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- [发明专利]晶片的加工方法-CN201610289115.6有效
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中村胜
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株式会社迪思科
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2016-05-04
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2019-05-31
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H01L21/82
- 提供晶片的加工方法,不在晶片的内部层叠形成多个改质层也能够可靠地分割晶片。晶片的加工方法将在正面上呈格子状形成有多条分割预定线并且在所划分出的多个区域中形成有器件的晶片沿着分割预定线分割成各个器件,其包含:粘合带粘接工序,在晶片的正面上粘接粘合带;改质层形成工序,从晶片的背面侧将对于晶片具有透过性的波长的脉冲激光光线的聚光点定位在内部并沿着分割预定线进行照射而形成改质层;粘合带加热工序,将粘接在实施了改质层形成工序后的晶片的正面上的粘合带加热而使裂纹从改质层朝向晶片的正面伸长;分割工序,对实施了粘合带加热工序后的晶片施加外力,沿着形成有改质层和裂纹的分割预定线将晶片分割成各个器件
- 晶片加工方法
- [发明专利]晶片的加工方法-CN201610970401.9有效
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汤平泰吉
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株式会社迪思科
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2016-10-27
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2021-10-15
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H01L21/301
- 将垂直形成的第1分割预定线和第2分割预定线中的至少第2分割预定线以非连续的方式形成的晶片分割成一个个的器件芯片,该晶片的加工方法具有如下的步骤:第1方向改质层形成步骤,沿着第1分割预定线在晶片的内部形成第1方向改质层;以及第2方向改质层形成步骤,沿着第2分割预定线在晶片的内部形成第2方向改质层。第2方向改质层形成步骤包含T字路加工步骤,在与形成有第1方向改质层的第1分割预定线呈T字路而相交的第2分割预定线的内部形成第2方向改质层。
- 晶片加工方法
- [发明专利]用于改善油品质量的改质剂-CN200310114405.X无效
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李斌
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李斌
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2003-12-03
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2005-06-08
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C10G25/03
- 本发明公开了一种用于改善油品质量的改质剂、改质剂的工艺、油品改质技术工艺,适用于石油加工、石油化工领域燃料油、馏分油的净化、改质处理。该技术采用一种用于改善油品质量的改质剂,选用的改质材料是一类新型碳质分子筛。改质剂的工艺是在600~12000C、0.1~0.5MPa压力下,经过炭化、活化、分子筛化以及表面修饰等处理过程后制得原剂,再经过蒸馏水洗涤、空气中干燥、真空中(200~5000C)焙烧、成型后制得碳质分子筛成品利用改质剂的油品改质技术工艺是改质剂装在固定床反应器内,然后在反应温度50~1500C、压力0.1~0.5MPa、空速0.1~1.0h-1的改质条件下使劣质汽油、柴油、润滑油经过反应器床层改质。
- 用于改善油品质量改质剂
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