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- [发明专利]一种LED晶圆片测试方法及测试系统-CN201310647446.9有效
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赖余盟;陈起伟;周立业;缪炳有;李斌
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西安神光皓瑞光电科技有限公司
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2013-12-03
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2014-03-19
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H01L21/66
- 该测试系统包括依次相连的标准抽测机、LED晶圆片扫描图模板单元、标准抽测机扫描图模板设定单元、标准抽测机套模测试单元、抽测标准数据档单元、待测LED晶圆片校正函数单元、监控单元和分析处理单元;依次相连的Mapping全测机、LED晶圆片扫描图模板单元、Mapping全测机扫描图模板设定单元、Mapping全测机套模测试单元、Mapping全测数据临时档单元和Mapping全测数据标准档单元依次相连;Mapping全测机套模测试单元通过抽测晶粒Mapping数据档单元与待测LED晶圆片校正函数单元相连,监控单元与Mapping全测数据标准档单元相连。本发明减免了Mapping全测机校正、监测涉及的人员和物料成本的同时,提升机台产能利用率和降低了LED晶圆片制造成本。
- 一种led晶圆片测试方法系统
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