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- [发明专利]有机薄膜晶体管-CN201710324191.0有效
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林冠峄;唐文忠;陈柏炜;许毓麟
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元太科技工业股份有限公司
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2017-05-10
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2021-12-03
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H01L51/05
- 本发明公开了一种有机薄膜晶体管,包含基板、源极/漏极层、第一缓冲层、半导体层、栅极绝缘层与栅极。源极/漏极层位于基板上。源极/漏极层具有源极区与漏极区。第一缓冲层位于源极区与漏极区之间,且第一缓冲层覆盖至少部分的源极区与至少部分的漏极区。半导体层位于源极/漏极层与第一缓冲层上。第一缓冲层位于半导体层、源极区、漏极区与基板之间。栅极绝缘层覆盖源极/漏极层与半导体层。栅极位于栅极绝缘层上,且栅极绝缘层的一部分位于栅极与半导体层之间。第一缓冲层可用来填补源极区与漏极区之间的空间,避免半导体层形成在源极区与漏极区的楔形底切结构上,使半导体层具有均匀的厚度,能提升有机薄膜晶体管的电性稳定性。
- 有机薄膜晶体管
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