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- [发明专利]芯片间隔维持方法-CN201510170826.7在审
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植木笃
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株式会社迪思科
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2015-04-10
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2015-10-14
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H01L21/683
- 提供一种芯片间隔维持方法,在短时间内可靠地去除扩张后的粘接带的松弛。芯片间隔维持方法是以拉伸粘接带而使其扩张的状态维持借助粘接带(T)被支承于环状框架(F)的被加工物(W)的多个芯片(C)的间隔的方法,构成为:使保持于保持台(11)的被加工物与保持于框架保持单元(12)的环状框架沿铅直方向相对移动,来拉伸粘接带,在被加工物的多个芯片间形成间隔,在保持台上吸引保持粘接带以维持多个芯片的间隔,并使保持台与框架保持单元阶段性地返回到初始状态而解除粘接带的张力,并且利用加热单元
- 芯片间隔维持方法
- [发明专利]芯片间隔维持方法-CN201710769571.5有效
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原田成规;赵金艳
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株式会社迪思科
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2017-08-31
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2023-04-11
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H01L21/683
- 提供芯片间隔维持方法,即使是在被加工物上粘贴有不因加热而收缩的扩展片的情况下,也维持芯片的间隔被扩展的状态并防止产生因片材松弛而导致的芯片彼此的接触。该芯片间隔维持方法具有如下步骤:芯片间隔形成步骤,对片材(T2)进行扩展而在芯片之间形成间隔;以及片材收缩步骤,在实施了芯片间隔形成步骤之后,在维持着芯片之间的间隔的状态下对框架(F)与被加工物(W)之间的片材进行加热而在被加工物外周侧使拉伸了的片材收缩,该芯片间隔维持方法还具有在实施片材收缩步骤之前将多个热缩带(T3)粘贴在框架与被加工物之间的片材上的步骤,在片材收缩步骤中,对框架与被加工物之间的片材和带一同进行加热而使粘贴有带的区域的片材收缩。
- 芯片间隔维持方法
- [发明专利]三维半导体封装,以及用于其中的间隔芯片-CN200510007015.1无效
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福造幸雄
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恩益禧电子股份有限公司
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2005-01-31
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2005-08-03
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H01L25/065
- 在三维半导体封装中,逻辑电路芯片(36;60;90;118;144;172;178B)具有在其上表面上形成的多个上电极引脚,并且间隔芯片(44;70;98;126;152;180A;180B)贴装逻辑电路芯片上间隔芯片具有形成在其下表面上的多个下电极引脚,和形成在其上表面上并且电气连接到其各下电极引脚的多个上电极引脚。进行在逻辑电路芯片上贴装间隔芯片,从而使间隔芯片的下电极引脚结合到逻辑电路芯片的上电极引脚,以由此在其间建立电气连接。存储芯片(42;68;96;124;150A;178A;178C)贴装在间隔芯片上,并且具有形成在其表面上的多个电极引脚。进行在间隔芯片上贴装存储芯片,从而使存储芯片的电极引脚结合到间隔芯片的上电极引脚,以由此在其间建立电气连接。
- 三维半导体封装以及用于中的间隔芯片
- [发明专利]一种半导体器件-CN200710186578.0无效
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福造幸雄
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恩益禧电子股份有限公司
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2005-01-31
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2008-05-28
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H01L25/00
- 在该三维半导体封装中,逻辑电路芯片(36;60;90;118;144;172;178B)具有在其上表面上形成的多个上电极引脚,并且间隔芯片(44;70;98;126;152;180A;180B)贴装逻辑电路芯片上间隔芯片具有形成在其下表面上的多个下电极引脚,和形成在其上表面上并且电气连接到其各下电极引脚的多个上电极引脚。进行在逻辑电路芯片上贴装间隔芯片,从而使间隔芯片的下电极引脚结合到逻辑电路芯片的上电极引脚,以由此在其间建立电气连接。存储芯片(42;68;96;124;150A;178A;178C)贴装在间隔芯片上,并且具有形成在其表面上的多个电极引脚。进行在间隔芯片上贴装存储芯片,从而使存储芯片的电极引脚结合到间隔芯片的上电极引脚,以由此在其间建立电气连接。
- 一种半导体器件
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