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[发明专利]一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202310681086.8在审
发明人：宦荣华;刘志强;肖尊浩;代洪升;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B60G17/019 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于悬架并联式设计的准零刚度MEMS加速度计，属于准零刚度加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块的上方和下方分别设有一个悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块，位于敏感质量块上侧和下侧中部的凸起结构与该侧的悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的下侧左右两端，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；悬架并联式双稳梁‑直梁串联模块包括悬架组件、以及由双稳梁和直梁串联得到的梁结构。本发明将单个双稳梁与单个直梁串联，形成局部准零刚度区间，在器件工作平面内设计多重该结构并联机制，从而达到多区间的准零刚度。
一种基于悬架并联设计刚度 mems 加速度计

[实用新型]基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计-CN202223263013.7有效
发明人：宦荣华;肖尊浩;刘志强;施展;王雪峰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计，属于MEMS技术领域。包括低频传感模块，其用于将外界加速度信息转化为低频谐振梁的振动信号；同步模块，其包含低频同步电路和高频检测电路，所述的低频同步电路用于将低频传感模块中低频谐振梁的振动信号转化为激励信号施加给高频耦合模块中的高频谐振盘，使高频谐振盘与低频谐振梁的振动频率耦合同步；所述的高频检测电路用于检测高频谐振盘的振动信号，根据高频谐振盘的振动频率变化计算外界加速度大小；高频耦合模块，其用于通过高频谐振盘放大低频传感模块中的振动信号。本实用新型提高了加速度计的灵敏度和稳定性。
基于同步 mems 谐振加速度计

[实用新型]基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202223263037.2有效
发明人：宦荣华;刘志强;王雪峰;肖尊浩;施展;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于双稳梁‑直梁设计的准零刚度MEMS加速度计，属于加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁‑直梁串联模块与质量块固支锚点连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；双稳梁‑直梁串联模块中的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，一端与敏感质量块固接，另一端与直梁的一端串联，直梁另一端与质量块固支锚点固结；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁‑直梁串联模块平行、等间距且双稳梁的拱向一致。本实用新型可大大提升微机械加速度计的测量灵敏度，显著降低驱动电压。
基于双稳梁设计刚度 mems 加速度计

[发明专利]一种基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计-CN202211559315.0在审
发明人：宦荣华;肖尊浩;刘志强;施展;王雪峰 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于高阶同步的MEMS谐振式加速度计，属于MEMS技术领域。包括低频传感模块，其用于将外界加速度信息转化为低频谐振梁的振动信号；同步模块，其包含低频同步电路和高频检测电路，所述的低频同步电路用于将低频传感模块中低频谐振梁的振动信号转化为激励信号施加给高频耦合模块中的高频谐振盘，使高频谐振盘与低频谐振梁的振动频率耦合同步；所述的高频检测电路用于检测高频谐振盘的振动信号，根据高频谐振盘的振动频率变化计算外界加速度大小；高频耦合模块，其用于通过高频谐振盘放大低频传感模块中的振动信号。本发明提高了加速度计的灵敏度和稳定性。
一种基于同步 mems 谐振加速度计

[发明专利]一种基于双稳梁-直梁设计的准零刚度MEMS加速度计-CN202211558947.5在审
发明人：宦荣华;刘志强;王雪峰;肖尊浩;施展;黄志龙 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于双稳梁‑直梁设计的准零刚度MEMS加速度计，属于加速度计技术领域。包括敏感质量块、驱动梳齿模块、双稳梁‑直梁串联模块、检测梳齿模块；敏感质量块在四个方位角处分别通过一对双稳梁‑直梁串联模块与质量块固支锚点连接，驱动梳齿模块位于敏感质量块的上下两侧，检测梳齿模块位于敏感质量块的左右两侧；双稳梁‑直梁串联模块中的双稳梁为二分之一周期余弦函数结构，一端与敏感质量块固接，另一端与直梁的一端串联，直梁另一端与质量块固支锚点固结；位于敏感质量块各个方位角处的一对双稳梁‑直梁串联模块平行、等间距且双稳梁的拱向一致。本发明可大大提升微机械加速度计的测量灵敏度，显著降低驱动电压。
一种基于双稳梁设计刚度 mems 加速度计

[发明专利]一种基于1：3频率比非线性静电耦合的MEMS谐振式静电计-CN202111482786.1在审
发明人： 肖尊浩;施展;宦荣华;王雪峰;浦东;韦学勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G01R29/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于1：3频率比非线性静电耦合的MEMS谐振式静电计，其高频谐振器模块与低频谐振器模块相邻，位于两个激励模块之间，激励模块通过施加电信号来对通有直流电的高频谐振模块与低频谐振模块产生激励，高频谐振器模块与低频谐振模块通过受激励板形成电容，通过电容极板之间的静电力在高频谐振模块与低频谐振模块之间传递能量，使高频谐振模块与低频谐振模块的运动状态产生耦合，低频谐振梁与高频谐振梁的固有频率比为1：3，高频谐振器模块和低频谐振器模块分别通过功率放大器检测各自的运动状态。本发明克服了传统谐振式静电计利用线性区域测量的局限性，为谐振式静电计的研究拓宽了道路。
一种基于频率非线性静电耦合 mems 谐振

[发明专利]一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器-CN202111483360.8在审
发明人： 肖尊浩;施展;宦荣华;浦东;王雪峰;韦学勇 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于内共振锁频的MEMS谐振式传感器，包括低频谐振器模块、高频谐振器模块、耦合梁模块、低频激励模块和高频激励模块，所述低频谐振器模块通过低频谐振梁与低频激励模块连接，所述的低频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测低频谐振梁的运动；所述高频谐振器模块通过高频谐振梁与高频激励模块连接，所述的高频激励模块能产生激励并通过功率放大器检测高频谐振梁的运动；所述耦合梁模块连接低频谐振器模块和高频谐振器模块。本发明通过利用低频谐振梁与高频谐振梁频率耦合失锁跳变这一现象，使谐振器能够在非线性区域进行测量，提升了谐振器的灵敏度，扩充了测量范围。
一种基于共振 mems 谐振传感器

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