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[发明专利]一种电极悬浮的面内陀螺-CN202211408913.8在审
发明人：闫鑫;宋运康;牛昊彬 -专利权人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01C19/5621 文献下载
摘要：本发明属于微惯性测量传感器技术领域，公开了一种电极悬浮的面内陀螺，驱动电极质量块通过敏感扭摆弹性梁与驱动电极锚点可动的连接，驱动电极锚点固定在衬底上，驱动电极质量块通过边缘绝缘连接与驱动质量块固连成一体，悬浮在衬底上方，驱动质量块在驱动模态时保持静止；敏感质量块分左敏感质量块和右敏感质量块两部分分别通过驱动弹性梁与驱动质量块可动的连接，左敏感质量块和右敏感质量块在驱动方向运动，当敏感角速度沿敏感方向输入时，左敏感质量块和右敏感质量块分别沿面外法向相反方向运动，所述敏感方向与驱动方向垂直。
一种电极悬浮陀螺

[发明专利]一种加速度敏感测量装置及其制造方法-CN202210421743.0在审
发明人：卢乾波;吴霜;朱启轩;周旭瑒;王振山;王小旭;王学文;黄维 -专利权人：西北工业大学宁波研究院
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，
一种加速度敏感测量装置及其制造方法

[实用新型]一种加速度敏感测量装置-CN202220928889.X有效
发明人：卢乾波;吴霜;朱启轩;周旭瑒;王振山;王小旭;王学文;黄维 -专利权人：西北工业大学宁波研究院
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种加速度敏感测量装置，加速度敏感测量装置为无源器件，充当微加速度计中的加速度敏感模块，加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架，敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁，悬臂梁一端与敏感质量块连接，悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构，加载机构连接在框架上，框架内设有通槽，敏感质量块可活动地设置在通槽内，框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器，框架固定安装在具有凹槽的衬底上
一种加速度敏感测量装置

[实用新型]基于力敏感元件的双轴加速度计敏感结构-CN201820735495.6有效
发明人：杨军;胡鸿 -专利权人：上海肇擎传感技术有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种基于力敏感元件的双轴加速度计敏感结构，包括接口、底座、X方向质量块、Y方向质量块、X方向挠结构、Y方向挠结构、X方向力敏感元件、Y方向力敏感元件；底座与Y方向质量块通过Y方向挠结构连接，其余位置通过切缝分离；Y方向质量块与X方向质量块通过X方向挠结构进行连接，其余位置通过切缝分离；两个X方向力敏感元件两端沿Z轴横跨切槽，分别粘接固定于X方向质量块和Y方向质量块，关于Z轴对称分布；两个Y方向力敏感元件两端横跨切槽，分别粘接固定于底座和Y方向质量块，关于Z轴对称分布。本实用新型提出的双轴加速度计敏感结构，可以敏感两个方向的加速度值，具有精度高、量程大、体积小等优点。
质量块敏感元件方向力双轴加速度计敏感结构底座本实用新型力敏感元件轴对称分布位置通过粘接固定切槽切缝横跨结构连接体积小量程敏感

[发明专利]一种压阻式高g值加速度计-CN202111101497.2在审
发明人：路永乐;瞿桢;刘宇;王汶新;孙勇;冯涛;亓林;杨杰 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开一种压阻式高g值加速度计,包括上层敏感结构，上层敏感结构包括加速度计框架、质量块及质量块外围支撑框架；在质量块外围支撑框架内设置四个质量块，在四个质量块之间形成正交于中心轴的十字间隙；每两个相邻的质量块之间的间隙上设置连接两质量块的敏感梁，每个敏感梁上设置有构成惠斯通电桥的电路压敏电阻，所述敏感梁的厚度远小于质量块的厚度。本发明的有益效果是：由于相邻的两个质量块之间的间隙，使质量系统的整体质心的上移，从而抑制横向效应。压敏电阻位于敏感梁上，由于整个结构的应力主要集中于敏感梁，有利于提高结构灵敏度。
一种压阻式高加速度计

[发明专利]Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计-CN202210620692.4在审
发明人：尚克军;杨亚杰;刘飞;张菁华;盛洁;姚远;李陈征;王登顺;王汝弢;王永胜 -专利权人：北京自动化控制设备研究所
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。
加速度计敏感结构

[发明专利]一种阵列式扭摆加速度计-CN202111402085.2在审
发明人：刘国文;马智康;李兆涵;刘宇;赵亭杰;刘福民;张天祺 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：一种阵列式扭摆加速度计，包含由4个或6个或8个敏感质量单元组成的阵列式敏感结构，其中，每两个相邻的敏感质量单元排布方向相反；每两个相间的敏感质量单元排布方向相同，且通过连接横梁形成刚性连接，连接横梁两端布置有应力释放结构每个敏感质量单元中的敏感质量块采用三锚点四扭转梁结构，包含四条扭转梁和三个锚点，其中位于敏感质量块内部的锚点通过两条弹性扭转梁连接到敏感质量块，位于敏感质量块两侧的两块锚点分别通过一条弹性扭转梁连接到敏感质量块敏感结构外侧布置有等电位锚点，在加速度计的阵列式敏感结构与电极间形成电学连接。
一种阵列扭摆加速度计

[发明专利]基于仿生孔缝的双层多梁加速度传感器及制备方法-CN202310639009.6在审
发明人：侯涛;王越;刘富;韩志武;赵宇锋 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了基于仿生孔缝的双层多梁加速度传感器及制备方法，包括：框架，质量块，质量块设置在框架中部；支撑梁，支撑梁一端与质量块连接、另一端与框架连接，支撑梁设置有直角弯折；为含有直角的支撑梁，含有直角的支撑梁连接在质量块的四周侧边；敏感梁，敏感梁一端连接质量块、另一端连接框架，敏感梁上设置有应力感知仿生孔缝；带有应力感知仿生孔缝的敏感梁连接在质量块的四角；带有应力感知仿生孔缝的敏感梁与质量块的上表面处相连接，支撑梁与质量块的下表面处相连接，支撑梁与敏感梁构成双层结构。本发明将支撑梁与敏感梁分层设计，使加速度计检测更加灵活，既能提高加速度传感器的灵敏度，又能提升系统的固有频率。
基于仿生双层加速度传感器制备方法

[发明专利]正交静电悬浮加速度计敏感结构-CN201810180617.4有效
发明人：张嵘;贺晓霞;韩丰田 -专利权人：清华大学
申请日： 2018-03-05 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种正交静电悬浮加速度计敏感结构，正交静电悬浮加速度计敏感结构包括敏感质量块和电极，敏感质量块包括分别沿X轴、Y轴及Z轴延伸的X轴测量管、Y轴测量管及Z轴测量管，电极为多个，多个电极非接触安装在敏感质量块上以向敏感质量块施加静电悬浮力和反馈控制力，以使敏感质量块处于悬浮状态。根据本发明实施的正交静电悬浮加速度计敏感结构，敏感质量块形成中空结构使得相同的支承电压下电极能提供较大的支承力，从而扩大了量程。此外，由于正交静电悬浮加速度计敏感结构的整体结构紧凑，能够实现三轴加速度的同步测量，测量的集成度较高，各轴的测量和控制的同步性较好实现，简化了测量及控制电路。
敏感质量块静电悬浮加速度计敏感结构正交测量管电极测量测量和控制控制电路同步测量悬浮状态中空结构集成度非接触控制力同步性下电极支承力量程三轴支承紧凑施加反馈延伸

[发明专利]梳齿电容式双轴加速度计-CN200910116228.6无效
发明人：鲍路路;孔德义;李庄;江儒龙;林丙涛;郭攀;朱荣华;熊剑平;赵贵;徐艳华;陈池来;程玉鹏 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2009-02-23 - 公布日： 2009-08-12 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。
梳齿电容式双轴加速度计

[发明专利]一种MEMS微加速度传感器及其应用-CN201110145926.6无效
发明人：张威;王媛媛;苏卫国 -专利权人：北京大学
申请日： 2011-06-01 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明微加速度传感器包括：敏感质量块、横梁、横梁上的压阻、金属连线、亚焊点及硅衬底，敏感质量块与横梁固定，横梁作为敏感质量块的支撑臂位于加速度传感器的中轴位置，该横梁的底部固定在衬底上。根据本发明设计的微加速度传感器，由于敏感质量块位于横梁两端，使得在施加一定加速度a时，系统通过敏感质量块上下振动，间接增大了敏感质量块的质量M，使得灵敏度S提高，从而在系统体积V比较小的情况下可以测量较高的
一种 mems 加速度传感器及其应用

[实用新型]一种带自我标定的电容式微惯性传感器-CN201320442802.9有效
发明人：董林玺;楼进峰 -专利权人：杭州电子科技大学
申请日： 2013-07-22 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型中敏感器质量块为刻蚀有栅条形井的矩形硅片，两对应端通过硅支撑梁与锚点连接，另两个对应端分别设置有矩形硅条。驱动器质量块设置在敏感器质量块的两侧，中间刻有环形槽，两侧设置有可动质量块驱动硅条和驱动器驱动硅条，敏感器质量块连接的硅条与对应的质量块驱动硅条组成质量块驱动电容。敏感器质量块连接的梳型硅条与固定检测硅条，以及栅形电极和衬底表面的叉指铝电极组成检测电容。本实用新型增大了质量块驱动电容，从而减小了驱动电压。
一种自我标定电容式微惯性传感器

[发明专利]一种低交叉轴灵敏度的面外轴向检测MEMS电容式加速度计-CN202011449418.2有效
发明人：刘国文;马智康;李兆涵;刘宇;赵亭杰;刘福民;杨静 -专利权人：北京航天控制仪器研究所
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：加速度计的敏感结构包括四组正交分布的敏感质量单元以及一个不平衡质量块。每组敏感质量单元与中心质量块通过两条连接梁相连。每个检测质量块中心包括两个锚点，每个锚点由两条弹性扭转梁连接到检测质量块。本发明的低交叉轴灵敏度的Z轴MEMS加速度计，其优点是具有大质量块的敏感结构，通过多差分质量块降低共模干扰，通过正交分布的敏感质量单元实现较低的交叉轴灵敏度。
一种交叉灵敏度轴向检测 mems 电容加速度计

[发明专利]一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202211558947.5在审
发明人：宦荣华;刘志强;王雪峰;肖尊浩;施展;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁‑直梁串联模块与质量块固支锚点连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；双稳梁‑直梁串联模块中的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，一端与敏感质量块固接，另一端与直梁的一端串联，直梁另一端与质量块固支锚点固结；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁‑直梁串联模块平行、等间距且双稳梁的拱向一致
一种基于双稳梁设计刚度 mems 加速度计

[实用新型]基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202223263037.2有效
发明人：宦荣华;刘志强;王雪峰;肖尊浩;施展;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁‑直梁串联模块与质量块固支锚点连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；双稳梁‑直梁串联模块中的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，一端与敏感质量块固接，另一端与直梁的一端串联，直梁另一端与质量块固支锚点固结；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁‑直梁串联模块平行、等间距且双稳梁的拱向一致
基于双稳梁设计刚度 mems 加速度计

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