“等离子体装置”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果16913075个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备-CN202210688694.7在审
发明人：乐卫平;刘涛;谢幸光 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本申请公开了复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备，复合式等离子体源系统包括电源装置、等离子体设备、第一分体式等离子体装置与电力分配装置。电源装置用于提供工作电力。第一分体式等离子体装置与等离子体设备连接。电力分配装置用于实现以下两个功能中的至少一个：基于工作电力为等离子体设备提供第一工作电力，以使等离子体设备进行第一等离子体工艺；以及，基于工作电力为第一分体式等离子体装置提供第二工作电力，电源装置与第一分体式等离子体装置形成第一分体式远程等离子体系统，以对等离子体设备进行第二等离子体工艺。
复合等离子体系统体式远程设备

[实用新型]复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备-CN202221537968.4有效
发明人：乐卫平;刘涛;谢幸光 -专利权人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本申请公开了复合式等离子体源系统与分体式远程等离子体设备，复合式等离子体源系统包括电源装置、等离子体设备、第一分体式等离子体装置与电力分配装置。电源装置用于提供工作电力。第一分体式等离子体装置与等离子体设备连接。电力分配装置用于实现以下两个功能中的至少一个：基于工作电力为等离子体设备提供第一工作电力，以使等离子体设备进行第一等离子体工艺；以及，基于工作电力为第一分体式等离子体装置提供第二工作电力，电源装置与第一分体式等离子体装置形成第一分体式远程等离子体系统，以对等离子体设备进行第二等离子体工艺。
复合等离子体系统体式远程设备

[发明专利]一种等离子体活化水制备装置和方法-CN202310882152.8在审
发明人：刘东平;刘国强 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体活化水制备装置和方法，涉及等离子体活化水制备领域，解决了现有技术中等离子体活化水制备装置对等离子体能量利用率低以及制备活化水效率较低的技术问题。本发明的等离子体活化水制备装置，包括待处理液体储存器、等离子体放电装置组件、冷水机。等离子放电装置组件用于在待处理液体表面产生等离子体，等离子体与水面直接接触、作用面积大，该装置通过实现在水的表面直接产生等离子体，可提高等离子体的能量利用率和气液传质效率，从而大大提高等离子体活化水的制备效率；而且由于等离子体直接处理，短寿命的氧和氮活性物种充分溶解到水中，提高了等离子体活化水的活性。
一种等离子体活化制备装置方法

[实用新型]微波等离子体辅助原子层沉积设备-CN202221851674.9有效
发明人：王东君;陈宇林;郭敏 -专利权人：英作纳米科技（北京）有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微波等离子体辅助原子层沉积设备，包括：微波等离子体发生器、等离子体扩散腔、真空反应室和反应源接口。微波等离子体发生器含有等离子体快速发生装置。微波等离子体发生器通过等离子体扩散腔与真空反应室相连通。等离子体扩散腔与真空反应室通过开合装置连接，通过该开合装置，可以方便样品取放样。本实用新型的微波等离子体辅助原子层沉积设备，能够提供微波辐照，提高等离子体的能量和密度，为原子层沉积的提供合适的能量，降低反应温度。本实用新型的微波等离子体辅助原子层沉积设备含有等离子体快速发生装置以及等离子体反应气体特殊脉冲进入模式，可以实现毫秒级的等离子体脉冲，大大缩短反应时间。
微波等离子体辅助原子沉积设备

[发明专利]等离子体洗手仪-CN202111626617.0在审
发明人：陈支通 -专利权人：深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： A47K7/04 文献下载
摘要：本公开涉及等离子体洗手仪，包括控制单元、感应装置、蓄水室、等离子体反应室、等离子液存储室，蓄水室与等离子体反应室之间连通，且蓄水室与等离子体反应室之间设有雾化装置，雾化装置用于将从蓄水室运输至等离子体反应室的液体汽化成气体，等离子体反应室与等离子液存储室连通，等离子体反应室设有等离子产生装置，等离子产生装置用于电离气体以获取等离子体液。本等离子体洗手仪可用于手部消毒。其可以放置在家里、办公室、大楼入口、医院、实验室等地方。而且由于等离子体液的作用，该洗手仪还具有治疗伤口、皮肤病等功效。
等离子体洗手

[发明专利]等离子体处理装置-CN200610058370.6无效
发明人：里吉务;山本浩司;田中勇一郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-03 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，在等离子体处理装置的处理室内的等离子体密度局部偏高的部位插入屏风部件，使等离子体失去活性，使等离子体密度均匀化。其特征在于，在等离子体处理装置(1)中，在处理室(3)内的等离子体密度局部偏高的部位上，设置使等离子体失去活性的屏风部件，使对被处理基板(G)的等离子体蚀刻率均匀化。
等离子体处理装置

[实用新型]一种液体瀑布式处理的介质阻挡低温等离子体装置-CN202020465416.1有效
发明人：余莉萍;沈中增;唐田田;窦凤玲;李玲玲 -专利权人：苏州敬天爱人环境科技有限公司
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子体技术领域，特别涉及一种液体瀑布式处理的介质阻挡低温等离子体装置，包括等离子体装置本体，等离子体装置本体的下表面固定设置有等离子体装置底板，等离子体装置底板的上表面焊接设置有等离子体装置主承轴等离子体装置主承轴采用不锈钢材料制成，本实用新型通过设计的等离子体介质阻挡器可在电子离开原子核时进行阻挡，使得电离的过程中离子中正负电荷总量相等，通过设计的等离子体介质阻挡控制按钮可有效对介质阻挡进行控制，等离子体低温调节器可有效使得离子体装置就需要在低温环境下进行，使得外层电子摆脱原子核的束缚成为自由电子稳定，通过设计的等离子体装置电源开关可有效控制等离子体装置开关。
一种液体瀑布处理介质阻挡低温等离子体装置

[发明专利]一种基于表面耦合诱导等离子体的冷链消毒装置及方法-CN202110287149.2在审
发明人：沈俊;高新强;张麟德;李振兴;莫兆军;李珂;王利晨;陈琪 -专利权人：中国科学院江西稀土研究院
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于表面耦合诱导等离子体的冷链消毒装置及方法，包括等离子体生成装置、等离子体稀释降温装置、等离子体消毒灭菌装置；所述等离子体稀释降温装置的一端与等离子体生成装置连接；所述等离子体稀释降温装置的另一端与等离子体消毒灭菌装置连接；利用表面耦合诱导等离子体，在常压低温的环境下，对冷冻冷藏货物进行消毒灭菌，特别是对冷链物流货物装卸、运输全过程实现消毒灭菌。
一种基于表面耦合诱导等离子体消毒装置方法

[发明专利]等离子体射流阵列发生装置及系统-CN202111325271.0在审
发明人：陈支通;白帆;唐天宇;杨广权 -专利权人：深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体射流阵列发生装置及系统，其中，等离子体射流阵列发生装置包括多个等离子体发生结构，等离子体发生结构用于产生等离子体，多个等离子体包括用于输出等离子体的第一出口，多个等离子体发生结构的第一出口朝向同一方向本发明是一种基于大气压冷等离子体发生器的等离子体射流阵列发生装置，根据情况可以设计不同的外壳，以实现局部的筒型和长方体型冷等离子体射流，以及可弯折的大面积均匀稳定的冷等离子体射流阵列发生系统。
等离子体射流阵列发生装置系统

[发明专利]一种等离子体理疗仪及其理疗方法-CN202110923014.0在审
发明人：杨武保 -专利权人：安世亚太科技股份有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体理疗仪，所述等离子体理疗仪包括等离子体发生装置、工作气体输入装置、液态活性物质雾化装置、理疗喷头；所述工作气体输入装置包括气源、气体流量控制器；所述等离子体发生装置包括放电电源、放电电极、所述放电电极之间形成的等离子体区，所述等离子体区分别与所述气源和等离子体气体管路连接；所述液态活性物质雾化装置与所述等离子体气体管路连接；所述理疗喷头与所述等离子体气体管路相连。本发明还公开了一种等离子体理疗仪的方法，通过等离子体的轰击、刻蚀、注入、活化等作用，等离子体理疗仪有望获得较传统理疗仪更佳的理疗效果。
一种等离子体理疗仪及其理疗方法

[发明专利]使用等离子体放电水的防疫系统以及将等离子体放电水雾化成液滴的喷嘴-CN202180021022.4在审
发明人：洪镛澈;李义宰;金刚逸 -专利权人：韩国核融合能源研究院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： A61L2/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用等离子体放电水的防疫系统以及喷嘴。使用所述等离子体放电水的防疫系统，包括：等离子体放电水生成装置；被处理水供给部，用于向所述等离子体放电水生成装置供给被处理水；等离子体放电水吐出部，连接于所述等离子体放电水生成装置的一侧；以及喷嘴，与所述等离子体放电水生成装置连接成可互通流体，由所述等离子体放电水吐出部供给等离子体放电水，所述喷嘴将所供给的等离子体放电水雾化成液滴后喷洒。
使用等离子体放电防疫系统以及水雾化成喷嘴

[发明专利]等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法-CN200980138949.5有效
发明人：冲野晃俊;宫原秀一 -专利权人：冲野晃俊;宫原秀一
申请日： 2009-09-03 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法，其中，可形成室温以下，特别是零度以下的等离子体，并且在低温至高温的较宽的温度范围内，能够更正确地控制等离子体温度。该装置包括使等离子体用气体变为等离子体的等离子体产生部(40)；等离子体用气体温度控制部(30)，其控制供给等离子体产生部(40)的等离子体用气体的温度，控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部(40)中产生的等离子体的温度。
等离子体温度控制装置方法

[发明专利]一种耦合微波引弧的滑动电弧等离子体发生器装置-CN202210453120.1在审
发明人：刘成周;刘亮;林启富;马文东;江怡满;朱梁 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种耦合微波引弧的滑动电弧等离子体发生器装置，主要包括三级等离子体发生器装置：高压单电极等离子体发生器、微波等离子体发生器和滑动电弧等离子体发生器，高压单电极等离子体发生器和微波等离子体发生器配合使用，为滑动电弧等离子体发生器提供引弧，减少滑动电弧等离子体的阻抗变化范围，进而降低滑动电弧等离子体驱动电源空载与带载电压之间的差值，使得滑动电弧等离子体发生器电极之间的距离得以增加，从而产生大功率的滑动电弧等离子体，因此本发明的耦合微波引弧的大功率滑动电弧等离子体发生器装置可以产生尺寸大、温度高的等离子体。
一种耦合微波滑动电弧等离子体发生器装置

[实用新型]一种食用菌棒输送式等离子体杀菌除卵设备-CN202122385481.0有效
发明人：沈振兴;樊灏;孙健;杨柳;田兴武;燕党平 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种食用菌棒输送式等离子体杀菌除卵设备，包括支撑装置、等离子体发生装置和传输装置；等离子体发生装置和传输装置设置在支撑装置上，等离子体发生装置用于在高频交流电压作用下放电产生等离子体；传输装置用于传输食用菌棒，食用菌棒在传输装置上传输时位于等离子体发生装置产出的等离子体覆盖范围内。本实用新型采用等离子体发生装置产生等离子体，利用等离子体对食用菌棒进行消毒杀菌，能耗低、成本低，且不会造成二次污染。
一种食用菌输送等离子体杀菌设备

[发明专利]等离子体处理系统中的等离子体限制结构-CN200980150203.6有效
发明人：艾利克·哈德森;安德里亚斯·费舍尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2009-12-16 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：提供了一种配置为用于在衬底的等离子体处理中限制等离子体处理室中的等离子体的可移动等离子体限制结构。该可移动等离子体限制结构包括配置为环绕该等离子体的可移动面向等离子体结构。该可移动等离子体限制结构还包括可移动导电结构，该可移动导电结构设置于可移动面向等离子体结构的外部且配置与所述可移动面向等离子体结构作为单个装置展开和收缩以促进该衬底的处理。可移动导电结构在等离子体处理中射频(RF)接地。在等离子体处理中可移动面向等离子体结构配置于等离子体和可移动导电结构之间以便在等离子体处理中来自于等离子体的RF流经由面向等离子体结构流向可移动导电结构。
等离子体处理系统中的限制结构