘和下托盘叠加而成，上托盘和下托盘为一体成型结构，所述托盘的外侧壁开设有卡槽；所述托盘上开设有上下片豁口；把手；所述把手与托盘的外侧壁连接。本申请中的单片晶圆显影花篮结构简单合理，适用于单片晶圆的显影操作，通过将显影面朝下倒置显影保证了晶圆表面光刻图形不被沾污；通过卡槽使晶圆在显影晃动时能够稳固晶圆片不易滑落；花篮托盘在显影时可完全浸没与显影液中，使显影液与曝光后的光刻胶充分溶解。显影花篮把手便于对晶圆的移动，可以及时的将晶圆由显影液转移到定影液中，提升了显影精度。
一种单片显影花篮

[发明专利]RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺-CN201810670020.8有效
发明人：曲迪;白国人;陈墨;梁娟;宋学颖 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司;华慧高芯科技(深圳)有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种RWG型DFB激光器脊条上图形窗口的实现工艺。属于微电子技术、光纤通信技术领域，其特征在于，至少包括以下步骤：步骤一：基片清洗；步骤二：在基片表面旋涂双层光刻胶，通过曝光显影，将光刻版上的图案转移至基片表面；步骤三：以光刻胶作掩膜，刻蚀出脊形波导结构；步骤四：利用原子层沉积法沉积薄膜作为绝缘层；步骤五：通过Lift‑off剥离工艺，去除光刻胶连同脊波导上方的薄膜，完成脊条上图形开窗。通过采用上述技术方案，本发明在保证工艺效果的基础上，简化了工艺流程，并且能够降低制造的成本。
rwg dfb 激光器脊条上图形窗口实现工艺

[实用新型]一种可移动的光刻板固定夹具-CN201920519600.7有效
发明人：曲迪;闫青芝;陈墨;白国人;宋学颖;靳春艳 -专利权人：天津华慧芯科技集团有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可移动的光刻板固定夹具，涉及半导体制备设备技术领域，包括可移动的支撑台和若干组真空吸附装置，涉及半导体制备设备技术领域，所述支撑台上开设有圆形通孔，所述真空吸附装置沿所述通孔的周向均匀的设在支撑台的上端面；光刻板通过真空吸附装置居中的吸附在支撑台的下端面。每组所述真空吸附装置包括若干个与所述通孔同轴设置的通透真空孔，每组真空吸附装置中的真空孔上端面设有一个与支撑台吸附的真空吸盘；所述真空吸盘的底部中心设有与该组真空孔连通的真空管；所有真空管的末端与一个真空开关连接。该固定夹具不仅便于调整光刻板位置、而且使用方便快捷，能根据需要随时移动到指定位置。
一种移动刻板固定夹具

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