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[发明专利]五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法-CN201610140129.1有效
发明人：张利斌;董立松;苏晓菁;韦亚一 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法。在该五级衍射光栅结构包括晶圆以及形成于晶圆上的光栅图形结构。光栅图形结构由光栅精细结构单元组成，光栅精细结构单元的宽度为一个光栅周期，所述光栅精细结构单元在宽度方向上等分为20个区域，每个区域上设置有第一图形结构1st或第二图形结构2nd；1st和2nd在光栅图形结构的宽度方向上按照不同顺序排列形成不同的光栅精细结构单元，所述光栅精细结构单元为第一光栅精细结构单元、第二光栅精细结构单元或第三光栅精细结构单元。该光栅结构能够有效提高光栅的衍射光强，增大光刻时在对准光栅之上涂覆材料及其厚度的可选择范围，降低对准不确定性范围，提高精确对准精度。
衍射光栅结构及其制备方法圆光对准

[发明专利]质谱同位素精细结构与超精细结构的模拟方法及装置-CN201811080451.5有效
发明人：汪泽;陈相峰;陈德华 -专利权人：山东省分析测试中心
申请日： 2018-09-17 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： G16C10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种质谱同位素精细结构与超精细结构的模拟方法及装置。其中，该模拟方法通过同位素矢量操作计算任一元素构成的分子式的同位素精细与超精细结构；其中，同位素矢量为质量矢量与丰度矢量的组合；质量矢量按照升序或降序排列，丰度矢量元素与质量矢量元素一一对应；建立了同位素元素簇矢量，提出了同位素精细结构的高效计算方法，并给出了指定质荷比同位素超精细结构的高效算法，用统一的算法实现了同位素精细结构与超精细结构的高效计算；发现矢量操作与“找零”方法内存消耗少、运算速度快、计算精度高，
同位素超精细结构矢量精细结构模拟方法及装置高效计算矢量操作矢量元素丰度同位素元素运算速度快分布计算高效算法降序排列内存消耗算法实现质荷比自定义升序找零质谱种质精细发现统一

[发明专利]利用精细结构信息的通道选择系统和方法-CN201680086215.7在审
发明人： L·M·利特瓦克;N·奥山 -专利权人：领先仿生公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： A61N1/36 文献下载
摘要：示例性声音处理器1)将音频信号划分为M个分析通道，2)生成与所述M个分析通道相对应的M个精细结构信号，其中包括在所述M个精细结构信号中的每个精细结构信号表示用于包括在所述M个分析通道中的不同分析通道的精细结构信息，以及3)基于所述M个精细结构信号，仅选择包括在所述M个分析通道中的N个分析通道，以用于在刺激帧期间呈现给患者，其中N小于M。
分析通道精细结构声音处理器通道选择信号表示音频信号帧期间刺激

[发明专利]碳类精细结构物群、碳类精细结构物聚集物、其利用以及其制造方法-CN200580011586.0有效
发明人：中山喜万;野坂俊纪;末金皇;长坂岳志;后藤俊树;土屋宏之;盐野启祐 -专利权人：独立行政法人科学技术振兴机构;大阪府;大阳日酸株式会社;大塚化学株式会社;日新电机株式会社;公立大学法人大阪府立大学
申请日： 2005-04-19 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：本发明提供具有由强相互作用而互相吸引的状态的多个碳类精细结构物聚集而成的聚集物，其长度为能够提高操作性和加工性的程度的长度。本发明的碳类精细结构物聚集物为多个碳类精细结构物聚集而成的聚集物，其各碳类精细结构物以相同的方向取向。
精细结构聚集利用及其制造方法

[发明专利]精细结构体的制造方法以及精细结构体的制造装置-CN202010685323.4在审
发明人：水町靖;多田一成;粕谷仁一 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种蚀刻速率优异，并能够提高生产率的精细结构体的制造方法以及精细结构体的制造装置。本发明的精细结构体的制造方法是通过进行蚀刻的精细结构体的制造方法，其特征在于，使用IAD(离子辅助沉积)装置(1)，将反应性气体导入该IAD装置(1)的腔室(2)内的等离子体源(7)并进行蚀刻。
精细结构制造方法以及装置

[发明专利]七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法-CN201610140991.2有效
发明人：张利斌;董立松;苏晓菁;韦亚一 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法。在该七级衍射光栅结构包括晶圆以及形成于晶圆上的光栅图形结构。光栅图形结构由光栅精细结构单元组成，光栅精细结构单元的宽度为一个光栅周期，所述光栅精细结构单元在宽度方向上等分为28个区域，每个区域上设置有第一图形结构1st或第二图形结构2nd；1st和2nd在光栅图形结构的宽度方向上按照不同顺序排列形成不同的光栅精细结构单元，所述光栅精细结构单元为第一至第七光栅精细结构单元的任一种。该光栅结构能够有效提高光栅的衍射光强，增大光刻时在对准光栅之上涂覆材料及其厚度的可选择范围，降低对准不确定性范围，提高精确对准精度。
衍射光栅结构及其制备方法圆光对准

[发明专利]仿生物结构的染料敏化太阳能电池光阳极及其制备方法-CN200910052884.4无效
发明人：张荻;朱申敏;顾佳俊;范同祥;胡晓斌 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2009-06-11 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： H01G9/048 文献下载
摘要：一种太阳能电池技术领域的仿生物结构的染料敏化太阳能电池光阳极及其制备方法，包括：基底层、生物精细结构材料层和光敏化剂层，其中：基底层位于最底部，生物精细结构材料层位于基底层之上，光敏化剂层位于生物精细结构材料层之上本发明通过结构和功能材料的耦合，能够得到良好光捕获性能并且保持分级精细结构的高吸收率的纳米材料，与单纯的二氧化钛相比，基于生物精细结构染料敏化太阳能电池电极的光捕获效率增加一倍以上，有望于作为电极广泛应用于太阳能领域
生物结构染料太阳能电池阳极及其制备方法

[发明专利]具有改进的用于确定时间精细结构参数的方法的耳蜗刺激系统-CN201910704766.0在审
发明人： M·塞戈维亚马丁内斯;J·斯科夫高;P·斯塔尔;K·党;A·韦杰特雷克 -专利权人：奥迪康医疗有限公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： A61N1/36 文献下载
摘要：本申请公开了具有改进的用于确定时间精细结构参数的方法的耳蜗刺激系统，该系统包括：变换器；电极阵列；窗口分析器，用于提供多个频谱样本；及用于估计采样的音频信号的全频率范围的时间精细结构参数的信号处理器，其中时间精细结构参数通过下述处理进行估计针对一组频谱样本估计该组频谱样本中的一个或多个频谱样本的能级差，其中所述一组频谱样本中的每一频谱样本具有围绕主要频谱样本的多个频率的范围内的频率；及基于所述一组频谱样本的每一频谱样本的能级差及窗口函数确定时间精细结构参数，及其中多个电极中的每一电极配置成基于时间精细结构参数提供电刺激。
频谱样本时间精细结构能级差能级信号处理器参数提供窗口函数电极配置电极阵列耳蜗刺激音频信号变换器电刺激分析器全频率电极采样申请改进

[发明专利]用于复制精细结构的母模及其制造方法-CN200480021741.2无效
发明人：杉元崇纪;托德·R·威廉姆斯;帕德里克·S·麦圭尔 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2004-07-21 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： H01J9/24 文献下载
摘要：本发明提供了包括金属支撑层(1)及精细结构图形(4)的母模(10)及其制造方法，所述精细结构图形由玻璃材料或陶瓷材料形成，其中所述图形支撑层由具有相对较低磨削速度的第一材料形成，并且所述精细结构图形由第二材料层形成
用于复制精细结构及其制造方法

[发明专利]制造精细结构化表面的方法-CN201180043016.5有效
发明人： E.阿兹特;E.克罗纳;P.W.德奥里维拉;E.德弗里姆萨姆;F.布希;D.厄本;R.施瓦姆;B.巴莱西;M.尼茨赫;H.斯佩克;C.穆勒 -专利权人：新型材料莱布尼兹研究所公益性有限责任公司;巴斯夫欧洲公司
申请日： 2011-07-06 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： B05D1/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于尤其是在塑料中制造精细结构化表面的方法，以及本发明涉及制造用于制造精细结构化表面的模具的方法。
制造精细结构表面方法

[发明专利]一种利用重力直接获取地下空间深部精细结构的方法-CN202310593235.5在审
发明人：唐小平;郭培虹;刘生荣;杨尚倍 -专利权人：中国地质调查局西安地质调查中心（西北地质科技创新中心）
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01V7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用重力直接获取地下空间深部精细结构的方法，包括：S1、获取布格重力异常数据；S2、利用滑动窗口数值偏离统计累加估算方法得到正则化向下延拓稳定系数；S3、获取布格重力异常傅里叶余弦级数；S4、利用自适应稳定正则化向下延拓算法，获取向下延拓断面；S5、根据向下延拓断面，获取高阶垂直微分差量；S6、通过组合低通滤波得到低频差量图；S7、对低频差量图进行深度校正，获取地下空间深部精细结构。本发明提供的利用重力直接获取地下空间深部精细结构的方法，解决了任意深度向下延拓技术的稳定性问题，以及包括层状结构、深部结构、小构造在内的地下空间精细结构分离问题，实现了基于重力直接获取地下空间精细结构与构造信息
一种利用重力直接获取地下空间精细结构方法

[发明专利]半导体测量装置及半导体测量方法-CN200680050908.7无效
发明人：山田惠三;高荣旭 -专利权人：株式会社拓普康
申请日： 2006-01-31 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种半导体测量装置，用电子束对形成有精细结构的半导体衬底的表面进行二维扫描，测量此时的衬底电流，从而能够评价复杂的精细结构。本发明的半导体测量装置的构成为，对半导体衬底照射电子束，根据由该电子束在所述半导体衬底感应出的衬底电流得到形成于所述半导体衬底的精细结构的评价值，其特征在于，该半导体测量装置包括评价单元，该评价单元根据将所述衬底电流的波形视为微分波形时的该衬底电流的波形，得到所述精细结构的评价值。
半导体测量装置测量方法

[发明专利]挠性模子、其制造方法以及制造精细结构的方法-CN200480024064.X无效
发明人：杉元崇纪 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2004-08-18 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： B32B27/40 文献下载
摘要：更具体地说，本发明涉及挠性模子、其制造方法以及制造精细结构的方法。本发明可用于制造各种精细结构诸如等离子体显示面板后板的隔肋。
模子制造方法以及精细结构

[发明专利]基本粒子精细结构背景干涉方法-CN200510067841.5无效
发明人：刁国文 -专利权人：刁国文
申请日： 2005-04-28 - 公布日： 2006-06-28 - 主分类号： G21K1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基本粒子精细结构背景干涉方法，目的在于人为干预超饱和中子衰变转移超饱和中子能和饱和中子逆衰变逆转移饱和中子能，通过“基本粒子精细结构背景干涉装置”简称“时光机”实施干预。
基本粒子精细结构背景干涉方法

[发明专利]光学组件和光学拾取装置-CN200410068436.0有效
发明人：太田达男;荒井则一;齐藤真一郎 -专利权人：柯尼卡美能达精密光学株式会社
申请日： 2004-07-09 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：本发明提供一种光学组件和包括该光学组件的光学拾取装置，其光学组件在保持高抗擦拭特性的同时，能保持高透光率，并还能获得基于一种精细结构的预定光学特性。根据本发明的一种光学组件，其包括上面形成有精细结构的第一光学表面和上面有没有形成精细结构的第二光学表面，其中在第一光学表面上的抗反射薄膜的层数设置成小于在第二光学表面上抗反射薄膜的层数。
光学组件拾取装置

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