专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]VDMOS器件的形成方法-CN201110058213.6有效
  • 楼颖颖;克里丝 - 上海宏力半导体制造有限公司
  • 2011-03-10 - 2011-08-10 - H01L21/336
  • 本发明提供VDMOS器件的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上形成有外延;在所述外延表面形成具有开口的牺牲,所述开口暴露出外延表面;热氧化开口内的外延,形成第一栅极氧化;去除所述牺牲;热氧化所述外延,形成第二氧化;沉积多晶硅,所述多晶硅覆盖所述第一栅极氧化和第二氧化;刻蚀多晶硅和第二氧化形成栅极结构;形成源区、源极金属、漏极金属和栅极金属。本发明降低形成栅极氧化的工艺难度,增加漏极和栅极间的栅极氧化厚度,以降低栅极和漏极间的电容值,提高VDMOS的开关速度。
  • vdmos器件形成方法
  • [发明专利]壳体及其制作方法-CN201310074121.6有效
  • 张春杰 - 深圳富泰宏精密工业有限公司
  • 2013-03-08 - 2018-02-06 - C23C14/06
  • 该壳体包括基体及依次形成于基体表面的打底层、过渡、及颜色,该打底层为钛和M的混镀层,其中M选自铬、铝、或硅中的一种;该过渡氧化,且所述氧化氧化氧化、或二氧化;该颜色为钛铝氮该壳体的制作方法包括如下步骤提供一基体;采用真空镀膜法在该基体的表面依次形成打底层、过渡、及颜色,该打底层为钛和M的混镀层,其中M选自铬、铝、或硅中的一种;该过渡氧化,且所述氧化氧化氧化、或二氧化;该颜色为钛铝氮
  • 壳体及其制作方法
  • [实用新型]通体防静电瓷砖-CN201520492842.3有效
  • 周建军 - 周建军
  • 2015-07-10 - 2015-11-25 - E04F13/075
  • 本实用新型公开了通体防静电瓷砖,属于建材技术领域,它包含面层和砖坯,所述的面层里设有氧化氧化氧化;所述的氧化氧化氧化交错设置在面层中;所述的砖坯内设有氧化氧化,且氧化氧化交错设置在砖坯中。
  • 通体静电瓷砖
  • [发明专利]一种耐氧化易集尘滤料及制备方法-CN202010146637.7有效
  • 房利生;许瑞生;钱丰;梁运动 - 安徽世倾环保科技有限公司
  • 2020-03-05 - 2021-08-20 - B32B33/00
  • 本发明公开了一种耐氧化易集尘滤料及制备方法,包括如下步骤:制备耐氧化浆料;制备承力:以机织物为基材,将耐高温纤维梳理后,铺网在基材上,制备承力半成品,再对承力半成品处理后,得到承力;制备耐氧化:在承力的一面上喷涂耐氧化浆料,形成第一耐氧化;在承力的另一面喷涂所述的耐氧化浆料,形成第二耐氧化;制备粗孔:在第一耐氧化上铺网耐高温纤维,针刺处理得粗孔;制备致密:在粗孔上涂覆致密浆料,冷却至室温得致密;制备里层:在第二耐氧化上铺网耐高温纤维,针刺后得到里层,制备得到耐氧化易集尘滤料;该滤料能够抵抗气体的氧化腐蚀作用,同时明显减少过滤阻力。
  • 一种氧化集尘料及制备方法
  • [发明专利]一种阵列基板及其制备方法-CN201410029377.X有效
  • 闻正锋;马万里;赵文魁 - 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
  • 2014-01-22 - 2018-02-13 - H01L27/02
  • 本发明实施例公开了一种阵列基板及其制备方法,包括在单晶硅上逐制备栅氧化、多晶硅;采用干法刻蚀形成图形化的多晶硅;采用干法刻蚀去除未被多晶硅覆盖的栅氧化;在多晶硅以及单晶硅的表面上生长氧化,该氧化的厚度小于干法刻蚀后未被多晶硅覆盖的栅氧化的厚度;采用湿法刻蚀去除氧化;最终在多晶硅以及单晶硅的表面生长垫氧化。本发明实施例通过在多晶硅以及单晶硅的表面生长氧化,然后采用湿法刻蚀去除该氧化,从而能够有效地消除单晶硅表面的损伤,以使在后续生长垫氧化的工艺中,在单晶硅的表面能够生长出厚度符合要求的垫氧化
  • 一种阵列及其制备方法
  • [实用新型]防湿膜-CN201520841728.7有效
  • 李伟明;蓝银锋 - 汕头市东通光电材料有限公司
  • 2015-10-28 - 2016-03-30 - B32B27/06
  • 本实用新型提供了一种防湿膜,主要包含有:基材氧化组、介电质和紫外光吸收,所述氧化组包括氧化氧化,所述氧化钽层位于基材的上表面,所述氧化硅层位于氧化上表面,所述介电质层位于氧化的上表面,所述紫外光吸收层位于基材的下表面。实用新型提供的防湿膜利用氧化组和介电质作为阻水层,大大简化了现有技术中复杂的膜结构,同时设置紫外光吸收可以有效减缓防湿膜的老化速度。
  • 防湿
  • [发明专利]半导体器件及其制作方法、电子设备-CN202180044006.7在审
  • 张珂豪;刘熹;叶约翰;林军 - 华为技术有限公司
  • 2021-12-27 - 2023-08-29 - H01L21/8238
  • 本申请提供了一种半导体器件及其制作方法、电子设备,涉及半导体技术领域,能够降低等效氧化物厚度(EOT)。该半导体器件包括采用高介电常数金属栅结构(HKMG)的晶体管。其中,高介电常数金属栅结构包括介电,高介电常数氧化,复合。高介电常数氧化覆盖在介电上。复合覆盖在高介电常数氧化上,复合中包括依次层叠设置的第一金属氧化、第一金属、第二金属氧化。第一金属氧化和第二金属氧化均包括导电的金属氧化物,且第一金属氧化、第一金属、第二金属氧化中包含的金属元素相同。
  • 半导体器件及其制作方法电子设备
  • [发明专利]半导体结构及其制造方法-CN201810304571.2有效
  • 涂火金 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
  • 2018-04-08 - 2021-12-10 - H01L21/28
  • 本发明提供一种半导体结构及其制造方法,所述制造方法包括:提供基底;在所述基底上形成功函数;对所述功函数进行氧化处理形成氧化;在所述氧化上形成电极。本发明在基底上形成功函数后,对所述功函数进行氧化处理形成氧化,由于氧具有较高的电负性,因此与所述功函数相比,经氧化处理所形成的氧化具有更高的有效功函数,而且,对所述功函数进行氧化处理后,所形成的氧化为非晶态结构,所述氧化能够对电极中的金属原子起到阻挡作用,降低所述金属原子扩散至所述功函数中的概率,从而减小对PMOS晶体管的有效功函数的影响;综上,通过所述氧化,能够增加PMOS晶体管的有效功函数,以满足
  • 半导体结构及其制造方法
  • [发明专利]SONOS存储器的制作方法-CN200910056491.0无效
  • 朱骏;李铭 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2009-08-14 - 2010-01-13 - H01L21/8247
  • 本发明提供一种SONOS存储器的制作方法,包括以下步骤:在衬底上依次淀积氧化和氮氧化;在所述氮氧化上面涂一光刻胶;去除部分所述光刻胶,形成逻辑区域;去除所述逻辑区域的氮氧化;去除所述逻辑区域的底部氧化;在所述氮氧化及逻辑区域上面生长顶部氧化;去除所述逻辑区域的顶部氧化;生长栅氧化;形成SONOS和逻辑区域的器件结构。本发明有效地避免了顶部氧化发生损伤和在湿法刻蚀中发生侧向刻蚀,从而能够提高器件的良率。
  • sonos存储器制作方法

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