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[发明专利]射频阴极中和器-CN202110085599.3有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频阴极中和器，包括：电离腔室，靶材，维持极，发射极，以及磁铁组件；靶材通过第一绝缘部件设置在电离腔室底部，维持极和发射极设于电离腔室顶部，靶材连接射频电源，磁铁组件向电离腔室提供磁场；在工作中，向电离腔室通入工作气体，利用磁铁组件产生的磁场和射频电源输出的射频电磁波对工作气体进行电离产生等离子体；维持极和发射极用于分离等离子体中的正离子和负电子，并将负电子输出；该技术方案，使用了电容性射频驱动的方式驱动中和器，射频负载面对地直流绝缘，对地等效为电容，具有更高匹配效率，设备结构更加简单；而且通过引入磁场和射频电共同作用，使得等离子体更加活泼，也提高了电离效率。
射频阴极中和

[发明专利]射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备-CN202111638917.0有效
发明人：冀鸣;蔡雁萍;刘伟基;梁伟明;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H04B1/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备；所述方法包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值；该技术方案，实现了发射极电流和射频功率的同步匹配调整，保证了射频中和器输出稳定而不灭掉，提升了离子源使用的稳定性。
射频中和功率调整方法装置设备

[发明专利]镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备-CN202211743784.8有效
发明人：冀鸣;郭一鸣;裴宇辉;刘伟基;秦振江;易洪波;赵刚 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜换层判停方法、装置及镀膜控制设备，所述方法包括：获取目标产品的镀膜膜层对应的目标厚度；根据镀膜速率计算所述镀膜膜层当前时刻已镀膜的估计厚度；当所述估计厚度接近于所述目标厚度时，根据所述目标产品的实时透射率对所述估计厚度进行修正获得当前膜层已镀膜的实际厚度；根据所述目标厚度、实际厚度以及所述镀膜速率计算换层判停时间；在所述换层判停时间到达后输出换层判停指令；该技术方案，在镀膜厚度临近目标厚度时通过利用估计厚度来修正计算出镀膜膜层当前已镀膜的真实厚度，从而可以得到更加准确的换层判停时间，能够提升多层镀膜时的换层判停精度，提升镀膜质量。
镀膜换层判停方法装置控制设备

[发明专利]射频电离装置、射频中和器及其控制方法-CN202111670950.1有效
发明人：刘伟基;吴秋生;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频电离装置、射频中和器及其控制方法；所述射频电离装置，应用于射频中和器，包括：电离腔室以及射频线圈；所述电离腔室的侧壁内置有螺旋通道；所述射频线圈为螺旋形状设计，且结构与所述螺旋通道结构一致；所述射频线圈通过螺旋方式由所述电离腔室的一端安装进入所述螺旋通道；所述射频线圈的两端连接射频线；上述技术方案，通过在电离腔室的侧壁内置螺旋通道，射频线圈被牢固地固定在螺旋通道内，射频使用效率更高；降低了氧化几率，提升射频中和器的使用效果。另外，通过射频中和器控制方法，降低了射频中和器启动和调节过程的操作复杂性，提升了射频中和器的控制效率。
射频电离装置中和及其控制方法

[发明专利]中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器-CN202110085518.X有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种中空阴极管启动方法、装置及中空阴极中和器，所述方法包括：向中空阴极管导入工作气体；启动维持电源，向中空阴极管输入维持电流；对所述中空阴极管的头部位置进行持续加热；当所述中空阴极管的头部位置的温度满足热电子输出时，控制温度调整至设定温度值；开启阴极电源向中空阴极中和器提供工作电源；该技术方案能适应低温阴极材料工作环境，降低了高压启动对电源的要求，无需大量的气体流量来启动，便于启动控制。
中空阴极启动方法装置中和

[发明专利]直流阴极中和器-CN202110085601.7有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种直流阴极中和器，包括：电离腔室，阴极靶材，维持极以及磁铁组件；其中，维持极设于电离腔室上部，连接维持电源；阴极靶材设于电离腔室底部，连接电离电源，且阴极靶材与维持极保持绝缘隔离；磁铁组件设于阴极靶材底部，用于在电离腔室产生强磁场；在工作中，电离腔室通入工作气体，磁铁组件在电离腔室的电离区域产生强磁场，电离区域在强磁场和电场的共同作用下对工作气体进行电离产生等离子体；等离子体中的负电子在维持极的作用下，通过设置在电离腔室的电子输出口进行输出；该技术方案，结构简单，维护方便，使用强磁场提高了电离效率；而且阴极靶材可以使用多种金属，可以使用耐高温稀有金属，对产品不产生污染等不利影响。
直流阴极中和

[发明专利]调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机-CN202211600718.5在审
发明人：蒋毅;刘伟基;冀鸣;易洪波;陆其彬;赵刚 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；阀门腔体上设有抽气口，其中，抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；上连接件用于与真空腔室密封连接，下连接件用于与分子泵密封连接；驱动机构连接间接传动装置，间接传动装置与真空阀板通过非接触方式连接；驱动机构驱动间接传动装置进行运动，间接传动装置以非接触方式驱动真空阀板进行移动，调整抽气口的开度大小；该技术方案具有更高的真空度调整速度，减少了需要真空密封的部件，降低了整体设备的成本，并提升了真空腔室的真空密封效果。
调速阀门结构空腔真空镀膜

[发明专利]光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机-CN202111081912.2有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种光谱检测装置、膜厚实时监控方法及系统、真空镀膜机，所述装置包括：设于真空室外部的光谱仪和光源，设于真空室壳体上连接光源的光输入接口和连接光谱仪的光输出接口，以及旋转样品夹具；光输入接口和光输出接口为真空密封接口；旋转样品夹具上设置有至少一个透光通孔和至少一个样品通孔；光输入接口或光输出接口对准通孔的位置；光源输出检测光通过光输出接口进入真空室；旋转样品夹具旋转样品，检测光垂直入射到样品表面得到测量光通过光输出接口传输至光谱仪进行光谱检测；该技术方案，可以进行全光谱的检测，实时检测样品的光谱数据，特别适用于非规整膜系的薄膜检测，可以提升膜厚监测系统对膜厚检测精度、降低误差。
光谱检测装置厚实监控方法系统真空镀膜

[发明专利]工艺控制方法、装置及工业控制系统-CN202210304203.4有效
发明人：冀鸣;刘伟基;林秀刚;张军;陈文俊;易洪波;郭一鸣;赵刚;易卓越 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。
工艺控制方法装置工业控制系统

[发明专利]基于宽光谱监控的镀膜工艺方法-CN202211744081.7在审
发明人：裴宇辉;冀鸣;刘伟基;郭一鸣;易洪波;秦振江;赵刚 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于宽光谱监控的镀膜工艺方法，所述方法包括：安装待镀膜的工件及监控片；初始化并加载镀膜工艺；绘制圆周光谱曲线并定位监控片在产品转盘上的角度位置；镀膜工艺程序的自动执行；在镀膜过程中，实时采集监控片的光谱能量数据，拟合出当前膜层的真实厚度；并以此计算换层判停时间并触发换层判停逻辑；在换层后，对下一个膜层进行镀膜，直至完成镀膜工艺中的所有膜层。该技术方案，可以准确地定位到换层位置，避免了采用常规的以评价函数方法来控制换层的延时缺陷，可以确保成膜过程中对各个膜层厚度监控的精准度，特别是在多层镀膜时，能够显著减少换层误差累积，提升了光学薄膜产品的镀膜质量。
基于光谱监控镀膜工艺方法

[发明专利]真空镀膜设备及其镀膜控制方法-CN202211743783.3在审
发明人：裴宇辉;刘伟基;冀鸣;郭一鸣;秦振江;易洪波;赵刚 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜控制方法，所述设备包括：真空腔室，内置有连接控制系统的产品转盘、溅射系统以及离子源；光谱检测装置，连接至控制系统，用于在镀膜过程中检测镀膜产品的光谱能量数据并上报至控制系统；控制系统，用于控制产品转盘、溅射系统以及离子源的运行，采集光谱检测装置检测的光谱能量数据并计算镀膜产品的实时透射率，在膜层厚度接近目标厚度时，基于实时透射率预测出已镀膜的实际厚度；依据实际厚度计算换层判停时间并输出换层判停指令进行换层操作，直至完成所有膜层的镀膜；该技术方案，极大提升了换层判停精度，特别是层数较多的镀膜中，避免了镀膜层数增加所带来的误差累积，提升了镀膜产品的膜层质量。
真空镀膜设备及其镀膜控制方法

[发明专利]靶材安装结构及真空镀膜机-CN202211601128.4在审
发明人：刘伟基;冀鸣;蒋毅;易洪波;李宏盛;赵刚 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种靶材安装结构及真空镀膜机，靶材安装结构包括背板结构和固定装置，背板结构通过活动式的连接组件与固定装置进行连接；背板结构包括多块拼接的子背板；每个子背板的正面用于焊接对应形状的靶材；固定装置包括：支撑轴以及第一旋转结构，第一旋转结构设于支撑轴的一端，使得连接组件绕支撑轴进行转动；各个子背板的背面中心位置连接有第二旋转结构，使得子背板绕该中心位置在背板平面上进行转动；各个子背板上的第二旋转结构的连接组件通过连接到第一旋转结构上；其中，各个子背板的第二旋转结构通过所述连接组件在背板平面上进行扩张和收缩移动。该技术方案，提升了调整效率以及更换靶材的效率。
安装结构真空镀膜

[发明专利]镀膜机开关门装置、系统，开关门控制方法以及镀膜机-CN202110903933.1有效
发明人：蒋毅;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;陆其彬 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： E05F15/53 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜机开关门装置、系统，开关门控制方法以及镀膜机；所述真空镀膜机包括：真空腔室，与所述真空腔室连接的腔门，所述腔门通过合页与真空腔室连接；该开关门装置包括：设置在所述腔门上的门板把手，设置在所述真空腔室外侧的固定底座，连接所述固定底座的驱动部件，以及连接所述驱动部件与门板把手之间的转动连接部件；在真空镀膜机开关门过程中，所述驱动部件驱动所述门板把手运动，使得真空门绕所述合页转轴转动，开启或者关闭所述腔门。实现了智能化控制功能，降低了操作者开关镀膜机腔门的风险，降低了开关门过程对镀膜机的冲击，提升了设备安全性。
镀膜开关装置系统门控方法以及

[发明专利]镀膜控制系统及镀膜设备-CN202010897565.X有效
发明人：冀鸣;林秀刚;刘伟基;赵刚;易洪波;张军;陈文俊 -专利权人： 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜控制系统及镀膜设备，镀膜控制系统包括分别与各个镀膜设备连接的工控机以及部署于云端服务器的服务平台；工控机部署有相互通讯的服务转发程序和工控程序；服务转发程序配置为接收服务平台下发的控制文件，并转发至工控程序；以及接收工控程序转发的设备运行数据，并上传至服务平台；工控程序配置为接收控制文件，并根据控制文件对所属的镀膜设备进行镀膜控制；以及采集镀膜设备的设备运行数据，并转发至服务程序；服务平台用于响应客户端的访问服务，接收服务转发程序上传的设备运行数据进行存储，以及将配置的控制文件下发至工控机对所属的镀膜设备。该技术方案极大地提升了镀膜设备的使用便利性，提升了镀膜设备的控制效率。
镀膜控制系统设备

[外观设计]射频离子源-CN202230555436.2有效
发明人：刘伟基;吴秋生;冀鸣;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：射频离子源。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品属于离子源产品，可用于光学辅助镀膜、离子束溅射镀膜、离子束刻蚀与超高精度表面处理等用途。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
射频离子源

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