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[发明专利]一种自动识别晶圆铁烤架与ID读取的设备及方法-CN202110916503.3在审
发明人：龚昱;刘红军;邓雯;沈佳莉 -专利权人：华芯（嘉兴）智能装备有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： G06K7/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种自动识别晶圆铁烤架与ID读取的设备及方法，设备包括自动扫码装置和分选机上位机系统，所述自动扫码装置设在晶圆装卸机上，用于对设在所述晶圆装卸机面板上的晶圆铁烤架的ID进行读取并发送至分选机上位机系统，分选机上位机系统根据自动扫码装置发送的ID信息自动识别当前晶圆装卸机上放置的是铁烤架，对当前铁烤架的尺寸进行判断，并将铁烤架的ID信息进行上报，达到晶圆跟踪的目的。本发明解决了半导体客户厂内的铁烤架的自动识别问题，在原本不能用于自动化的工艺制程实现了自动化，降低了客户的人力成本，同时降低了人为失误造成的破片率，增加了晶圆装卸机自动识别晶舟的兼容性。
一种自动识别晶圆铁烤架 id 读取设备方法

[发明专利]一种芯片自动化存储流水线-CN202210973531.3在审
发明人：王晓明;赵晓明;董国庆;文国昇;金从龙 -专利权人：江西兆驰半导体有限公司
申请日： 2022-08-15 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片自动化存储流水线，包括上料系统、传输系统、存储系统以及总控系统；上料系统包括上料机、上料机械手以及第一信息读取器，上料机械手用于将放置在上料机内的晶圆转移至传输系统上，第一信息读取器用于读取位于上料机械手上的晶圆的身份信息；传输系统包括传输机和设于传输机上的晶圆工位；存储系统包括存储机械手，以及多个储料装置，每个储料装置用于存储相同种类的晶圆；其中，总控系统用于接收晶圆的身份信息，并根据晶圆的身份信息控制存储机械手将位于传输机上晶圆转移至对应的储料装置中、或将储料装置内的晶圆转移至传输机上。本发明通过各系统的协同，能够有效提高对晶圆提取的效率。
一种芯片自动化存储流水线

[实用新型]一种匹配多尺寸晶圆的扩膜机载台-CN202223401420.X有效
发明人：张燕;何在田;陈松涛;王志远;董和平 -专利权人：郑州轨道交通信息技术研究院
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆扩膜设备的技术领域，具体为一种匹配多尺寸晶圆的扩膜机载台，第一驱动电机、第二驱动电机、第三驱动电机上均设有第一减速机、第二减速机、第三减速机，第一减速机、第二减速机、第三减速机上均竖向设有第一螺杆、第二螺杆、第三螺杆，第一螺杆上端设有与环形支架同心设置的大尺寸晶圆板，第二螺杆上端设有与环形支架同心设置的中尺寸晶圆板，第三螺杆上端设有与环形支架同心设置的小尺寸晶圆板，载台基板上设有与大尺寸晶圆板、中尺寸晶圆板、小尺寸晶圆板配合的导向装置，大尺寸晶圆板、中尺寸晶圆板、小尺寸晶圆板底部均设有加热片。
一种匹配尺寸机载

[发明专利]检测光刻机上晶圆边缘图形失像的方法-CN201610064110.3在审
发明人：李伟峰;顾以理;王雷 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测光刻机上晶圆边缘图形失像的方法，其中在光刻机上利用一块具有若干规则排列的单一规则图形的光刻掩膜版对几枚平整度很好的晶圆进行曝光，然后在光学显微镜下检查晶圆边缘(主要表现为色差)，并判断该晶圆边缘是否有图形失像本发明利用该检测方法可以快速准确全面地了解光刻机在晶圆上的作业效果，评估晶圆在光刻机上可能发生的边缘图形失像问题，并可以作为一个改进光刻机上的工艺制造能力的参数。
检测光刻机上晶圆边缘图形方法

[发明专利]在贴膜机上更换晶圆保护膜的方法-CN201210062628.5有效
发明人：郝鑫杰;夏斯超 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2012-03-12 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种在贴膜机上更换晶圆保护膜的方法，属于半导体芯片制造领域。该方法包括以下步骤：在第一位置剪断第一晶圆保护膜；从所述传送滚轮上移走第一晶圆保护膜；在所述传送滚轮上安装第二晶圆保护膜；从头部拉出部分所述第二晶圆保护膜，使用胶带将所述第二晶圆保护膜接合到在所述贴膜机上的第一晶圆保护膜上；以及送膜；其中，所述第一位置为第一晶圆保护膜的蓝膜和衬膜分离之前的位置。该方法具有过程简单、操作也简单的特点，大大提高了晶圆保护膜的更换效率。
贴膜机上更换保护膜方法

[发明专利]晶圆片激光加工方法-CN201210246764.X有效
发明人：高昆;叶树铃;庄昌辉;邴虹;李瑜;马国东;刘立文;杨振华;高云峰 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2012-07-17 - 公布日： 2014-01-29 - 主分类号： H01L21/78 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆片激光加工方法，其包括如下步骤：提供一晶圆片；将所述晶圆片置于一贴膜机上进行晶圆片背面贴膜；在贴膜机上于晶圆片的外围罩设环状元件，环状元件的内缘覆盖晶圆片的外缘，环状元件的底面贴膜；将贴膜的晶圆片及环状元件定位于激光切割设备中，激光沿所述晶圆片的外露于所述环状元件外的切割道进行激光切割；拆卸所述环状元件；去除所述晶圆片的背面贴膜；在所述晶圆片的背面镀金属。本发明的晶圆片激光加工方法中，通过所述环状元件将所述晶圆片的外缘覆盖住而不被切割，使得切割后的晶圆片在后续加工中保证了边缘的强度，整体上保证了所述晶圆片的完整性、可操作强度，也不易破裂，大大地增加了加工的良率
晶圆片激光加工方法

[实用新型]一种晶圆激光打标机的自动送料机构-CN201120386771.0有效
发明人：闵大勇;卢飞星;孙绍文;王伟 -专利权人：武汉华工激光工程有限责任公司
申请日： 2011-10-12 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆激光打标机的自动送料机构，其安装于晶圆激光打标机上，该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置借由本实用新型的晶圆激光打标机的自动送料机构，可以提高激光打标机的工作效率，该送料机构具有稳定、高效、安全等优点。
一种激光打标机自动机构

[发明专利]8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备及方法-CN201510425838.X在审
发明人：胡国俊;李海洋;奚衍东;刘德秋 -专利权人：翼龙设备（大连）有限公司
申请日： 2015-07-20 - 公布日： 2015-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种用8寸固晶机分割12寸晶圆MAPPING图设备；包括移动承载台；及设置于移动承载台上方的分割机构；其特征在于：所述分割机构前侧安装有摄像系统；所述摄像系统与电脑设备通信；其方法包括以下步骤：第一步，首先由晶圆切割厂，将12寸晶圆任意分成4份；第二步，将12寸晶圆MAPPING图电脑设备进行显示；第三步，将其中一份带标记点的晶圆放入移动承载台上；第四步，通过摄像系统的摄像头识别标记点，与MAPPING图上标记点对应，移动承载台寻找晶圆边分割边缘，由控制系统将12寸晶圆图分成对应的4份，分别自动保存；第五步，分成4份后，每一份都在8寸IC固晶机上完成晶圆MAPPING图工作；能够直接在8寸IC固晶机上做带MAPPING的12寸晶圆。
寸固晶机分割 12 寸晶圆 mapping 设备方法

[发明专利]砷化镓晶圆的划切方法-CN202310075103.3在审
发明人：张兴华 -专利权人：深圳西斯特科技有限公司
申请日： 2023-01-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本申请提出一种砷化镓晶圆的划切方法，包括：将砷化镓晶圆的背面贴上胶膜；标记贴有胶膜的砷化镓晶圆的晶体方向，并基于砷化镓晶圆的晶体方向确定CH1方向和CH2方向，砷化镓晶圆的晶向为CH1方向和CH2方向的直角平分线；将贴有胶膜的砷化镓晶圆固定在划片机的工作盘上；使划片机上的划片刀以第一划切参数对砷化镓晶圆进行CH1方向的划切，划片刀的划切深度与砷化镓晶圆的厚度相等；使划片机上的划片刀以第二划切参数对砷化镓晶圆进行CH2方向的划切，其中划片刀的划切深度大于砷化镓晶圆的厚度，且小于砷化镓晶圆和胶膜的厚度之和；获取划切后的砷化镓晶圆。上述的划切方法能够在保证砷化镓晶圆正面、背面、侧面划切质量的前提下，提高划切效率。
砷化镓晶圆方法

[实用新型]移动终端及光学指纹模组-CN201721429643.3有效
发明人：赖芳奇;沙长青;吕军;李永智 -专利权人：苏州科阳光电科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-05-22 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光学指纹模组，其特征在于，包括：滤光玻璃、裸硅晶圆和指纹晶圆；所述滤光玻璃键合在所述裸硅晶圆上方；所述指纹晶圆键合在所述裸硅晶圆下方；所述裸硅晶圆上设有若干通孔；所述通孔的倾斜角度小于或等于10°；所述指纹晶圆不与所述裸硅晶圆键合的一面设有硅通孔。上述光学指纹模组，可以使用在全面屏手机上。还涉及一种移动终端。
移动终端光学指纹模组

[发明专利]一种晶圆化学镀前处理方法-CN202011301285.4在审
发明人：陈云利;王健;李军;周志强 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： C23C18/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆化学镀前处理方法，包括首先将表面完成电镀钯金属的晶圆放置于载具内，然后将载具放置超声波清洗机上的清洗槽内；在超声波清洗机上的清洗槽内注入清水，此时清水的高度高于载具的高度，清水的量具体为60到80升；然后超声波清洗机开始工作对晶圆进行清洗，在此过程中保持1到2分钟的清洗时间；最后清洗结束后将晶圆搬运到指定位置处。本发明提供一种晶圆化学镀前处理方法，提高了活化前晶圆的清洁度，提高了后期度镍金属层均匀性。
一种化学处理方法

[发明专利]一种晶圆化学镀前处理方法-CN202111303237.3在审
发明人：陈云利;王健;李军;周志强 -专利权人：苏州尊恒半导体科技有限公司
申请日： 2021-11-05 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C23C18/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆化学镀前处理方法，包括首先将表面完成电镀钯金属的晶圆放置于载具内，然后将载具放置超声波清洗机上的清洗槽内；在超声波清洗机上的清洗槽内注入清水，此时清水的高度高于载具的高度，清水的量具体为60到80升；然后超声波清洗机开始工作对晶圆进行清洗，在此过程中保持1到2分钟的清洗时间；最后清洗结束后将晶圆搬运到指定位置处。本发明提供一种晶圆化学镀前处理方法，提高了活化前晶圆的清洁度，提高了后期度镍金属层均匀性。
一种化学处理方法

[发明专利]双面晶圆成像装置及其方法-CN202110062148.8在审
发明人：王英全;刘逸文;林士智;黄日正 -专利权人：南亚科技股份有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：提供一种双面晶圆成像装置及其方法。双面晶圆成像装置包括一或多个装载端、一或多个机械手臂、一晶圆输送载台、一第一线扫描相机、一第二线扫描相机、一第一光学镜片、一第二光学镜片以及多个线光源。装载端经配置以用于一自动搬运装置的一晶圆盒的一自动装载操作或是卸载操作。机械手臂用于搬运一晶圆。晶圆传输载台包括多个真空吸点，接触该晶圆的一背面，晶圆传输载台还包括一驱动马达，产生一线性来回移动，以移动该晶圆。第一线扫描相机安装在该晶圆传输载台下方。第二线扫描相机安装在该晶圆传输载台上方。该第一光学镜片安装在该第一线扫描相机上。该第二光学镜片安装在该第二线扫描相机上。线光源分别安装在该晶圆传输载台的下方及上方。
双面圆成装置及其方法

[发明专利]光学指纹模组、光学指纹模组制作方法及移动终端-CN201711047800.9在审
发明人：赖芳奇;沙长青;吕军;李永智 -专利权人：苏州科阳光电科技有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学指纹模组，其特征在于，包括滤光玻璃、裸硅晶圆和指纹晶圆；所述滤光玻璃键合在所述裸硅晶圆上方；所述指纹晶圆键合在所述裸硅晶圆下方；所述裸硅晶圆上设有若干通孔；所述通孔的倾斜角度小于或等于10°；所述指纹晶圆不与所述裸硅晶圆键合的一面设有硅通孔。上述光学指纹模组，可以使用在全面屏手机上。还涉及一种光学指纹模组制作方法和移动终端。
光学指纹模组制作方法移动终端

[发明专利]一种搬运机器人-CN202010911621.0有效
发明人：胡坤宇 -专利权人：深圳市大族富创得科技有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种搬运机器人，其结构包括传输带、电机、支臂、夹片手、转动轴、机器人主机，传输带随着电机输出端同步转动，上移块往上进行顶起，抵触板伸出托板轴内部，对晶圆的中心处进行抵触支撑，降低对晶圆的摩擦力，通过支臂对晶圆进行搬运，搬运到检测机上通过电磁块对吸附块进行吸附，通过倾斜块使得滑动轴呈倾斜角度，使得晶圆在限位抵触框内部呈倾斜角度下落到检测机上，防止较薄的晶圆断裂，气流通过传输管传输到固定环内部，固定环内部的气囊膜进行鼓起，通过传导管的传导，确保每个固定环内部的气囊膜均匀的鼓起，从而对晶圆的外沿底部进行承托，减少晶圆的表面产生的摩擦力，降低对晶圆表面造成的磨损。
一种搬运机器人

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