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[实用新型]原油管道蜡沉积与清管一体化模拟装置-CN201720432040.2有效
发明人：黄启玉;李卫东;王文达;赵旗;董雪 -专利权人：中国石油大学(北京)
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种原油管道蜡沉积与清管一体化模拟装置，包括环道系统和清管实验系统；该环道系统含有依次连接成闭合回路的油罐(1)、蜡沉积管段(9)和齿轮油泵(6)，蜡沉积管段(9)能够模拟原油在运输过程中的蜡沉积过程，蜡沉积管段(9)能够被卸下；该清管实验系统能够测量蜡沉积管段(9)内壁的蜡沉积物强度和清蜡阻力。该原油管道蜡沉积与清管一体化模拟装置采用环道系统获得输油管道内真实的蜡沉积物，采用清管实验系统进行原油管道通球清蜡的室内模拟。能够研究含蜡原油在管输条件下的蜡沉积规律和蜡层性质，以及清管过程蜡层破坏规律，进而探究清管过程与蜡沉积过程、蜡沉积物性质之间的内在联系。
原油管道沉积一体化模拟装置

[发明专利]等离子体化学气相沉积系统及方法-CN201811069708.7有效
发明人：孙元成;宋学富;杜秀蓉;张晓强;钟利强;杨晓会 -专利权人：中国建筑材料科学研究总院有限公司
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： C23C16/513 文献下载
摘要：本发明是关于一种等离子体化学气相沉积系统。该沉积系统包括等离子体沉积装置，该等离子体沉积装置包括等离子体炬和沉积室。该沉积系统还包括：尾气循环装置、新鲜气体供给装置和在线监控装置，该尾气循环装置一端连接于沉积室的排气口，另一端连接于等离子体炬的进气口；该新鲜气体供给装置，连接于等离子体炬的进气口；该在线监控装置用于实时检测气体组分、温度、沉积室压力及沉积基体温度。本发明还提出了一种等离子体化学气相沉积方法。本发明方法将等离子体化学气相沉积系统排放的气体经简单处理后进行气体循环使用，克服现有技术气体消耗较大的问题，大大降低气体成本，同时保证沉积系统的稳定性。
等离子体化学沉积系统方法

[发明专利]一种真空感应化学气相沉积炉-CN202110372054.0有效
发明人：于方;张建宏;周国达;王姗姗;郭秋艳;孟爽;刘铎;曹月 -专利权人：锦州同创真空冶金科技有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空感应化学气相沉积炉，涉及化工设备技术领域，包括炉体、真空系统和充气系统，所述炉体内设置有加热室，所述加热室外侧设置有感应加热装置，所述加热室内设置有沉积室，所述沉积室与所述充气系统连通，所述加热室与所述炉体之间为真空室，所述加热室和所述真空室分别通过管路与所述真空系统连通。本发明将真空室和沉积室设置成两个相互独立的结构，真空室和沉积室不相通，沉积气体仅通入沉积室，不仅减少了沉积气体的浪费，还便于控制沉积室内沉积气体的压力和密度；真空系统分别对真空室和沉积室进行抽真空，沉积室内排出的污染性废气可以直接排出炉体之外
一种真空感应化学沉积

[发明专利]一种碲化镉太阳能电池的连续生产装备-CN202111233770.7有效
发明人：罗润;彭寿;周冬;赵雷;樊建平;东冬冬;青汉森;王磊;李甍娜;潘锦功;蒋猛;傅干华 -专利权人：成都中建材光电材料有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明属于太阳能电池生产设备技术领域，公开了一种碲化镉太阳能电池的连续生产装备，包括沉积系统和退火系统；所述沉积系统用于在真空环境下为玻璃进行碲化镉沉积；所述退火系统与沉积系统连通，用于在非真空环境下为沉积碲化镉后的玻璃进行退火；所述沉积系统和退火系统之间设有第一过渡腔；所述退火系统设有气体过滤设备。本发明将沉积和退火两个制程工序实现集成，有效提高工艺效率、降低生产成本；并且利用气体过滤设备保证退火条件，确保退火效果。
一种碲化镉太阳能电池连续生产装备

[发明专利]使用噪声消除器的沉积系统及其控制方法-CN200610000350.3有效
发明人：黄珉婷 -专利权人：三星SDI株式会社
申请日： 2006-01-06 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：沉积系统及其控制方法利用噪声消除器消除在测量沉积率的过程中产生的噪声的影响，以精确地控制沉积率，并获得理想厚度的薄膜。沉积系统包括沉积设备。沉积率传感器测量沉积设备的沉积率。噪声消除器消除所测量的沉积率的噪声成分。能量供给单元根据噪声消除器的输出调整提供给沉积设备的能量。
使用噪声消除沉积系统及其控制方法

[发明专利]一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置-CN202110069512.3在审
发明人：王剑;邹睿卿;唐健斌 -专利权人：西华大学
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种电沉积装置，尤其涉及一种消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置，其包括送料系统、间距调节系统、电沉积槽系统和阴极系统，其特征在于：送料系统由滚轮夹具、阳极和固定模块组成；间距调节系统由横向度量尺和可视化移动模块组成；电沉积槽系统由电沉积槽、电沉积槽柱、红外发射器和红外接收器组成；阴极系统由避震器、线性马达、固定夹具和阴极组成。本发明设计的消泡、调距和实时送料的电沉积革新装置不仅能及时清除阴极表面的气泡以提高电沉积效率和电沉积涂层质量，而且可实现阴阳极间距实时可调以获得具有特殊要求的结构梯度涂层，同时可对消耗的阳极进行实时补充以保障稳定的阴阳极面积比和稳定的电沉积溶液离子浓度
一种实时沉积革新装置

[发明专利]薄膜沉积设备及其镀膜方法、真空镀膜机-CN202111081911.8在审
发明人：刘伟基;冀鸣;易洪波;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种薄膜沉积设备及其镀膜方法、真空镀膜机，所述薄膜沉积设备包括：设于真空室内的电子束热蒸发系统和磁控溅射系统；其中，电子束热蒸发系统设于工件盘的下部，磁控溅射系统设于工件盘的上部；工件盘用于放置被镀膜的基片；电子束热蒸发系统用于通过热蒸发方式对基片的下表面进行薄膜沉积；磁控溅射系统用于通过溅射方式对基片的上表面进行薄膜沉积；在镀膜过程中，工件盘转动基片，电子束热蒸发系统在第一真空状态下对基片的下表面进行薄膜沉积，磁控溅射系统在第二真空状态下对基片的上表面进行薄膜沉积；该技术方案，在一个工序中分别完成薄膜沉积主要工序和增透薄膜工艺组合流程，从而简化了薄膜沉积工序，提高了薄膜沉积效率。
薄膜沉积设备及其镀膜方法真空镀膜

[发明专利]电沉积系统-CN202211510474.1在审
发明人：沈亦佳;罗志福;梁积新;于宁文;吴宇轩 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种电沉积系统。电沉积系统包括：电沉积液容器，用于盛放具有放射性的电沉积液；阳极支撑件，设置于电沉积液容器上并部分覆盖电沉积液容器的开口，阳极支撑件用于支撑电沉积系统的阳极；阴极支撑装置，设置于电沉积液容器的上方，用于支撑多个阴极其中，电沉积容器、阳极支撑件以及阴极支撑装置设置于腔室内，电源设置于腔室外。本发明的实施例提供的电沉积系统，将电沉积容器、阳极支撑件以及阴极支撑装置设置在腔室内，以防止电沉积液对操作人员造成的损害。
沉积系统

[发明专利]用于沉积的监控系统与操作该系统的方法-CN201580068260.5有效
发明人：爱德华·W·布迪亚图;马耶德·A·福阿德;拉尔夫·霍夫曼;托马斯·诺瓦克;托德·伊根;梅迪·瓦泽-艾拉瓦尼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-12-15 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种监控与沉积控制系统以及该系统的操作方法包含：沉积腔室，用于在基板上沉积材料层；传感器阵列，用于在沉积期间监控在材料层层厚度改变的材料层沉积；及处理单元，用于根据在沉积期间层厚度的改变来调整沉积参数。
用于沉积监控系统操作方法

[实用新型]一种硒化锌制备设备-CN202320774025.1有效
发明人：李广敏;张华芹;张冬翔;韩磊 -专利权人：上海韵申新能源科技有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硒化锌制备设备，包括气相沉积炉，气相沉积炉包括炉体、上炉盖和下炉盖，上炉盖、炉体和下炉盖围设形成炉腔，炉腔内设有坩埚、沉积室、保温层，气相沉积炉连接加热系统、传动系统、抽气系统、进气系统和冷却水循环系统，加热系统用于加热气相沉积炉内温度至气相沉积温度；传动系统用于支撑整套设备和驱动所述下炉盖升降；抽气系统用于对气相沉积炉炉腔内抽真空和保持真空度；进气系统用于原料气体的混合以及气相沉积炉的进料；冷却水循环系统用于冷却气相沉积炉的外表面
一种硒化锌制备设备

[发明专利]纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备-CN201110272077.0有效
发明人：马科锋;陈华;孙爱武 -专利权人：南通晶科超膜材料有限公司
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于纳米级高精度在线控制的热丝化学气相薄膜沉积生长设备装置，该设备除了传统的沉积腔体外置安装相连的真空系统、气路系统、电源控制系统外，新设计在沉积腔体内组合安装纳米级高精度伺服系统精密控制距离、纳米级高精度薄膜沉积生长厚度与速度，薄膜形态形貌监控系统及宽范围的沉积台温度控制系统。本发明纳米级高精度控制热丝化学气相沉积生长薄膜材料设备可以在线纳米级高精度控制位置与薄膜沉积生长速度与形态。通过位置和温度的精密控制，让热丝化学气相薄膜沉积生长始终处于最优状态，如最快的沉积速度与最小的缺陷等。
纳米高精度控制化学沉积生长薄膜材料设备

[发明专利]喷射成形硅铝合金的降温系统及降温方法-CN201510678129.2有效
发明人：张豪;张捷;马万太 -专利权人：江苏豪然喷射成形合金有限公司
申请日： 2015-10-20 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： B22F3/115 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷射成形硅铝合金的降温系统及降温方法，该系统由第一级的沉积表面冷却降温系统和第二级的沉积室冷却降温系统；沉积表面冷却降温系统为通过管路依次连接的气体供应系统、气体冷却装置和喷管；沉积室冷却降温系统由吸热装置本发明采用双级降温方法，解决喷射成形过程中沉积室及沉积表面温度过高而降低硅铝颗粒的凝固速度问题，克服了现有技术的冷却效率低以及不能对沉积表面直接冷却的不足。
喷射成形铝合金降温系统方法

[发明专利]一种多功能海底通量及沉积物原位采样装置-CN201410181903.4有效
发明人：李学刚;宋金明;袁华茂;李宁;段丽琴 -专利权人：中国科学院海洋研究所
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明涉及海洋监测技术领域，具体地说是一种多功能海底通量及沉积物原位采样装置。包括外部支架系统、无扰动沉积物原位采样装置、沉积物通量培养装置、多参数传感器测量装置、海水定时采样装置、挂钩及回收系统，其中沉积物通量培养装置通过液压杆I悬挂于外部支架系统上，所述无扰动沉积物原位采样装置设置于沉积物通量培养装置的底部，并上端与沉积物通量培养装置铰接、通过液压杆II与外部支架系统连接，所述海水定时采样装置和回收系统设置于外部支架系统上，所述多参数传感器测量装置固定在沉积物通量培养装置的上部，所述挂钩设置于外部支架系统的顶部本发明结构简单、应用广泛，同时获得无扰动的监测原位沉积物。
一种多功能海底通量沉积物原位采样装置

[发明专利]用于杜兰桥量子约瑟夫森结器件的生产价值制造的集群工具-CN202080076619.4在审
发明人： S·比德尔;S·霍姆斯;李宁;D·萨达纳 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01L39/24 文献下载
摘要：沉积系统包括沉积源和设置在沉积源的沉积路径内的扫描台。扫描台包括支撑平台和机械致动器，支撑平台配置成在其上支撑晶片，机械致动器耦接到支撑平台。机械致动器被配置成相对于沉积源平移支撑平台。沉积系统包括接近掩模，接近掩模设置在沉积源与扫描台之间的沉积源的沉积路径内，接近掩模限定缝隙。沉积系统包括与扫描台通信的控制器，该控制器被配置成控制机械致动器以相对于缝隙平移晶片，使得沉积角度保持基本上恒定。在操作中，接近掩模防止具有不与缝隙对准的轨迹的沉积源材料接触晶片。
用于杜兰桥量子约瑟夫器件生产价值制造集群工具

[发明专利]包含将沉积腔室与处理腔室分开的隔离区域的处理系统-CN201710997020.4有效
发明人： K·杰纳基拉曼;A·B·马利克;H·K·波内坎蒂;M·斯里拉姆;A·T·迪莫斯;M·斯里尼瓦桑;J·C·罗查-阿尔瓦雷斯;D·R·杜波依斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-11-03 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了包含将沉积腔室与处理腔室分开的隔离区域的处理系统。本文描述一种用于在处理系统中处理基板的设备和方法，所述处理系统包含沉积腔室、处理腔室以及隔离区域，所述隔离区域将所述沉积腔室与所述处理腔室分开。所述沉积腔室将膜沉积在基板上。所述处理腔室从所述沉积腔室接收所述基板，并且利用膜特性更改装置来更改沉积在所述沉积腔室中的所述膜。提供了根据以上实施例以及其他实施例的处理系统和方法。
包含沉积处理分开隔离区域系统