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[发明专利]高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置-CN201210461279.4无效
发明人：佐佐木和男;里吉务 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置，高频天线电路能够抑制匹配电路的发热，而且能够提高具备分割天线的感应耦合等离子体处理装置的功率效率。高频天线电路用于在感应耦合等离子体处理装置中、在处理衬底的处理室内生成感应耦合等离子体，该高频天线电路具有：等离子体生成天线，其用于在处理室内生成等离子体；高频电源，其对等离子体生成天线提供高频电力；匹配电路，其存在于高频电源与等离子体生成天线之间；多个分割天线，其构成等离子体生成天线，被分配通过匹配电路之后的高频电力；以及并联谐振电容电路，其被设置成与多个分割天线中的各个分割天线并联。
高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置

[发明专利]具有成形工件夹具的环形等离子体处理装置-CN201680036668.9在审
发明人： W·霍尔伯;R·J·巴斯内特 -专利权人：普拉斯玛比利提有限责任公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置包括环形形状的等离子体容器，环形形状的等离子体容器包括处理室。磁芯围绕环形形状的等离子体容器的一部分。具有电连接到的磁芯的输出的RF电源向磁芯通电，由此在等离子体室中形成环形等离子体回路放电。工件夹具放置于环形形状的等离子体容器中并且包括至少一个面。形成等离子体引导结构的形状和尺寸以便将等离子体的一段约束在环形等离子体回路中，以基本上垂直于至少一个面的法向而行进。
具有成形工件夹具环形等离子体处理装置

[发明专利]等离子体氮化处理中的腔室内的前处理方法、等离子体处理方法、和等离子体处理装置-CN200880017976.2有效
发明人：佐野正树;石塚修一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-05-27 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： H01L21/318 文献下载
摘要：本发明提供等离子体氮化处理中的腔室内的前处理方法、等离子体处理方法、和等离子体处理装置。该等离子体氮化处理中的腔室内的前处理方法，在等离子体氮化处理中进行形成在基板上的氧化膜的氮化处理之前，进行腔室内的前处理。该等离子体氮化处理中的腔室内的前处理方法包括：向腔室内供给含氧的处理气体，进行等离子体化，在腔室内生成氧化等离子体的工序(步骤1)；和向腔室内供给含氮的处理气体，进行等离子体化，在腔室内生成氮化等离子体的工序
等离子体氮化处理中的室内方法装置

[发明专利]一种等离子体活性水发生装置-CN202310106042.2在审
发明人：周德胜;唐井峰;魏立秋;于达仁 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体活性水发生装置，涉及等离子体活性水领域，所述等离子体活性水发生装置包括：气水混合可调供应装置、反应净化腔室和等离子体发生电极组；反应净化腔室的内部设置至少一组等离子体发生电极组；等离子体发生电极组的两端固定在反应净化腔室的侧壁上；等离子体发生电极组的两端分别连接第一电压输出端和第二电压输出端；第二电压输出端的电压大于第一电压输出端的电压；气水混合可调供应装置用于向等离子体发生电极组喷洒不同气水流量不同气水比例的气水混合物；气水混合物经过等离子体发生电极组放电后，生成等离子体活性水。本发明能实现即时生产、即时使用且活性可调的等离子体活性水的制备。
一种等离子体活性水发装置

[实用新型]一种热等离子体疾病治疗装置-CN201620372805.3有效
发明人：王雨蓬;李毅;王靖宇;杨朔;王福金;王雨勃;张涛;杨金华;杨锡信;赵国柱;王学东;王力克;王兴儒;殷晓莅 -专利权人：烟台海灵健康科技有限公司
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种热等离子体疾病治疗装置，包括相连的控制系统和至少一套电源系统，控制系统和电源系统分别连接并控制介质气调制系统、至少一套冷却系统、至少一套热等离子体发生器、至少一套等离子体处理装置、等离子体治疗舱、检测反馈系统和尾气处理系统，所述介质气调制系统连接热等离子体发生器，所述冷却系统设置在热等离子体发生器上，热等离子体发生器与等离子体处理装置相连，等离子体处理装置与等离子体治疗舱相连，等离子体治疗舱与尾气处理系统相连
一种等离子体疾病治疗装置

[发明专利]一种大气等离子体射流加工对刀方法-CN201510771276.4在审
发明人：王波;王骏;苏星;吴言功;张鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-11-12 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： B23K10/00 文献下载
摘要：一种大气等离子体射流加工对刀方法，涉及精密光学加工领域。解决了大气等离子体射流的对刀问题。该方法包括：步骤一、组装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤二、安装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤三、等离子体射流发射装置发射等离子体射流，调节机床使等离子体射流发射装置与通孔发生相对运动，压强传感器记录等离子体射流产生压强数据，机床控制系统记录大气等离子体射流加工对刀装置的X轴向运动距离和Y轴向运动距离，并根据压强数据、X轴向运动距离和Y轴向运动距离获得X轴方向射流位置X0和Y轴方向射流位置Y0；步骤四、确定等离子体射流中心位置坐标
一种大气等离子体射流加工方法

[发明专利]一种适用于狭小空间焊接及微区等离子体的光谱诊断装置-CN202310115960.1在审
发明人：蔡创;余杰;刘永洪;谢佳;黄嘉森 -专利权人：西南交通大学
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：一种适用于狭小空间焊接及微区等离子体的光谱诊断装置，包括等离子体采集装置、三维移动装置和固定支架，等离子体采集装置包括等离子体收集管道，伞端保护罩，布置于等离子体收集管道后端的光谱仪探头固定舱，设置于等离子体收集管道内，用于保护光谱仪探头的保护镜片和向等离子体收集管道输送气体的送气舱；三维移动装置用于安装等离子体采集装置，实现等离子体采集装置在三维空间内的移动；固定支架用于将三维移动装置固定于焊接机器人上，并调整三维移动装置相对于焊接机器人的位置和角度本发明光谱诊断装置可避免焊接烟尘对等离子体采集的影响和焊接飞溅损坏光谱仪探头，实现狭小空间内部以及微区的等离子体检测。
一种适用于狭小空间焊接等离子体光谱诊断装置

[发明专利]具有直接出口环状等离子体源的等离子体处理系统-CN201580066116.8有效
发明人： D·卢博米尔斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-11-18 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：等离子体处理系统包括处理腔室及等离子体源，该等离子体源在等离子体腔中产生等离子体。该等离子体腔围绕环轴是实质对称的。该等离子体源在该等离子体腔的第一轴向侧上限定多个出口孔。由该等离子体所产生的等离子体产物在轴向方向上通过该多个出口孔从该等离子体腔朝该处理腔室传递。一种等离子体处理的方法，包括以下步骤：在实质环状的等离子体腔内产生等离子体以形成等离子体产物，该实质环状的等离子体腔限定环轴，及通过多个出口开口向处理腔室将等离子体产物直接分布进处理腔室中，该多个出口开口实质在方位上分布于该等离子体腔的第一轴向侧周围
具有直接出口环状等离子体处理系统

[发明专利]等离子体流生成方法、等离子体处理方法、等离子体发生装置和等离子体处理装置-CN201180024693.2无效
发明人：鹭坂圭亮;野口义文 -专利权人：日本磁性技术株式会社
申请日： 2011-04-20 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供使利用转动等离子体进行的等离子体处理稳定且可以控制、并可以提高等离子体处理质量的等离子体流生成方法、等离子体处理方法、等离子体发生装置和使用它的等离子体处理装置。利用该频率可变，可以使被分割成4个的转动角区域中的等离子体的转动速度不同。由于等离子体（P2、P4）的周向转动速度比等离子体（P1、P3）快，所以可以照射边描绘圆轨道（C）边从等离子体（P1）到（P2）、（P3）、（PB4）周期性变速转动的转动等离子体，可以在第一象限（Z1）
等离子体生成方法处理发生装置

[实用新型]一种等离子体裂解煤制乙炔反应装置-CN201520906016.9有效
发明人：黄峥嵘;熊新阳;慕龙;徐勇;李自兵 -专利权人：新疆兵团现代绿色氯碱化工工程研究中心（有限公司）;新疆天业(集团)有限公司
申请日： 2015-11-16 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体裂解煤制乙炔反应装置，包括等离子体炬A、煤粉注入段、等离子体炬B、等离子体炬座、反应器，等离子体炬A设置于煤粉注入段顶端，等离子体炬座上端联接煤粉注入段，下端联接反应器；等离子体炬B布置于等离子体炬A和煤粉注入段区域的下方，且沿反应器通道径向设置若干个，轴向设置若干层。本实用新型提供了一种等离子体裂解煤制乙炔反应装置，能够解决反应通道结焦和能耗高的问题，提高煤粉转化率和乙炔产率。
一种等离子体裂解乙炔反应装置

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法-CN201810408710.6在审
发明人：马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 -专利权人： FD3M公司
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线。本申请还公开了一种金刚石的合成方法，采用等离子体天线作为耦合天线，通过微波等离子体化学气相沉积方法合成金刚石。本申请还公开了微波等离子体化学气相沉积装置在单晶金刚石合成中的应用。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线进行耦合，可以极大的提高天线的效率。
微波等离子体化学气相沉积等离子体天线金刚石合成耦合天线申请单晶金刚石耦合天线应用

[发明专利]一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置-CN202211408479.3在审
发明人：何桐桐;郑怡泽;郑跃胜 -专利权人：福州大学
申请日： 2022-11-10 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于绝缘材料表面改性的等离子体射流装置。包括：等离子体发生装置、等离子体电源、气体混合装置和三维移动平台。气体混合装置将氦气、氩气和反应媒质TEOS混合，通入等离子体发生装置的介质管中；等离子体电源提供高压激励，介质管内产生等离子体射流；需处理的绝缘材料由三维移动平台控制在等离子体射流下方匀速移动，使材料整个表面得到均匀处理本发明克服现有等离子体材料处理装置的缺陷，使得氦气和氩气化学特性互补，提高活性粒子产生效率，从而提高绝缘材料处理效果。
一种用于绝缘材料表面改性等离子体射流装置

[发明专利]空调室内机、空调器及控制方法-CN202010355849.6在审
发明人：张军 -专利权人：广东美的制冷设备有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： F24F1/0076 文献下载
摘要：本发明公开了一种空调室内机、空调器及控制方法，其中空调室内机包括机体，机体内设置有等离子体装置，等离子体装置设有朝向机体内侧的电极，且电极的连线与出风口平行。工作时，等离子体装置通过电极放电产生等离子体，等离子体呈离子状态而形成离子风，在离子风的作用下，等离子体能够朝向调室内机的内部方向扩散，采用电极的连接与出风口平行的结构，等离子体向机体内部传播时，正离子或负离子不经过邻近的电极，从而减少正离子和负离子的中和数量，使得等离子体扩散距离更远，这样利用等离子体能够有效杀灭空调室内机内部的细菌，提高杀菌效率，杀菌效果显著，有效避免细菌滋生。
空调室内空调器控制方法

[实用新型]空调室内机和空调器-CN202020696868.0有效
发明人：张军 -专利权人：广东美的制冷设备有限公司;美的集团股份有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： F24F1/0076 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空调室内机和空调器，其中空调室内机包括机体，机体内设置有等离子体装置，等离子体装置设有朝向机体内侧的电极，且电极的连线与出风口平行。工作时，等离子体装置通过电极放电产生等离子体，等离子体呈离子状态而形成离子风，在离子风的作用下，等离子体能够朝向调室内机的内部方向扩散，采用电极的连接与出风口平行的结构，等离子体向机体内部传播时，正离子或负离子不经过邻近的电极，从而减少正离子和负离子的中和数量，使得等离子体扩散距离更远，这样利用等离子体能够有效杀灭空调室内机内部的细菌，提高杀菌效率，杀菌效果显著，有效避免细菌滋生。
空调室内空调器

[实用新型]自适应可触摸等离子体装置-CN202121880692.5有效
发明人：杨静慧;赵勇;张秋俊;胡逢亮;巨姗 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种自适应可触摸等离子体装置，包括电源装置、等离子体发生装置和自适应控制装置，等离子体发生装置连接电源装置和自适应控制装置；电源装置用于输出电压至等离子体发生装置，自适应控制装置用于采集等离子体发生装置的人体接触电流，根据人体接触电流与预设的人体安全电流阀值进行对比，并根据对比结果调节电源装置的输出电压，以使等离子体发生装置的人体接触电流处于安全阀值范围内，有效确保人体接触等离子体的安全性。
自适应触摸等离子体装置