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- [发明专利]一种升降旋转装置-CN201611047884.1有效
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李文;韦孟锑;丁治祥;刘伟
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无锡奥特维科技股份有限公司
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2016-11-25
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2023-07-14
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H01L21/683
- 本发明涉及一种升降旋转装置,包括驱动装置,所述驱动装置上连接有横移装置,所述横移装置上装有升降装置,所述升降装置上连接有旋转装置;所述旋转装置包括带动中轴转动的摆臂,所述中轴上同步安装有硅片吸附装置;所述摆臂的端部与旋转控制装置滑动和/或滚动连接,用于使所述摆臂转动。该升降旋转装置,通过带动摆臂的动作,实现了中轴的转动,进而带动了中轴上端硅片吸附装置上硅片的转动,通过中轴上同步安装的硅片吸附装置,实现了硅片的运载与转动,同时为了更好的实现硅片旋转功能,避免干涉,将旋转装置安装在升降装置上,为了带动硅片的输送,而将升降装置安装在横移装置上,从而完成了在输送过程中实现使硅片旋转的功能。
- 一种升降旋转装置
- [发明专利]一种搬运夹爪-CN202010356845.X有效
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强嘉杰;朱斌;沈晓琪;丁治祥
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2021-08-10
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B25J15/00
- 本发明公开了一种搬运夹爪,包括夹爪连接板、支撑装置和紧固装置,所述支撑装置和紧固装置设置于夹爪连接板上,所述支撑装置包括推动组件和承托组件,所述紧固装置包括动力机构和固定机构,所述推动组件用于推动承托组件,所述承托组件用于托住花篮内的硅片,所述动力机构驱动固定机构,所述固定机构夹紧或放松花篮,本发明的能保证设备在翻转花篮的过程中,保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落,同时提高了生产效率,通过所述卡板与花篮撑柱的接触,花篮受到水平方向的支撑力和夹力,通过卡腔与花篮侧板底面接触,花篮受到竖直方向的支撑力和夹力,从而保证固定机构在水平和竖直方向均对花篮起到支撑和夹紧作用,进一步提高装置的可靠性。
- 一种搬运
- [实用新型]一种灯箱结构-CN202020950792.X有效
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丁治祥;强嘉杰;朱斌;张立
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-05-29
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2021-03-16
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B23K31/02
- 本实用新型公开了一种灯箱结构,包括灯管安装架、灯管、辅助灯管和防护板,所述灯管安装架上设置有穿槽,所述灯管设置于灯管安装架内且与穿槽垂直设置,所述辅助灯管设置于灯管安装架上且位于灯管两侧,所述防护板设置于灯管安装架上且与灯管两侧垂直连接,所述辅助灯管用于控制灯管安装架边角的温差,所述防护板用于对灯管进行区域温度隔离,本实用新型采用防护板,对灯管的头尾进行温度隔离,延长灯管使用寿命;同时灯管通过两组防护板安装在灯管安装架上,防护板起到支撑和固定作用,便于安装和拆卸,进一步提高了设备的安装效率。
- 一种灯箱结构
- [实用新型]一种搬运夹爪-CN202020689694.5有效
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强嘉杰;朱斌;沈晓琪;丁治祥
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2021-01-26
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B25J15/00
- 本实用新型公开了一种搬运夹爪,包括夹爪连接板、支撑装置和紧固装置,所述支撑装置和紧固装置设置于夹爪连接板上,所述支撑装置用于支撑花篮内硅片,所述紧固装置用于夹紧和放松花篮,本实用新型的能保证设备在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何,均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落,并采用简单的气缸驱动作为支撑装置的动力,操作既方便,利于推广,同时提高了生产效率,通过所述卡板与花篮撑柱的接触,花篮受到水平方向的支撑力和夹力,通过卡腔与花篮侧板底面接触,花篮受到竖直方向的支撑力和夹力,从而保证固定机构在水平和竖直方向均对花篮起到支撑和夹紧作用,进一步提高装置的可靠性。
- 一种搬运
- [实用新型]一种硅片吸取装置-CN202020691568.3有效
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丁治祥;沈晓琪;强嘉杰;李亚康
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2020-12-01
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种硅片吸取装置,包括进气组件、固定组件和吸取组件,所述固定组件包括吸盘端板、吸盘端块以及连接吸盘端板和吸盘端块的连接杆,所述连接杆将吸取组件与固定组件连接,所述吸取组件包括吸盘,所述吸盘上固设有吸取槽,所述进气组件为吸取组件供气,所述吸取组件通过吸取槽吸取硅片,本实用新型在吸盘安装板设置内凹型结构的凹台,在吸盘端块设置外凸型结构凸台,两者通过凹台和凸台进行卡接,有利于两者的安装和定位,进一步提高了安装效率,同时在吸盘侧边设置斜槽,对硅片的进入和离开插槽进行导向,避免发生硅片破损,提高了工作质量,本实用新型通过采用真空设备对硅片进行吸取,降低了人力成本,提高了工作效率。
- 一种硅片吸取装置
- [实用新型]一种硅片分离移动机构-CN202020689758.1有效
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丁治祥;强嘉杰;沈晓琪;张立
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2020-12-01
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种硅片分离移动机构,包括升降装置和硅片吸取分离装置,所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动,所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置上,所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件,所述硅片吸取装置用于吸取硅片,所述硅片分片装置用于分离硅片,本实用新型通过采用真空设备对硅片进行吸取,降低了人力成本,提高了工作效率,并在吸盘侧边设置斜槽,对硅片的进入和离开插槽进行导向,避免发生硅片破损,提高了工作质量,采用风刀底板和风刀板紧密连接的结构,通过设置扁平的喷腔,增大了气体的压强,从而增大了喷出气体的强度,提高硅片分片效率,采用滚珠丝杆,提高了设备的运动精度。
- 一种硅片分离移动机构
- [实用新型]一种定位移动机构-CN202020689729.5有效
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沈晓琪;张立;强嘉杰;丁治祥
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2020-11-13
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种定位移动机构,包括机台、支撑石英花篮的承托装置、用于定位石英花篮的定位装置以及移动石英花篮的移动装置,所述移动装置设置于机台上,所述承托装置设置于移动装置上侧,所述定位装置设置于承托装置上侧,本实用新型采用多组限位块对石英花篮进行可靠限位,且限位块上设置调节孔,用以调节限位块间距,便于根据石英花篮的尺寸进行调整,本实用新型设置有油污挡板,提高了设备的整洁度,还采用光电传感器,精确检测石英花篮中是否有硅片,采用感应传感器,确认并设备是否处于设定的位置,并将设备控制在设定的位置上,进一步提高了设备的可靠性。
- 一种定位移动机构
- [实用新型]一种硅片分片装置-CN202020689763.2有效
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丁治祥;沈晓琪;强嘉杰;张立
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2020-11-13
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种硅片分片装置,包括吹气组件和固定吹气组件的支架组件,所述吹气组件包括有连通管,所述连通管用于对吹气组件供气,所述支架组件支撑吹气组件,所述吹气组件用于硅片分片,本实用新型采用L型的风刀连接板来固定吹气组件,在风刀连接板上设置水平方向的上孔,来调节吹气组件左右移动的位置,设置竖直方向的下孔来调节吹气组件上下移动的位置,从而有效的控制了吹气组件不同方向的移动,提高了设备的可靠性,本实用新型采用风刀底板和风刀板紧密连接的结构,通过设置扁平的喷腔,增大了气体的压强,从而增大了喷出气体的强度,提高了硅片分片效率。
- 一种硅片分片装置
- [发明专利]一种吸盘移动机构-CN202010356863.8在审
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丁治祥;张立;强嘉杰;沈晓琪
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无锡小强半导体科技有限公司
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2020-04-29
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2020-09-01
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H01L21/68
- 本发明公开了一种吸盘横移机构,包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构,所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上,所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置,所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件,所述硅片吸取装置用于吸取硅片,所述硅片分片装置用于分离硅片,所述移动组件用于移动硅片吸取装置,所述硅片吸取分离装置用于对硅片的吸取和分离,所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动,所述横移机构用于控制硅片吸取分离装置水平移动,本发明设置的两组机构同时运动提高了工作效率,并采用定位装置实现对设备的精准定位。
- 一种吸盘移动机构
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