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- [发明专利]一种改善单晶硅片烘干的方法-CN202210014271.7在审
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蔡昌顺;邹敏凤;谢耀辉;张鹏;曹其伟
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江西中弘晶能科技有限公司
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2022-01-04
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2022-04-15
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F26B11/18
- 本发明属于涉及单晶电池片技术领域,具体一种改善单晶硅片烘干的方法,通过对烘干槽进行优化,改变硅片和花篮在烘干槽内的状态,使硅片和花篮之间的水分更容易烘干。具体地,改进槽体的花篮支架,由原来静止不动的花篮支架,通过为花篮支架增加升降机构,使其在烘干过程中缓慢进行升降,使花篮在烘干时存在一定倾斜角度,利用重力和烘干时通入的热氮气流,使各个硅片在花篮内的相邻两个花篮齿之间移动,从而避免硅片和花篮因水的表面张力而吸附在一起,改善因硅片与花篮的接触引起的烘干困难的情况。本发明降低了硅片烘干工艺的温度,缩短了烘干工艺时间,可有效降级能耗,节约成本;同时可减少烘干后带液片的数量,提高产品良率。
- 一种改善单晶硅烘干方法
- [实用新型]一种六工位恒温箱-CN201921046949.X有效
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宋威运;王鹏;林罡;曹其伟
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-17
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种六工位恒温箱,涉及半导体生产技术领域,包括密封柜,所述密封柜的内壁固定连接有保温层,所述密封柜的内部且位于保温层的内侧表面固定连接有制冷层,所述密封柜的正面固定安装有密封板,所述密封板正面的顶部位置固定安装有人机交互面板,所述密封柜的正面且位于密封板的一侧位置出固定安装有密封门,把单独的恒温装置集中到一起,采用严密的密封结构,把所有的可能泄露点放在密封空间,然后使用氮气定向排放,特殊处理,从使用成本来说,该设备是六工位形式,即一台该设备可替代原先的4台独立温控设备,无论是从采购成本,还是后续的维护成本,相比现有的恒温箱,都有大幅度的下降。
- 一种六工位恒温箱
- [实用新型]一种四工位恒温箱-CN201921046952.1有效
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宋威运;王鹏;崔慧敏;曹其伟
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无锡华源晶电科技有限公司
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2019-07-06
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2020-04-10
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G05D23/19
- 本实用新型公开了一种四工位恒温箱,包括不锈钢箱体,所述不锈钢箱体的内壁固定连接有隔板,所述隔板的数量为两个,所述隔板顶部的两侧均固定连接有液态源瓶,所述不锈钢箱体的一侧连通有氮气进管,并且氮气进管的表面固定连接有第一控制阀,本实用新型涉及液态源恒温技术领域。该四工位恒温箱,把单独的恒温装置集中到一起,采用严密的密封结构,把所有的可能泄露点放在密封空间,然后使用氮气定向排放,减少了泄露由于采用新型温控方式和保温设计,此恒温箱的环境温度调节精度优于现有独立单个的形式,优化了恒温的功能,此四工位恒温箱可替代原先的四台独立温控设备,给操作人员带来了更高的安全性能。
- 一种四工位恒温箱
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